CN217470475U - 一种机台侦测传感器的保护组件和机台侦测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型第一个方面，提供了一种机台侦测传感器的保护组件，机台侦测传感器包括一个装配端和一个检测端。机台侦测传感器的保护组件包括：安装板和保护罩。安装板能够与装配端装配。保护罩与安装板固定连接。保护罩形成有防护通孔。防护通孔的孔径沿一个朝向安装板的孔延伸方向逐步缩进。孔延伸方向垂直于安装板的板面。防护通孔的内腔能够容纳检测端。本实用新型的机台侦测传感器的保护组件，通过设置保护罩以及在保护罩内设置防护通孔，用于防护机台侦测传感器，防止设备内的化学品飞溅到传感器上，影响机台侦测传感器的运行。

Description

一种机台侦测传感器的保护组件和机台侦测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体器件晶片生产领域，尤其涉及一种机台侦测传感器的保护组件和机台侦测装置。

背景技术

在晶圆清洗后，为确保清洗盖能打开，及时去除加工晶体，在晶圆清洗内朝向盖体的位置设置传感器，传感器通过感光监测盖体的打开情况，但晶圆清洗中，因传感器受到化学品溅射影响，感光区域易覆盖，无法准确检测盖体的状态信息。

实用新型内容

实用新型第一个方面，提供了一种机台侦测传感器的保护组件，机台侦测传感器包括一个装配端和一个检测端。机台侦测传感器的保护组件包括：安装板和保护罩。

安装板能够与装配端装配。保护罩，其与安装板固定连接。保护罩形成有防护通孔。防护通孔的孔径沿一个朝向安装板的孔延伸方向逐步缩进。孔延伸方向垂直于安装板的板面。防护通孔的内腔能够容纳检测端。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的一种实施方式中，防护通孔为内壁呈阶梯形的阶梯孔。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，阶梯孔包括多个阶梯面。阶梯面为向保护罩外周向方向倾斜的斜面。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，保护罩通过接插方式与安装板装配。或保护罩通过连接件与安装板装配。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的再一种实施方式中，保护罩在一个罩体延伸方向上包括一个罩体平面。罩体平面能够朝向安装板的板面。罩体延伸方向平行于孔延伸方向。

防护通孔在罩体平面上形成一个第一孔口。第一孔口位于罩体平面的中部。第一孔口的孔径是：φ 4mm～φ6mm。

以第一孔口中心，在罩体平面上形成多个插槽。多个插槽绕防护通孔分布。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板在朝向保护罩方向的板面上设置能够与插槽接插的插板，以使安装板通过插板能够保护罩的插槽接插。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，插板与保护罩通过螺纹件装配。

在插板上形成多个限位孔。保护罩的外部面上形成多个螺纹孔。多个螺纹孔连通插槽。螺纹孔能够与限位孔连通，以使螺纹连接件能够螺纹连接螺纹孔，并在限位孔内。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板的板面中部能够与防护通孔对应的位置上，形成一个传感器装配孔，以使装配端能够螺纹连接于传感器装配孔中。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板的方形板。方形板的长宽为： 25mm～30mm。在方形板的四角处分别形成有连接孔，连接孔的孔径为φ4mm～φ6mm保护罩的材料为PVC 塑料。

本发明的第二个方面，提供了一种机台侦测装置，包括本实用新型中的任一种机台侦测传感器的保护组件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的机台侦测传感器的保护组件，通过设置保护罩以及在保护罩内设置防护通孔，用于防护机台侦测传感器，防止设备内的化学品飞溅到传感器上，影响机台侦测传感器的运行。同时，本实用新型的机台侦测传感器的保护组件，结构简单，安装方便，可以有效的保护机台侦测传感器，避免机台侦测传感器遭到化学品的飞溅，降低机台侦测传感器的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的一种实施方式中，机台侦测传感器的保护组件和机台侦测装置的结构示意图；

图2是本实用新型的一种实施方式中，保护罩的结构示意图；

图3是本实用新型的一种实施方式中，安装板的结构示意图；

图4是本实用新型的一种实施方式中，保护罩的的后视图。

附图标记如下：11安装板,12连接孔,2传感器装配孔,3插板,31限位孔,4和保护罩,41罩体平面,42 第一孔口,5连通插槽,6螺纹孔,7防护通孔,71内壁,72阶梯面,81装配端,82检测端,A孔延伸方向,B 罩体延伸方向。

具体实施方式

以下结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不仅限定本实用新型的技术内容。

如图1-4所示，本实用新型第一个方面，提供了一种机台侦测传感器的保护组件，机台侦测传感器包括一个装配端81和一个检测端82。机台侦测传感器的保护组件包括：安装板1和保护罩4。

安装板1能够与装配端81装配。保护罩4，其与安装板1固定连接。保护罩4形成有防护通孔7。防护通孔7的孔径沿一个朝向安装板的孔延伸方向A逐步缩进。孔延伸方向A垂直于安装板1的板面。防护通孔7的内腔能够容纳检测端82。

本实施例中的安装板1，由PVC塑料板制成，PVC塑料板具有良好的化学稳定性，耐腐蚀性，硬度大，强度大，强度高，防紫外线耐老化，耐火阻燃具有自熄性，绝缘性能可靠，表面光洁平整，不吸水，不变形，易加工等特点，可以有效的防止化学品的腐蚀，使得安装后使用寿命更长。

本实施例中的保护罩4，由PVC塑料制成，结构简单，将保护罩4罩在传感器上，即可保护传感器不被化学品溅射。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的一种实施方式中，防护通孔7为内壁71呈阶梯形的阶梯孔，通过多层阶梯式设计，可以有效的防止化学品溅射，且在保护传感器检测端82的同时，不影响传感器检测端82的工作。

本实施例的机台侦测传感器的装配端81设置为螺纹。

具体的，将传感器装配端81安装在安装板1上，在将保护罩7安装在安装板1上，同时将传感器放置在防护通孔7内腔。

工作原理：将传感器的装配端81插入传感器装配孔2内并通过紧固件，将传感器固定于安装板1 上，将插板3插入插槽5内，螺纹连接件从保护罩4的外部面的螺纹孔6中向内旋入，直至螺纹连接件的端部插入限位孔31内，同时，传感器放入防护通孔7内，将安装板1安装到机台上；通过防护罩4 既保护传感器不被化学品飞溅，又不影响传感器的使用。

优选的，通过将内壁71呈阶梯形的阶梯孔，可以有效防止飞溅到防护通孔7内的化学品直接落在传感器上，从而影响传感器的使用。

在本实用新型另一种实施方式中，阶在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，阶梯孔包括多个阶梯面72。阶梯面72为向保护罩外周向方向倾斜的斜面。可以使落入防护通孔7 内的化学品沿斜面滚落出防护通孔7内。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，保护罩4通过接插方式与安装板1 装配。或保护罩4通过连接件与安装板1装配。从而通过安装板1可便于和外部设备安装。本实施例的保护罩4和安装板1装配处紧密，防止化学品从保护罩4和安装板1装配处的缝隙处飞溅入防护通孔7 内。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的再一种实施方式中，保护罩4在一个罩体延伸方向B上包括一个罩体平面41。罩体平面41能够朝向安装板1的板面。罩体延伸方向B平行于孔延伸方向A。更便于装配。

防护通孔7在罩体平面41上形成一个第一孔口42。第一孔口42位于罩体平面41的中部。第一孔口42的孔径是：φ4mm～φ6mm。从而使安装更为方便。

以第一孔口42中心，在罩体平面41上形成多个插槽5。多个插槽5绕防护通孔7分布。更便于安装。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板1在朝向保护罩4方向的板面上设置能够与插槽5接插的插板3，以使安装板1通过插板3能够保护罩4的插槽5接插。更便于安装。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，插板3与保护罩4通过螺纹件装配。更便于安装。

在插板3上形成多个限位孔31。保护罩4的外部面上形成多个螺纹孔6。多个螺纹孔6连通插槽5。螺纹孔6能够与限位孔31连通，以使螺纹连接件能够螺纹连接螺纹孔6，并在限位孔31内。更便于安装。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板1的板面中部能够与防护通孔7对应的位置上，形成一个传感器装配孔2，以使装配端81能够螺纹连接于传感器装配孔2中。更便于安装。

在本实用新型机台侦测传感器的保护组件的另一种实施方式中，安装板1的方形板。方形板的长宽为：25mm～30mm。在方形板的四角处分别形成有连接孔12，连接孔12的孔径为：46mm～6mm。保护罩4 的材料为PVC塑料。

本发明的第二个方面，提供了一种机台侦测装置，包括本实用新型中的机台侦测传感器的保护组件。

需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。此外，上述对各元件和方法的定义并不仅限于实施例中提到的各种具体结构、形状或方式。

还需要说明的是，本文可提供包含特定值的参数的示范，但这些参数无需确切等于相应的值，而是可在可接受的误差容限或设计约束内近似于相应值。实施例中提到的方向用语，如涉及“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，仅是参考附图的方向，并非用来限制本实用新型的保护范围。

上述说明示出并描述了本实用新型的优选实施例，如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种机台侦测传感器的保护组件，其特征在于，所述机台侦测传感器包括一个装配端(81)和一个检测端(82)；

所述机台侦测传感器的保护组件包括：

安装板(1)，其能够与所述装配端(81)装配；和

保护罩(4)，其与所述安装板(1)固定连接；所述保护罩(4)形成有防护通孔(7)；所述防护通孔(7)的孔径沿一个朝向所述安装板的孔延伸方向(A)逐步缩进；所述孔延伸方向(A)垂直于所述安装板(1)的板面；所述防护通孔(7)的内腔能够容纳所述检测端(82)。

2.如权利要求1所述的保护组件，其特征在于，所述防护通孔(7)为内壁(71)呈阶梯形的阶梯孔。

3.如权利要求2所述的保护组件，其特征在于，所述阶梯孔包括多个阶梯面(72)；所述阶梯面(72)为向所述保护罩外周向方向倾斜的斜面。

4.如权利要求1所述的保护组件，其特征在于，所述保护罩(4)通过接插方式与所述安装板(1)装配；或所述保护罩(4)通过连接件与所述安装板(1)装配。

5.如权利要求4所述的保护组件，其特征在于，所述保护罩(4)在一个罩体延伸方向(B)上包括一个罩体平面(41)；所述罩体平面(41)能够朝向所述安装板(1)的板面；所述罩体延伸方向(B)平行于所述孔延伸方向(A)；

所述防护通孔(7)在所述罩体平面(41)上形成一个第一孔口(42)；所述第一孔口(42)位于所述罩体平面(41)的中部；所述第一孔口(42)的孔径是：φ4mm～φ6mm；

以所述第一孔口(42)中心，在所述罩体平面(41)上形成多个插槽(5)；所述多个插槽(5)绕所述防护通孔(7)分布。

6.如权利要求5所述的保护组件，其特征在于，所述安装板(1)在朝向所述保护罩(4)方向的板面上设置能够与所述插槽(5)接插的插板(3)，以使所述安装板(1)通过所述插板(3)能够所述保护罩(4)的插槽(5)接插。

7.如权利要求6所述的保护组件，其特征在于，所述插板(3)与所述保护罩(4)通过螺纹件装配；

在所述插板(3)上形成多个限位孔(31)；

所述保护罩(4)的外部面上形成多个螺纹孔(6)；所述多个螺纹孔(6)连通所述插槽(5)；所述螺纹孔(6)能够与所述限位孔(31)连通，以使螺纹连接件能够螺纹连接所述螺纹孔(6)，并在所述限位孔(31)内。

8.如权利要求1所述的保护组件，其特征在于，所述安装板(1)的板面中部能够与所述防护通孔(7)对应的位置上，形成一个传感器装配孔(2)，以使所述装配端(81)能够螺纹连接于所述传感器装配孔(2)中。

9.如权利要求1所述的保护组件，其特征在于，所述安装板(1)的方形板；所述方形板的长宽为：25mm～30mm；在所述方形板的四角处分别形成有连接孔(12)，所述连接孔(12)的孔径为：4mm～6mm；所述保护罩(4)的材料为PVC塑料。

10.一种机台侦测装置，其特征在于，包括如权利要求1～9中任一种机台侦测传感器的保护组件。

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