CN217403664U

CN217403664U - 一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置

Info

Publication number: CN217403664U
Application number: CN202221476769.7U
Authority: CN
Inventors: 朱桂丰
Original assignee: Guangdong Field Effect Semiconductor Co ltd
Current assignee: Guangdong Field Effect Semiconductor Co ltd
Priority date: 2022-06-14
Filing date: 2022-06-14
Publication date: 2022-09-09
Anticipated expiration: 2032-06-14

Abstract

本申请涉及晶圆凸块拉力检测装置技术领域，具体为一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置。本申请，包括垫板，所述垫板的上表面设有检测结构，所述检测结构包括滑轨，所述滑轨固定连接在垫板的上表面，所述滑轨的内壁均匀滑动连接有四个滑柱，四个所述滑柱的上端固定连接有底座，所述底座的表面开设有放置槽，所述底座的圆弧面固定连接有固定块，所述固定块内螺纹插设有压杆，所述底座的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上端转动连接有转轴，所述转轴内螺纹插设有螺杆。解决了传统晶圆凸块拉力检测装置需要多次更换晶圆拉块的角度，对晶圆进行多角度拉力测试，多次操作给操作人员带来不便，操作不当还容易对半导体晶圆带来损伤的问题。

Description

一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置

技术领域

本申请涉及晶圆凸块拉力检测装置技术领域，尤其涉及一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置。

背景技术

晶圆凸块拉力检测装置是指对晶圆凸块的拉力进行检测的用具，主要负责检测晶圆的质量，传统晶圆凸块拉力检测装置需要多次更换晶圆拉块的角度，对晶圆进行多角度拉力测试，多次操作给操作人员带来不便，操作不当还容易对半导体晶圆带来损伤。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中存在传统晶圆凸块拉力检测装置需要多次更换晶圆拉块的角度，对晶圆进行多角度拉力测试，多次操作给操作人员带来不便，操作不当还容易对半导体晶圆带来损伤的缺点，而提出的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，包括垫板，所述垫板的上表面设有检测结构，所述检测结构包括滑轨，所述滑轨固定连接在垫板的上表面，所述滑轨的内壁均匀滑动连接有四个滑柱，四个所述滑柱的上端固定连接有底座，所述底座的表面开设有放置槽，所述底座的圆弧面固定连接有固定块，所述固定块内螺纹插设有压杆，所述底座的上表面固定连接有截面呈U字型的支撑板，所述支撑板的上端转动连接有转轴，所述转轴内螺纹插设有螺杆，所述转轴的圆弧面固定连接有转动框，所述转动框的顶部内壁滑动连接有拉块，所述拉块的一端固定连接有拉钩。

上述部件所达到的效果为：达到了可以将晶圆放在底座的放置槽中，通过旋转底座调整晶圆位置的效果，进而达到了调整对晶圆拉力方向的效果。

优选的，所述转动框的内侧滑动连接有拉力检测器，所述拉力检测器的检测探头与拉块固定连接。

上述部件所达到的效果为：达到了可以借助拉力检测器对拉力测试结果进行快速显示的效果，使测试结果更加直观。

优选的，所述转动框的内壁两侧均开设有限位槽，所述拉块对应限位槽的位置固定连接有连接条，所述拉块借助连接条与限位槽的内壁滑动连接。

上述部件所达到的效果为：达到了对拉块移动位置进行限制的效果。

优选的，所述支撑板的一侧固定连接有量角器，所述量角器的圆心与转轴的圆心位于同一直线上。

上述部件所达到的效果为：达到了可以观察量角器驱动拉块拉力角度的效果。

优选的，所述拉块的上表面固定连接有防滑垫，所述防滑垫的上表面均匀设有防滑纹。

上述部件所达到的效果为：达到了提高拉块表面摩擦力，进而方便拉动拉块移动的效果。

优选的，所述压杆的下端固定连接有压垫，所述压垫的尺寸大于螺杆的尺寸。

上述部件所达到的效果为：达到了增大压杆与底座之间的接触面积，进而提高压杆对底座限位强度的效果。

优选的，所述底座的放置槽内壁设有限位结构，所述限位结构包括两个滑槽，两个所述滑槽分别开设在放置槽的两侧，所述滑槽的内壁滑动连接有限位块，两个所述限位块彼此靠近的一侧固定连接有压板，所述压板的下表面固定连接有橡胶垫，所述底座的上表面固定连接有两个固定架，所述固定架的上端转动连接有调节板，所述底座对应调节板的位置固定连接有电推杆。

上述部件所达到的效果为：达到了可以启动电推杆顶动调节板，使调节板挤压压板，使压板连带橡胶垫对晶圆进行挤压限位的效果。

优选的，所述限位块的下表面固定连接有弹簧，所述弹簧的下端与放置槽的底端内壁固定连接。

上述部件所达到的效果为：达到了可以给限位块弹力，方便限位块对准滑槽的效果。

综上所述，本申请的有益效果为：

本申请中，通过设置检测结构，达到了可以通过旋转晶圆来实现对晶圆凸块不同角度进行拉力测试的效果，提高了对晶圆凸块拉力测试的效率，同时也提高了拉力测试数据的精准度。

附图说明

图1为本申请的立体结构示意图；

图2为本申请检测结构的部分结构示意图；

图3为本申请图1的部分结构截面图；

图4为本申请图1的部分结构示意图。

图例说明：1、垫板；2、检测结构；201、滑轨；202、滑柱；203、底座；204、放置槽；205、固定块；206、压杆；207、支撑板；208、转轴；209、转动框；210、拉块；211、拉钩；212、拉力检测器；213、螺杆；214、限位槽；215、量角器；216、防滑垫；217、压垫；3、限位结构；31、滑槽；32、限位块；33、压板；34、橡胶垫；35、弹簧；36、电推杆；37、固定架；38、调节板。

具体实施方式

参照图1所示，本申请提供一种技术方案：一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，包括垫板1，垫板1的上表面设有检测结构2。

参照图2和图3所示，本实施方案中：检测结构2包括滑轨201，滑轨201固定连接在垫板1的上表面，滑轨201的内壁均匀滑动连接有四个滑柱202，四个滑柱202的上端固定连接有底座203，底座203的表面开设有放置槽204，底座203的圆弧面固定连接有固定块205，固定块205内螺纹插设有压杆206，底座203的上表面固定连接有截面呈U字型的支撑板207，支撑板207的上端转动连接有转轴208，转轴208内螺纹插设有螺杆213，转轴208的圆弧面固定连接有转动框209，转动框209的顶部内壁滑动连接有拉块210，拉块210的一端固定连接有拉钩211，达到了可以将晶圆放在底座203的放置槽204中，通过旋转底座203调整晶圆位置的效果，进而达到了方便调整对晶圆拉力方向的效果。

参照图2和图3所示，本实施方案中：转动框209的内侧滑动连接有拉力检测器212，拉力检测器212的检测探头与拉块210固定连接，达到了可以借助拉力检测器212对拉力测试结果进行快速显示的效果，使测试结果更加直观。转动框209的内壁两侧均开设有限位槽214，拉块210对应限位槽214的位置固定连接有连接条，拉块210借助连接条与限位槽214的内壁滑动连接，达到了对拉块210移动位置进行限制的效果。支撑板207的一侧固定连接有量角器215，量角器215的圆心与转轴208的圆心位于同一直线上，达到了可以观察量角器215驱动拉块210拉力角度的效果。拉块210的上表面固定连接有防滑垫216，防滑垫216的上表面均匀设有防滑纹，达到了提高拉块210表面摩擦力，进而方便拉动拉块210移动的效果。

参照图2和图3所示，本实施方案中：压杆206的下端固定连接有压垫217，压垫217的尺寸大于螺杆213的尺寸，达到了增大压杆206与底座203之间的接触面积，进而提高压杆206对底座203限位强度的效果。

参照图4所示，本实施方案中：底座203的放置槽204内壁设有限位结构3，限位结构3包括两个滑槽31，两个滑槽31分别开设在放置槽204的相对两侧，滑槽31的内壁滑动连接有限位块32，两个限位块32彼此靠近的一侧固定连接有压板33，压板33的下表面固定连接有橡胶垫34，底座203的上表面固定连接有两个固定架37，固定架37的上端转动连接有调节板38，底座203对应调节板38的位置固定连接有电推杆36，达到了可以启动电推杆36顶动调节板38，以使调节板38挤压压板33，从而使压板33连带橡胶垫34对晶圆进行挤压限位的效果。另外，在限位块32的下表面固定连接有弹簧35，弹簧35的下端与放置槽204的底端内壁固定连接，达到了可以给限位块32弹力，方便限位块32对准滑槽31的效果。

工作原理，当需要对晶圆的拉力进行检测时，先转动压杆206，使压杆206借助螺纹带动压垫217向上移动，使压垫217从底座203的表面脱离，然后转动底座203，底座203会带动滑柱202沿着滑轨201的内壁滑动，达到了对晶圆角度进行调整的效果，当调整到待测试角度时，反转压杆206，使压杆206带动压垫217向下移动，使压垫217挤压在底座203的表面，达到了对底座203进行固定的效果，接着将拉钩211挂在晶圆上，然后推动防滑垫216，防滑垫216带动拉块210移动，拉块210连带连接条沿着限位槽214的内壁滑动，限位槽214起到了对拉块210移动位置进行限制的效果，拉块210会拉动拉钩211拉动晶圆，进而达到了对晶圆凸块拉力进行检测的效果，当需要获取精准数据时，可以直接拉动拉力检测器212对拉力进行精确测试，当需要调整拉钩211拉力角度时，可以转动螺杆213，使螺杆213从支撑板207表面脱离。

转动转动框209，借助量角器215获取精确拉力角度，当调整到合适角度后，反转螺杆213，使螺杆213挤压在支撑板207上，达到了对转动框209角度进行固定的效果，通过设置检测结构2，达到了可以通过旋转晶圆来实现对晶圆凸块不同角度进行拉力测试的效果，提高了对晶圆凸块拉力测试的效率，同时也提高了拉力测试数据的精准度。

当需要将晶圆固定在放置槽204中时，先向上拉动压板33，此时压板33会从底座203的放置槽204中滑出，限位块32会沿着滑槽31内壁滑动，达到了对压板33移动位置进行限制的效果，然后将晶圆放在放置槽204中，接着启动电推杆36，电推杆36开始顶动调节板38，调节板38借助固定架37转动，调节板38开始挤压压板33，使压板33连带橡胶垫34挤压晶圆，对晶圆进行限位，达到了对晶圆进行快速固定限位的效果。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims

1.一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，包括垫板（1），其特征在于：所述垫板（1）的上表面设有检测结构（2），所述检测结构（2）包括滑轨（201），所述滑轨（201）固定连接在垫板（1）的上表面，所述滑轨（201）的内壁均匀滑动连接有四个滑柱（202），四个所述滑柱（202）的上端固定连接有底座（203），所述底座（203）的表面开设有放置槽（204），所述底座（203）的圆弧面固定连接有固定块（205），所述固定块（205）内螺纹插设有压杆（206），所述底座（203）的上表面固定连接有截面呈U字型的支撑板（207），所述支撑板（207）的上端转动连接有转轴（208），所述转轴（208）内螺纹插设有螺杆（213），所述转轴（208）的圆弧面固定连接有转动框（209），所述转动框（209）的顶部内壁滑动连接有拉块（210），所述拉块（210）的一端固定连接有拉钩（211）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述转动框（209）的内侧滑动连接有拉力检测器（212），所述拉力检测器（212）的检测探头与拉块（210）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述转动框（209）的内壁两侧均开设有限位槽（214），所述拉块（210）对应限位槽（214）的位置固定连接有连接条，所述拉块（210）借助连接条与限位槽（214）的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述支撑板（207）的一侧固定连接有量角器（215），所述量角器（215）的圆心与转轴（208）的圆心位于同一直线上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述拉块（210）的上表面固定连接有防滑垫（216），所述防滑垫（216）的上表面均匀设有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述压杆（206）的下端固定连接有压垫（217），所述压垫（217）的尺寸大于螺杆（213）的尺寸。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述底座（203）的放置槽（204）内壁设有限位结构（3），所述限位结构（3）包括两个滑槽（31），两个所述滑槽（31）分别开设在放置槽（204）的相对两侧，所述滑槽（31）的内壁滑动连接有限位块（32），两个所述限位块（32）彼此靠近的一侧固定连接有压板（33），所述压板（33）的下表面固定连接有橡胶垫（34），所述底座（203）的上表面固定连接有两个固定架（37），所述固定架（37）的上端转动连接有调节板（38），所述底座（203）对应调节板（38）的位置固定连接有电推杆（36）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述限位块（32）的下表面固定连接有弹簧（35），所述弹簧（35）的下端与放置槽（204）的底端内壁固定连接。