CN217465330U - 一种半导体镀膜石墨坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及石墨坩埚技术领域，尤其是一种半导体镀膜石墨坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的内侧间隔设置有多组凸楞，多组所述凸楞水平设置且均呈三角形结构，所述坩埚本体的内侧顶部设置有一环轨，所述环轨的外侧滑动连接有U型架，所述U型架的开口内侧插接有刮板，所述刮板的端面上间隔开设有与凸楞结构相同的凹槽，本实用新型通过设置在坩埚本体内侧的凸楞，便于增加内部加热面积，从而增强坩埚本体的冶炼速度，同时，通过设置的刮板能够有效的对坩埚本体的内壁进行清理，避免了发生粘粘的情况，本实用新型中的刮板采用可拆卸方式，便于拆卸清理更换，设计较为合理，且实用性较强。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体镀膜石墨坩埚技术领域，尤其涉及一种半导体镀膜石墨坩埚。
背景技术
石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能，对酸，碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性，在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于半导体镀膜技术领域并有着较好的技术经济效果。
但是现有的石墨坩埚在使用时加热效果一般，同时极易发生在内壁粘粘的情况，因此实用性不强，值得改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在加热效果一般等缺点，而提出的一种半导体镀膜石墨坩埚。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
设计一种半导体镀膜石墨坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的内侧间隔设置有多组凸楞，多组所述凸楞水平设置且均呈三角形结构，所述坩埚本体的内侧顶部设置有一环轨，所述环轨的外侧滑动连接有U型架，所述U型架的开口内侧插接有刮板，所述刮板的端面上间隔开设有与凸楞结构相同的凹槽，所述凹槽与凸楞一一对应并套设，所述U型架的端面上活动插接有插杆，所述刮板的端面上开设有与插杆插接配合的插孔，所述插杆的外侧套设有弹簧，弹簧的两端分别与插杆及U型架相固定。
优选的，所述坩埚本体的内侧设置有隔热腔，所述隔热腔的内侧填充有陶瓷保温板。
优选的，所述插杆为方杆，所述插孔为方孔。
优选的，所述坩埚本体的开口侧设置有盖板，所述盖板的顶部设置有拉手。
本实用新型提出的一种半导体镀膜石墨坩埚，有益效果在于：本实用新型通过设置在坩埚本体内侧的凸楞，便于增加内部加热面积，从而增强坩埚本体的冶炼速度，同时，通过设置的刮板能够有效的对坩埚本体的内壁进行清理，避免了发生粘粘的情况，本实用新型中的刮板采用可拆卸方式，便于拆卸清理更换，设计较为合理，且实用性较强，具有一定的商业推广价值。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种半导体镀膜石墨坩埚的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种半导体镀膜石墨坩埚的刮板结构示意图。
图中：1、坩埚本体；2、凸楞；3、环轨；4、U型架；5、刮板；6、凹槽；7、插杆；8、插孔；9、弹簧；10、陶瓷保温板；11、盖板；12、拉手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种半导体镀膜石墨坩埚，包括坩埚本体1，坩埚本体1的内侧间隔设置有多组凸楞2，多组凸楞2水平设置且均呈三角形结构，坩埚本体1的内侧顶部设置有一环轨3，环轨3的外侧滑动连接有U型架4，U型架4的开口内侧插接有刮板5，刮板5的端面上间隔开设有与凸楞2结构相同的凹槽6，凹槽6与凸楞2一一对应并套设，U型架4的端面上活动插接有插杆7，刮板5的端面上开设有与插杆7插接配合的插孔8，插杆7的外侧套设有弹簧9，弹簧9的两端分别与插杆7及U型架4相固定。
进一步来说，坩埚本体1的内侧设置有隔热腔，隔热腔的内侧填充有陶瓷保温板10，设置的陶瓷保温板10用于对坩埚本体1进行保温，增强了坩埚本体1的冶炼速度。
值得注意的是，插杆7为方杆，插孔8为方孔。
进一步来说，坩埚本体1的开口侧设置有盖板11，盖板11的顶部设置有拉手12，设置的拉手12便于将盖板11打开。
本实用新型通过设置在坩埚本体1内侧的凸楞2，便于增加内部加热面积，从而增强坩埚本体1的冶炼速度，同时，通过设置的刮板5能够有效的对坩埚本体1的内壁进行清理，避免了发生粘粘的情况，本实用新型中的刮板5采用可拆卸方式，便于拆卸清理更换，设计较为合理，且实用性较强，具有一定的商业推广价值。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种半导体镀膜石墨坩埚，包括坩埚本体(1)，其特征在于：所述坩埚本体(1)的内侧间隔设置有多组凸楞(2)，多组所述凸楞(2)水平设置且均呈三角形结构，所述坩埚本体(1)的内侧顶部设置有一环轨(3)，所述环轨(3)的外侧滑动连接有U型架(4)，所述U型架(4)的开口内侧插接有刮板(5)，所述刮板(5)的端面上间隔开设有与凸楞(2)结构相同的凹槽(6)，所述凹槽(6)与凸楞(2)一一对应并套设，所述U型架(4)的端面上活动插接有插杆(7)，所述刮板(5)的端面上开设有与插杆(7)插接配合的插孔(8)，所述插杆(7)的外侧套设有弹簧(9)，弹簧(9)的两端分别与插杆(7)及U型架(4)相固定。
2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚本体(1)的内侧设置有隔热腔，所述隔热腔的内侧填充有陶瓷保温板(10)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜石墨坩埚，其特征在于：所述插杆(7)为方杆，所述插孔(8)为方孔。
4.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜石墨坩埚，其特征在于：所述坩埚本体(1)的开口侧设置有盖板(11)，所述盖板(11)的顶部设置有拉手(12)。
Priority Applications (1)
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| CN202220124155.6U CN217465330U (zh) | 2022-01-18 | 2022-01-18 | 一种半导体镀膜石墨坩埚 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2022
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