CN217438286U - 一种蒸镀基板支架及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

一种蒸镀基板支架及蒸镀设备，其中蒸镀基板支架包括：基板框体，所述基板框体中具有贯穿基板框体的开口；若干个间隔的支撑部，各所述支撑部均与所述开口的侧壁表面固定连接；所述支撑部的数量至少为三个；若干个间隔的压力传感器，所述压力传感器一一对应位于所述支撑部的上方，所述若干个间隔的压力传感器背离所述支撑部的顶部表面适于承载蒸镀基板。本实用新型提供的蒸镀基板支架可高精度判断基板是否偏离蒸镀基板支架上的设定位置。

Description

一种蒸镀基板支架及蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种蒸镀基板支架及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode OLED)是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件，它很容易制作，而且只需要低的驱动电压，这些主要的特征使得OLED在满足平面显示器的应用上显得非常突出。OLED显示屏比液晶显示器(LiquidCrystal Display LCD)更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高，能满足消费者对显示技术的新需求。

目前OLED的制备时通过蒸镀工艺完成。有机材料在真空下加热，依材料特性不同，有些材料会先液化再气化，有些则直接升华，然后以一定的初始速度脱离材料表面向外飞散，运动到基板表面，冷却沉积下来形成一层薄膜。

所述基板在蒸镀过程中需要使用基板支架进行支撑和限位，放置基板过程中，基板如果未放在设定的位置或放置后基板在传输过程中偏离设定位置，最终蒸镀得到的OLED的质量得不到保障。

综上，目前对基板偏离蒸镀基板支架上的设定位置后的检测精度较低。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中对基板偏离蒸镀基板支架上的设定位置后的检测精度较低的缺陷，从而提供一种蒸镀基板支架及蒸镀设备。

本实用新型提供一种蒸镀基板支架，包括：基板框体，所述基板框体中具有贯穿基板框体的开口；若干个间隔的支撑部，各所述支撑部均与所述开口的侧壁表面固定连接；所述支撑部的数量至少为三个；若干个间隔的压力传感器，所述压力传感器一一对应位于所述支撑部的上方，所述若干个间隔的压力传感器背离所述支撑部的顶部表面适于承载蒸镀基板。

可选的，所述基板框体为矩形基板框体；所述开口为矩形开口；所述支撑部的数量为四个，所述压力传感器的数量为四个；所述支撑部分别固定于所述开口的内角处。

可选的，所述基板框体具有相对设置的第一表面和第二表面，所述开口自第一表面至第二表面贯穿所述基板框体；所述压力传感器至第一表面的距离大于所述支撑部至第一表面的距离；所述压力传感器的顶部表面低于所述第二表面。

可选的，所述基板框体为铁基板框体。

可选的，所述支撑部与基板框体一体成型。

可选的，所述支撑部朝向压力传感器一侧的表面面积为25mm²-400mm²。

可选的，高度调节单元，所述高度调节单元与压力传感器固定连接，所述高度调节单元与所述支撑部活动连接。

本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括上述所述的蒸镀基板支架。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的一种蒸镀基板支架，包括：包括：基板框体，所述基板框体中具有贯穿基板框体的开口；若干个间隔的支撑部，各所述支撑部均与所述开口的侧壁表面固定连接；所述支撑部的数量至少为三个；若干个间隔的压力传感器，所述压力传感器一一对应位于所述支撑部的上方，所述若干个间隔的压力传感器背离所述支撑部的顶部表面适于承载蒸镀基板。当压力传感器上正确放置基板后，压力传感器会有一个检测结果，当压力传感器上的基板位置放置偏离设定位置，或在对放置基板的蒸镀基板支架移动过程中，基板位置偏离设定位置后，压力传感器检测的结果将偏离放置正确时的检测结果，操作人员通过检测结果可判断基板是否偏离蒸镀基板支架上的设定位置。综上，通过本实用新型提供的蒸镀基板支架可高精度判断基板是否偏离蒸镀基板支架上的设定位置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施方式中提供的立体示意图；

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

如图1所示的蒸镀基板支架的一种具体实施方式，包括：基板框体100，所述基板框体100中具有贯穿基板框体100的开口400；若干个间隔的支撑部300，各所述支撑部300均与所述开口400的侧壁表面固定连接；所述支撑部300的数量至少为三个；若干个间隔的压力传感器200，所述压力传感器200一一对应位于所述支撑部300的上方，所述若干个间隔的压力传感器200背离所述支撑部300的顶部表面适于承载蒸镀基板。

当压力传感器200上正确放置基板后，压力传感器200会有一个检测结果，当压力传感器200上的基板位置放置偏离设定位置，或在对放置基板的蒸镀基板支架移动过程中，基板位置偏离设定位置后，压力传感器200 检测的结果将偏离放置正确时的检测结果，操作人员通过检测结果可判断基板是否偏离蒸镀基板支架上的设定位置。综上，通过本实用新型提供的蒸镀基板支架可高精度判断基板是否偏离蒸镀基板支架上的设定位置。

在本实施例中，基板框体100为矩形基板框体；所述开口400为矩形开口；所述支撑部300的数量为四个，所述压力传感器200的数量为四个；所述支撑部300分别固定于所述开口400的内角处。通常基板为矩形的，因此所述开口设置为矩形开口，在矩形开口的四个内角处设置四个支撑部 300，可有效防止基板位置偏移时，从基板框体100开口处滑落。

在其他实施例中，基板框体100可以为其它形状框体；开口400可以为其它形状开口。

在本实施例中，继续参考图1，所述基板框体100具有相对设置的第一表面101和第二表面102，所述开口400自第一表面101至第二表面102贯穿所述基板框体100；所述压力传感器200至第一表面101的距离大于所述支撑部300至第一表面101的距离；所述压力传感器200的顶部表面低于所述第二表面102。

压力传感器200的顶部表面低于所述第二表面102，开口400可以起到对基板限位的作用，当蒸镀基板支架轻微晃动过程中，蒸镀基板偏离蒸镀基板支架上的设定位置的可能减小。

在本实施例中，所有支撑部300位于同一水平面，所有压力传感器200 位于同一水平面，这样可以保证基板在蒸镀过程中的水平。

在本实施例中，所述基板框体100包括铁基板框体。铁基板框体具有较高的工作温度，强度和韧性都能满足使用需求，并且可以通过磁力进行位置的固定。在其他实施例中，基板框体100可以为其他材料框体。

在本实施例中，所述支撑部300与基板框体100一体成型。一体成型结构易于加工，支撑部300的位置控制精度较高。在其他实施例中，支撑部300可以与基板框体100以其他形式固定连接，例如通过焊接固定连接或通过粘合胶固定连接。

在本实施例中，所述支撑部300朝向压力传感器一侧的表面面积为 25mm²-400mm²。若支撑部300的面积小于25mm²，则无法有效支撑压力传感器200；若支撑部300的面积大于400mm²，则对蒸镀基板的被蒸镀面遮挡过多。

在本实施例中，蒸镀基板支架，还包括：高度调节单元，高度调节单元，所述高度调节单元与压力传感器200固定连接，所述高度调节单元与所述支撑部300活动连接。在本实施例中，高度调节单元为螺杆高度调节单元，所述螺杆具有外螺纹，支撑部300中具有与所述螺杆适配的内螺纹，螺杆一端与压力传感器200固定连接，另外一端与支撑部300的内螺纹旋接，通过转动螺杆调节压力传感器200的高度。

在本实施例中，所述压力传感器200与计算机通讯连接，当蒸镀基板位置偏离设定位置后，可通过计算机直接获取偏离情况。

实施例2

本实施例提供一种蒸镀设备，包括：实施例1提供的蒸镀基板支架。

蒸镀设备还包括：蒸镀腔体；蒸镀基板支架设置于蒸镀腔体内；位于所述蒸镀腔体内的蒸镀源。

蒸镀设备还包括：填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种蒸镀基板支架，其特征在于，包括：

基板框体，所述基板框体中具有贯穿基板框体的开口；

若干个间隔的支撑部，各所述支撑部均与所述开口的侧壁表面固定连接；所述支撑部的数量至少为三个；

若干个间隔的压力传感器，所述压力传感器一一对应位于所述支撑部的上方，所述若干个间隔的压力传感器背离所述支撑部的顶部表面适于承载蒸镀基板。

2.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，所述基板框体为矩形基板框体；所述开口为矩形开口；

所述支撑部的数量为四个，所述压力传感器的数量为四个；所述支撑部分别固定于所述开口的内角处。

3.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，所述基板框体具有相对设置的第一表面和第二表面，所述开口自第一表面至第二表面贯穿所述基板框体；所述压力传感器至第一表面的距离大于所述支撑部至第一表面的距离；所述压力传感器的顶部表面低于所述第二表面。

4.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，所述基板框体为铁基板框体。

5.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，所述支撑部与基板框体一体成型。

6.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，所述支撑部朝向压力传感器一侧的表面面积为25mm²-400mm²。

7.根据权利要求1所述的蒸镀基板支架，其特征在于，高度调节单元，所述高度调节单元与压力传感器固定连接，所述高度调节单元与所述支撑部活动连接。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的蒸镀基板支架。

Images