CN217385402U - 一种材料释气量测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种材料释气量测装置，包括：量测箱体、空气通入装置和空气排出装置，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道和测试室；所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。本实用新型通过空气温湿度调节装置将气体的温湿度调节至与实际应用场合相近，测试结果更符合材料实际使用过程中的释气量，减小温湿度等外部条件对检测结构的干扰，误差较小，能够更符合工程应用；且测试箱中放置的材料大小不受限制，能够增大可检测到的释气量，检测方式更为简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及材料检测技术领域，具体涉及一种材料释气量测装置。
背景技术
释气，英文outgasing，意指材料在自然状态下自行会释放微量的气体，如：NH3或有机物。在半导体步入纳米时代时，对环境中微量气体浓度有要求，因此，材料释气的量测将成为影响材料使用的重要关键。
现有技术中，通常采用高温或真空来进行材料释气量测，例如中国专利CN103983532，其在真空室内放置测试材料，并通过真空室内的辐射灯对测试材料进行加热控温，然后进行气体压力的两侧，虽然能够测试出材料释放的所有气体组分的量；但是，材料的释气会根据温度的变化而变化，半导体材料的实际使用场合并不会是高温或真空，而上述方法所检测的是高温且真空环境下，该方法所测得的释气量与气体组分与实际应用过程中产生的释气量与气体组分存在明显差异，检测结果存在一定误差，该方法测得的数据其可参考性不高，不利于工程应用；此外，该申请中将材料放置在测试材料盒中进行测试，限制了材料的大小，释气量较小，采集较为困难。
因此，开发一种材料释气量测装置，能够根据实际使用场景和使用条件对材料释气进行量测，减小外接干扰，能够更符合工程应用，检测结果与实际释气量之间的误差小，材料大小不受限制增大可检测到的释气量，显然具有积极的现实意义，更易使得产品在商业上取得成功。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种材料释气量测装置。
为了达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种材料释气量测装置，包括：
量测箱体，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道和与所述空气循环通道连接的测试室；
空气通入装置，所述空气通入装置与所述量测箱体进行连接，所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；
空气排出装置，所述空气排出装置与所述量测箱体进行连接，所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。
优选地，每个所述测试箱上均设置有空气通入口和空气输出口，所述空气通入装置与所述空气通入口连接并与空气循环通道连通，所述空气排出装置与所述空气输出口连接并与所述空气循环通道连通。
优选地，所述空气通入装置包括第一空气过滤装置、空气温湿度调节装置和第一风机，所述空气通入装置与所述量测箱体之间通过第一连接管路进行连接。
优选地，所述第一连接管路远离所述空气通入装置的一端分为若干个第一连接支路，所述第一连接支路的数量与所述测试箱的数量相同，每个所述第一连接支路均对应连接一个测试箱。
优选地，所述第一空气过滤装置、第一风机和所述空气温湿度调节装置之间通过管路进行连通，所述第一空气过滤装置设置在靠近所述量测箱体处，所述空气温湿度调节装置设置在远离所述量测箱体处，所述第一风机位于第一空气过滤装置和空气温湿度调节装置之间，即第一风机吸入空气时，空气先通入所述空气温湿度调节装置中进行温湿度调节后再通入第一空气过滤装置中过滤，空气经过第一空气过滤装置过滤后再通过第一连接管路及第一连接支路后流入测试箱中。
优选地，每个所述第一连接支路均与空气通入口连接并与所述测试箱内的空气循环通道进行连通。
优选地，每个所述第一连接支路上均设置有一个风阀，所述风阀用于调节所述第一连接支路上的风量。
优选地，所述第一连接支路上还设置有流量计，所述流量计位于所述风阀和所述空气通入装置之间，所述流量计用于测量测试箱中的送入气体量。
优选地，每个所述测试室均包括室内容纳腔、进气口和出气口，所述进气口和出气口分别与所述空气循环通道的两端进行连通。
优选地，所述进气口设置在所述测试室上靠近所述空气输出口的一端，所述出气口设置在所述测试室上靠近所述空气通入口的一端。
优选地，所述空气循环通道内设置有第二风机，所述第二风机用于将测试箱内的空气在空气循环管道及测试室内循环。
优选地，每个所述测试箱上均设置有空气采样点，所述空气采样点与所述空气循环管道进行连通。
优选地，所述材料释气量测装置还连接有测试装置，所述测试装置包括采样装置和分析装置，所述采样装置与所述测试装置进行连接，所述采样装置用于对测试箱内的气体进行采样并送入分析装置中进行分析，所述采样装置通过空气采样点采集测试箱内的气体。
优选地，所述空气采样点设置在所述测试箱上靠近所述出气口处。
优选地，所述空气排出装置与所述量测箱体之间通过第二连接管路进行连通，所述空气排出装置包括第二空气过滤装置和第三风机。
优选地，所述第二连接管路靠近所述量测箱体的一端分为若干个第二连接支路，所述第二连接支路的数量与所述测试箱的数量相同，每个所述第二连接支路均对应连接一个测试箱；每个所述第二连接支路上还连接有减压阀。
优选地，其中一个所述测试箱为对照箱，所述对照箱内不放置有测试样品。
优选地，所述测试箱的数量为2个，其中1个测试箱为对照箱，所述对照箱内不放置有测试样品，另1个测试箱内放置有测试样品。
上文中，所述释气量测装置的使用方法为：
S1、打开减压阀和风阀，向量测箱体内通入气体，通过空气温湿度调节装置将通入气体的温湿度调节至与实际应用场合相近，并通过空气过滤装置将通入的气体进行过滤；
S2、将待测材料放入测试室中；
S3、关闭减压阀和风阀，开启第一风机，使测试箱内的气体在测试箱内循环直至材料释气达到平衡状态；
S4、采样装置通过空气采样点对各个测试箱内的气体进行采样并送入分析装置中进行分析并比对对照测试箱和其他测试箱内的材料释气率；
S5、打开风阀和减压阀，将量测箱体内的气体通入第二连接管路，开启第二风机和第二空气过滤装置对该气体进行过滤后排出材料释气量测装置外。
优选地，所述测试箱内的气体在测试箱内循环的时间为至少12h，更优选地为18～36，最优选地为24h。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1.本实用新型通过空气温湿度调节装置将气体的温湿度调节至与实际应用场合相近，无需在真空条件下测试，也并不需要对材料进行加热，测试过程更符合材料实际的使用场景，测试结果更符合材料实际使用过程中的释气量，减小温湿度等外部条件对检测结构的干扰，误差较小，能够更符合工程应用；
2.本实用新型中的测试箱中放置的材料大小不受限制，无需对材料进行剪裁，能够增大可检测到的释气量，检测方式更为简单；
3.本实用新型结构简单，使用方便，成本较低，且具有良好的商业化意义，适于推广应用。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
图2是本实用新型实施例一种空气在测试箱内的流向示意图。
其中：1、量测箱体；2、测试箱；3、空气循环通道；4、测试室；5、空气通入装置；6、空气排出装置；7、第一空气过滤装置；8、空气温湿度调节装置；9、第一风机；10、第一连接管路；11、第一连接支路；12、风阀；13、第二风机；14、空气采样点；15、第二连接管路；16、第二空气过滤装置；17、第三风机；18、第二连接支路；19、减压阀；20、测试样品；21、对照箱。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1和图2所示，一种材料释气量测装置，包括：
量测箱体1，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱2，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道3和与所述空气循环通道连接的测试室4；
空气通入装置5，所述空气通入装置与所述量测箱体进行连接，所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；
空气排出装置6，所述空气排出装置与所述量测箱体进行连接，所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。
在本实施例中，所述测试箱的数量为2个，其中1个测试箱为对照箱21，所述对照箱内不放置有测试样品，将其设置为对照组，另1个测试箱内放置有测试样品20，将其设置为测试组。
在其他的优选实施例中，所述测试箱的数量可以是3～10个，其中1个测试箱为对照箱，所述对照箱内不放置有测试样品，将其设置为对照组，其他测试箱内放置有测试样品，将其设置为对应数量的测试组。
进一步的，每个所述测试箱上均设置有空气通入口和空气输出口，所述空气通入装置与所述空气通入口连接并与空气循环通道连通，所述空气排出装置与所述空气输出口连接并与所述空气循环通道连通。
进一步的，所述空气通入装置包括第一空气过滤装置7、空气温湿度调节装置8和第一风机9，所述空气通入装置与所述量测箱体之间通过第一连接管路10进行连接。
进一步的，所述第一连接管路远离所述空气通入装置的一端分为若干个第一连接支路11，所述第一连接支路的数量与所述测试箱的数量相同，每个所述第一连接支路均对应连接一个测试箱。
进一步的，所述第一空气过滤装置、第一风机和所述空气温湿度调节装置之间通过管路进行连通，所述第一空气过滤装置设置在靠近所述量测箱体处，所述空气温湿度调节装置设置在远离所述量测箱体处，所述第一风机位于第一空气过滤装置和空气温湿度调节装置之间，即第一风机吸入空气时，空气先通入所述空气温湿度调节装置中进行温湿度调节后再通入第一空气过滤装置中过滤，空气经过第一空气过滤装置过滤后再通过第一连接管路及第一连接支路后流入测试箱中。
进一步的，每个所述第一连接支路均与空气通入口连接并与所述测试箱内的空气循环通道进行连通。
进一步的，每个所述第一连接支路上均设置有一个风阀12，所述风阀用于调节所述第一连接支路上的风量。
进一步的，所述第一连接支路上还设置有流量计，所述流量计位于所述风阀和所述空气通入装置之间，所述流量计用于测量测试箱中的送入气体量。
进一步的，每个所述测试室均包括室内容纳腔、进气口和出气口，所述进气口和出气口分别与所述空气循环通道的两端进行连通。
进一步的，所述进气口设置在所述测试室上靠近所述空气输出口的一端，所述出气口设置在所述测试室上靠近所述空气通入口的一端。
进一步的，所述空气循环通道内设置有第二风机13，所述第二风机用于将测试箱内的空气在空气循环管道及测试室内循环。
进一步的，每个所述测试箱上均设置有空气采样点14，所述空气采样点与所述空气循环管道进行连通。
进一步的，本实施例所述材料释气量测装置还连接有测试装置，所述测试装置包括采样装置和分析装置，所述采样装置与所述测试装置进行连接，所述采样装置用于对测试箱内的气体进行采样并送入分析装置中进行分析，所述采样装置通过空气采样点采集测试箱内的气体。
进一步的，所述空气采样点设置在所述测试箱上靠近所述出气口处。
进一步的，所述空气排出装置与所述量测箱体之间通过第二连接管路15进行连通，所述空气排出装置包括第二空气过滤装置16和第三风机17。
进一步的，所述第二连接管路靠近所述量测箱体的一端分为若干个第二连接支路18，所述第二连接支路的数量与所述测试箱的数量相同，每个所述第二连接支路均对应连接一个测试箱；每个所述第二连接支路上还连接有减压阀19。
上文中，所述释气量测装置的使用方法为：
S1、打开减压阀和风阀，向量测箱体内通入气体，通过空气温湿度调节装置将通入气体的温湿度调节至与实际应用场合相近，并通过空气过滤装置将通入的气体进行过滤；
S2、将待测材料放入测试室中；
S3、关闭减压阀和风阀，开启第一风机，使测试箱内的气体在测试箱内循环直至材料释气达到平衡状态；
S4、采样装置通过空气采样点对各个测试箱内的气体进行采样并送入分析装置中进行分析并比对对照测试箱和其他测试箱内的材料释气率；
S5、打开风阀和减压阀，将量测箱体内的气体通入第二连接管路，开启第二风机和第二空气过滤装置对该气体进行过滤后排出材料释气量测装置外。
进一步的，所述测试箱内的气体在测试箱内循环的时间为至少12h，更进一步的为18～36，最进一步的为24h。
进一步的，上述步骤S4中材料释气率的计算方法为：释气率＝送入气体量x(C1-C2)；其中C1为测试组中的气体浓度，C2为对照组中的气体浓度。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种材料释气量测装置，其特征在于，包括：
量测箱体，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道和与所述空气循环通道连接的测试室；
空气通入装置，所述空气通入装置与所述量测箱体进行连接，所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；
空气排出装置，所述空气排出装置与所述量测箱体进行连接，所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。
2.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，每个所述测试箱上均设置有空气通入口和空气输出口，所述空气通入装置与所述空气通入口连接并与空气循环通道连通，所述空气排出装置与所述空气输出口连接并与所述空气循环通道连通。
3.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述空气通入装置包括第一空气过滤装置、空气温湿度调节装置和第一风机，所述空气通入装置与所述量测箱体之间通过第一连接管路进行连接。
4.根据权利要求3所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述第一连接管路远离所述空气通入装置的一端分为若干个第一连接支路，所述第一连接支路的数量与所述测试箱的数量相同，每个所述第一连接支路均对应连接一个测试箱。
5.根据权利要求4所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，每个所述第一连接支路上均设置有一个风阀，所述风阀用于调节所述第一连接支路上的风量。
6.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，每个所述测试室均包括室内容纳腔、进气口和出气口，所述进气口和出气口分别与所述空气循环通道的两端进行连通。
7.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述空气循环通道内设置有第二风机，所述第二风机用于将测试箱内的空气在空气循环通道及测试室内循环。
8.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，每个所述测试箱上均设置有空气采样点，所述空气采样点与所述空气循环通道进行连通。
9.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述空气排出装置与所述量测箱体之间通过第二连接管路进行连通，所述空气排出装置包括第二空气过滤装置和第三风机。
10.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，其中一个所述测试箱为对照箱，所述对照箱内不放置有测试样品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220521793.1U CN217385402U (zh) | 2022-03-11 | 2022-03-11 | 一种材料释气量测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217385402U true CN217385402U (zh) | 2022-09-06 |
Family
ID=83101828
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220521793.1U Active CN217385402U (zh) | 2022-03-11 | 2022-03-11 | 一种材料释气量测装置 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-03-11 CN CN202220521793.1U patent/CN217385402U/zh active Active
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