CN217399039U - 一种单晶炉下传动用水冷机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种单晶炉下传动用水冷机构，包括出水管接头、进水管接头、水冷轴、内置水管和旋转接头，内置水管上端与水冷轴的进水口连通，下端与旋转接头的水管连通，出水管接头和进水管接头与旋转接头螺纹连接。旋转接头的上端与水冷轴的下端连接，能够实现两个水管接头位置不动的情况下，水冷轴可自由旋转。水冷轴包括主轴体、环形水道体和轴端锥体，环形水道体位于主轴体内部，轴端锥体位于主轴体上部，内置水管与环形水道体的进水口连通。整体水冷机构的结构简单，拆装方便。环形水道体中的锥面环形水道为三段式焊接成型，加工方便，且冷却均匀，冷却效果强，可大大延长使用寿命。

Description

一种单晶炉下传动用水冷机构

技术领域

本实用新型属于单晶炉部件技术领域，尤其是涉及一种单晶炉下传动用水冷机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备。单晶炉下传动部分在使用过程中需要水冷机构进行水冷，水冷机构需要按照设定速度进行缓慢旋转及上升，从而达到一个单晶硅结晶过程，在此单晶硅拉制过程中，炉内近1500℃的高温将不断冲击水冷机构，导致水冷机构消耗较大，寿命受到影响，经常需要更换。另外为了保证单晶硅的品质，冷却过程需要快速且均匀，现有的水冷机构冷却均匀效果均不理想。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种单晶炉下传动用水冷机构，以解决现有技术中存在的水冷机构拆装不便和冷却效果不理想的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

提供一种单晶炉下传动用水冷机构，包括出水管接头和进水管接头，还包括水冷轴、内置水管和旋转接头，所述内置水管上端与所述水冷轴的进水口连通，下端与所述旋转接头的水管连通，所述旋转接头的上端与所述水冷轴的下端连接，所述出水管接头和进水管接头与所述旋转接头螺纹连接。

进一步的，所述水冷轴包括主轴体、环形水道体和轴端锥体，所述环形水道体位于主轴体内部，所述轴端锥体位于所述主轴体上部，所述内置水管与所述环形水道体的进水口连通。

进一步的，所述环形水道体为锥面环形水道体。

进一步的，所述锥面环形水道体中的锥面环形水道为三段式焊接成型。

进一步的，所述内置水管上端与所述水冷轴的进水口连通处设有第一密封圈径向密封，所述内置水管的下端与所述旋转接头的水管连通处设有第二密封圈径向密封，所述旋转接头的上端与所述水冷轴的下端连接处设有第三密封圈径向密封。

本实用新型中，整体水冷机构的结构简单，拆装方便。水冷轴内部的锥面环形水道用段式焊接成型，加工方便，且冷却均匀，冷却效果强，可大大延长使用寿命。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为单晶炉下传动用水冷机构剖视图；

图2为单晶炉下传动用水冷机构中水冷轴剖视图；

图3为单晶炉下传动用水冷机构中环形水道体结构示意图；

图4为单晶炉下传动用水冷机构工作时水流走向示意图

附图标记说明：

1-第一密封圈；2-水冷轴；2-1-主轴体；2-2-环形水道体；2-3-轴端锥体；3-内置水管；4-第二密封圈；5-第三密封圈；6-旋转接头；7-出水管接头；8-进水管接头

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1所示，本实用新型涉及的单晶炉下传动用水冷机构，包括出水管接头7和进水管接头8，还包括水冷轴2、内置水管3和旋转接头6，所述内置水管3上端与所述水冷轴2的进水口连通，下端与所述旋转接头6的水管连通，所述出水管接头7和进水管接头8与所述旋转接头6螺纹连接，所述旋转接头6的上端与所述水冷轴2的下端连接，能够实现出水管接头7和进水管接头8位置不动的情况下，水冷轴2自由旋转。所述内置水管3上端与所述水冷轴2的进水口连通处设有第一密封圈1径向密封，所述内置水管3的下端与所述旋转接头6的水管连通处设有第二密封圈4径向密封，所述旋转接头6的上端与所述水冷轴2的下端连接处设有第三密封圈5径向密封。整体水冷机构的结构简单，拆装方便。密封圈能够防止串水，确保冷却快速有效。

如图2和图3所示，所述水冷轴2包括主轴体2-1、环形水道体2-2和轴端锥体2-3，所述环形水道体2-2位于主轴体2-1内部，所述轴端锥体2-3位于所述主轴体2-1上部，所述内置水管3与所述环形水道体2-2的进水口连通。所述环形水道体2-2为锥面环形水道体，所述锥面环形水道体中的锥面环形水道为三段式焊接成型，加工方便，且冷却均匀，冷却效果强，可大大延长使用寿命。

如图4所示，根据箭头方向，冷水从进水管接头8的进口进入，通过旋转接头6后流入内置水管3内部，接着沿水冷轴2中的环形水道体从下往上，从内而外流出，然后沿内置水管3外侧流回旋转接头6，并从出水管接头7的出口流出，实现水冷功能，带走热量。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶炉下传动用水冷机构，包括出水管接头(7)和进水管接头(8)，其特征在于：还包括水冷轴(2)、内置水管(3)和旋转接头(6)，所述内置水管(3)上端与所述水冷轴(2)的进水口连通，下端与所述旋转接头(6)的水管连通，所述旋转接头(6)的上端与所述水冷轴(2)的下端连接，所述出水管接头(7)和进水管接头(8)与所述旋转接头(6)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉下传动用水冷机构，其特征在于：所述水冷轴(2)包括主轴体(2-1)、环形水道体(2-2)和轴端锥体(2-3)，所述环形水道体(2-2)位于主轴体(2-1)内部，所述轴端锥体(2-3)位于所述主轴体(2-1)上部，所述内置水管(3)与所述环形水道体(2-2)的进水口连通。

3.根据权利要求2所述的单晶炉下传动用水冷机构，其特征在于：所述环形水道体(2-2)为锥面环形水道体。

4.根据权利要求3所述的单晶炉下传动用水冷机构，其特征在于：所述锥面环形水道体中的锥面环形水道为三段式焊接成型。

5.根据权利要求1或2所述的单晶炉下传动用水冷机构，其特征在于：所述内置水管(3)上端与所述水冷轴(2)的进水口连通处设有第一密封圈(1)径向密封，所述内置水管(3)的下端与所述旋转接头(6)的水管连通处设有第二密封圈(4)径向密封，所述旋转接头(6)的上端与所述水冷轴(2)的下端连接处设有第三密封圈(5)径向密封。

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