CN217404323U - 一种高效功率循环试验仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种高效功率循环试验仪，其包括测试箱、测试母板、测试子板及隔板，测试箱包括底板、顶板、三面围板，底板、顶板及三面围板带有夹层，三面围板夹层内盘绕加热丝，隔板将测试箱分隔成第一及第二测试腔，第一及第二测试腔内的加热丝与不同的电加热器连接，底板及顶板夹层内盘绕第一冷却水管，隔板夹层内中部盘绕有第二冷却水管，底板、顶板、三面围板及隔板上均开设风孔且风孔处安装风扇及风孔盖板，所述第一测试腔及第二测试腔内分别安装测试母板及测试子板。本实用新型提供的装置结构简单，测试效率高且测试结果准确。

Description

一种高效功率循环试验仪

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种高效功率循环试验仪。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域已得到广泛应用。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，其在投入使用前需要用功率循环试验仪对其热阻抗、热瞬态曲线等进行测试。传统的功率循环试验仪只有一个测试区，且每个测试区加热测试过程中，测试区内温度不均匀，导致不同区域的被测试元件测试环境不同，从而影响测试结果的准确性，并且加热完毕后，需要将测试箱内温度降到一定温度后再进行测试的等待过程比较长，导致测试效率降低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供结构简单，具有两个互不影响的测试区，测试效率高且测试结果准确的一种高效功率循环试验仪。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现：

一种高效功率循环试验仪，其包括测试箱、测试母板、测试子板及隔板，所述测试箱包括底板、顶板、三面围板，所述底板、顶板及三面围板均为带有夹层的双层结构，所述隔板为带有夹层的双层结构插装于测试箱内中部将测试箱分隔成第一测试腔及第二测试腔，三面围板的夹层内盘绕有加热丝，且第一测试腔及第二测试腔内的加热丝与不同的电加热器连接，底板及顶板的夹层内盘绕有第一冷却水管，第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管分别通过不同的管路与冷却水箱连通，隔板的夹层内中部盘绕有第二冷却水管，测试箱的正面铰装有第一密封箱门及第二密封箱门分别与隔板之间形成密封，所述底板、顶板、三面围板及隔板的内侧均开设有风孔且风孔处安装有风扇及风孔盖板，所述第一测试腔及第二测试腔内分别安装测试母板及测试子板。

进一步，风孔外侧固定设有卡槽，所述风孔盖板滑动的卡装于卡槽内，并且风孔盖板上固定安装有连接杆，所述连接杆分别伸出测试箱外且连接杆端部固定安装有拉手。

优化的，第二冷却水管、第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管的两端分别与冷却水箱的三个出水口及三个回水口通过给水管路及回水管路连通，且相应的给水管路上安装有循环泵。

进一步，第一测试腔及第二测试腔内的底板及顶板上分别设有多对纵向滑轨，每对纵向滑轨上分别滑动的安装有安装板，每个安装板上固定安装两个测试主板，每个所述测试主板上安装有两个测试子板，每个测试子板上设有二十四个测试工位。

优化的，每个所述安装板外侧均固定安装有把手。

本实用新型的有益效果

本实用新型所保护的一种高效功率循环试验仪，具有如下优点：结构简单，具有两个互不影响的测试区；测试箱内温度均衡，测试结果准确；测试效率高。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图中1.围板，2.第一测试腔，3.隔板，4.第二测试腔，5.顶板,6.第一冷却水管,7.连接杆，8.拉手，9.风孔盖板,10.滑轨,11.底板,12.电加热器,13.风孔，14.风扇，15.冷却水箱，16.第二冷却水管，17.给水管路，18.循环泵，19.加热丝，20.安装板，21.把手，22.测试母板，23.测试工位，24.测试子板，25.回水管路。

具体实施方式

一种高效功率循环试验仪，其包括测试箱、测试母板22、测试子板24及隔板3，所述测试箱包括底板11、顶板5、三面围板1，所述底板、顶板及三面围板均为带有夹层的双层结构，所述隔板为带有夹层的双层结构插装于测试箱内中部将测试箱分隔成第一测试腔2及第二测试腔4，三面围板的夹层内盘绕有加热丝19，且第一测试腔及第二测试腔内的加热丝与不同的电加热器12连接，底板及顶板的夹层内盘绕有第一冷却水管6，第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管分别通过不同的冷却管路与冷却水箱15连通，隔板的夹层内中部盘绕有第二冷却水管16，测试箱的正面铰装有第一密封箱门(未示出)及第二密封箱门(未示出)分别与隔板之间形成密封，所述底板、顶板、三面围板及隔板的内侧均开设有风孔13且风孔处安装有风扇14及风孔盖板9，所述第一测试腔及第二测试腔内分别安装测试母板及测试子板。

当半导体元件需要测试时，将半导体元件安装到测试子板上，需要加热时，控制相应测试腔内的电加热器加热，同时该测试腔内的三面围板的风孔盖板处于打开状态，相应的风扇打开，将热风导入到相应的测试腔中进行加热。

当加热温度达到设定温度，电加热器停止加热，并且三面围板的风孔盖板将风孔关闭，风扇停止送风，同时冷却水箱向第一冷却水管及第二冷却水管内送水，相应测试腔侧的顶板、底板及相应侧隔板的风孔盖板及风扇打开，风扇将冷风送入相应的测试腔，使测试腔内的温度可以快速降到所需温度，进行下一步测试，测试完毕后，也可以实现测试腔内快速降温，便于将测试元件取出，加快了功率循环试验机的试验进程。并且由于风孔及风扇的设置，可以加快测试腔内的空气流动，使得测试腔内的温度比较均衡，保证测试结果的准确性。

由于隔板为带有夹层的双层结构插装于测试箱内中部将测试箱分隔成第一测试腔及第二测试腔，方便隔板安装且能够将测试箱分隔成两个的测试腔，并且隔板的夹层内中部盘绕有第二冷却水管，所述隔板上开设有风孔，还可以进一步加快测试腔内的冷却速度，加快测试进程。

由于三面围板的夹层内盘绕有加热丝，且第一测试腔及第二测试腔内的加热丝与不同的电加热器连接，底板及顶板的夹层内盘绕有第一冷却水管，第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管分别通过不同的冷却管路与冷却水箱连通，使得第一测试腔及第二测试腔被分隔成两个互不影响的测试腔，使两个测试腔可以工作在不同的间歇时间而互不影响。

进一步，风孔外侧固定设有卡槽(未示出)，所述风孔盖板滑动的卡装于卡槽内，并且风孔盖板上固定安装有连接杆7，所述连接杆分别伸出测试箱外且连接杆端部固定安装有拉手8。方便拉动拉手，实现相应风孔盖板的打开与关闭。

优化的，第二冷却水管、第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管的两端分别与冷却水箱的三个出水口及三个回水口通过给水管路17及回水管路25连通，且相应的给水管路上安装有循环泵18。第二冷却水管、第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管可以实现分别单独控制，使第一测试腔及第二测试腔互不影响。

进一步，第一测试腔及第二测试腔内的底板及顶板上分别设有多对纵向滑轨10，每对纵向滑轨上分别滑动的安装有安装板20，每个安装板上固定安装两个测试主板，每个所述测试主板上安装有两个测试子板，每个测试子板上设有二十四个测试工位23。测试时，被测元件安装在相应的测试工位上，可以实现同时多个被测元件同时测试，测试效率比较高。并且安装及取下元件时，可以将安装板沿着纵向滑轨抽出测试箱，方便元件的安装及取下，且防止操作人员被烫伤。

优化的，每个所述安装板外侧均固定安装有把手21，方便安装及拆卸被测试元件时将安装板沿着纵向滑轨抽出测试箱，提高测试效率，且防止操作人员被烫伤。

综上所述，本实用新型所保护的一种高效功率循环试验仪，结构简单，具有两个互不影响的测试区；测试箱内温度均衡，测试结果准确；测试效率高。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种高效功率循环试验仪，其特征在于，包括测试箱、测试母板、测试子板及隔板，所述测试箱包括底板、顶板、三面围板，所述底板、顶板及三面围板均为带有夹层的双层结构，所述隔板为带有夹层的双层结构插装于测试箱内中部将测试箱分隔成第一测试腔及第二测试腔，三面围板的夹层内盘绕有加热丝，且第一测试腔及第二测试腔内的加热丝与不同的电加热器连接，底板及顶板的夹层内盘绕有第一冷却水管，第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管分别通过不同的管路与冷却水箱连通，隔板的夹层内中部盘绕有第二冷却水管，测试箱的正面铰装有第一密封箱门及第二密封箱门分别与隔板之间形成密封，所述底板、顶板、三面围板及隔板的内侧均开设有风孔且风孔处安装有风扇及风孔盖板，所述第一测试腔及第二测试腔内分别安装测试母板及测试子板。

2.根据权利要求1所述的一种高效功率循环试验仪，其特征在于，风孔外侧固定设有卡槽，所述风孔盖板滑动的卡装于卡槽内，并且风孔盖板上固定安装有连接杆，所述连接杆分别伸出测试箱外且连接杆端部固定安装有拉手。

3.根据权利要求1所述的一种高效功率循环试验仪，其特征在于，所述第二冷却水管、第一测试腔及第二测试腔的第一冷却水管的两端分别与冷却水箱的三个出水口及三个回水口通过给水管路及回水管路连通，且相应的给水管路上安装有循环泵。

4.根据权利要求1所述的一种高效功率循环试验仪，其特征在于，第一测试腔及第二测试腔内的底板及顶板上分别设有多对纵向滑轨，每对纵向滑轨上分别滑动的安装有安装板，每个安装板上固定安装两个测试主板，每个所述测试主板上安装有两个测试子板，每个测试子板上设有二十四个测试工位。

5.根据权利要求4所述的一种高效功率循环试验仪，其特征在于，每个所述安装板外侧均固定安装有把手。

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