CN217360014U - 一种mems探针 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种MEMS探针，包括防护壳体，还包括：调节滑槽，所述调节滑槽设置于所述防护壳体的右端面上侧位置；固定板，所述固定板连接于所述防护壳体的内部下侧位置；伸缩杆，所述伸缩杆滑动连接于所述固定板的中部位置；调节拨杆，所述调节拨杆连接于所述伸缩杆的上端侧面上，且所述调节拨杆滑动连接于所述调节滑槽内；限位环，所述限位环固定连接于所述伸缩杆的中部侧面上。该MEMS探针能便于通过探针固定机构对探针本体进行快速的拆卸和安装，从而能够有效的提高该MEMS探针的更换便利性，且能便于通过伸缩杆和开闭防护机构的配合对探针进行收纳防护，从而防止探针本体表面落灰氧化而影响其再次使用。

Description

一种MEMS探针

技术领域

本实用新型涉及MEMS探针技术领域，具体为一种MEMS探针。

背景技术

探针是集成电路芯片封装测试环节中不可或缺的部件，其用于集成电路产品封装前的测试，随着半导体制造技术的发展，集成电路芯片复杂程度不断提高，为了提高测试的效率，出现了运用MEMS技术的探针，这类探针卡可以大大提高探针数量，提高对集成电路芯片封装测试的效率，但是现有的MEMS探针还存在以下不足：

1、现有的集成电路芯片封装测试设备上的探针通过螺栓的方式进行固定安装，该安装方式不便于对探针进行更换，在需要对不同规格的集成电路芯片封装进行检测时更换探针步骤复杂，实用性较差；

2、现有的集成电路芯片封装测试设备上的探针在不使用时裸露在设备外部，长期放置会导致探针表面产生落灰和氧化等现象，从而不便于再次对探针进行使用；

因此，需要一种MEMS探针，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MEMS探针，以解决上述背景技术中提出现有的集成电路芯片封装测试设备上的探针不便于更换且不使用时易产生落灰和氧化等现象的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种MEMS探针，包括防护壳体，还包括：

调节滑槽，所述调节滑槽设置于所述防护壳体的右端面上侧位置；

固定板，所述固定板连接于所述防护壳体的内部下侧位置；

伸缩杆，所述伸缩杆滑动连接于所述固定板的中部位置；

调节拨杆，所述调节拨杆连接于所述伸缩杆的上端侧面上，且所述调节拨杆滑动连接于所述调节滑槽内；

限位环，所述限位环固定连接于所述伸缩杆的中部侧面上；

复位弹簧，所述复位弹簧连接于所述伸缩杆的侧面上；

探针固定机构，所述探针固定机构连接于所述伸缩杆的下端面上；

安装块，所述安装块连接于所述探针固定机构的内部；

探针本体，所述探针本体连接于所述安装块的下端面中部位置；

限位凹槽，所述限位凹槽设置于所述安装块的圆弧侧面上；

开闭防护机构，所述开闭防护机构设置于所述防护壳体的内部下侧位置。

采用上述技术方案，能便于通过探针固定机构对探针本体进行快速的拆卸和安装，从而能够有效的提高该MEMS探针的更换便利性，且能便于通过伸缩杆和开闭防护机构的配合对探针进行收纳防护，从而防止探针本体表面落灰氧化而影响其再次使用。

优选的，所述探针固定机构包括：

固定头，所述固定头固定连接于所述伸缩杆的下端位置；

安装孔，所述安装孔设置于所述固定头的下端位置；

限位球体，所述限位球体活动内嵌连接于所述安装孔的内壁两侧位置；

压紧弹簧，所述压紧弹簧连接于所述限位球体的一侧位置。

采用上述技术方案，能便于通过向下拔动探针本体，使得探针本体带动安装块向下运动，安装块上的限位凹槽挤压限位球体，使得限位球体向固定头的内部运动，能够将探针本体进行取下，反之即可对探针本体进行安装，从而实现对探针本体的快速更换操作。

优选的，所述开闭防护机构包括：

限位框，所述限位框固定连接于所述防护壳体的内部下侧位置；

防护板，所述防护板通过轴连接于所述限位框的下侧两端位置。

采用上述技术方案，能便于通过伸缩杆向下运动时带动探针本体向下运动，探针本体对防护板进行推动，使得防护板向下侧转动，即可将探针本体伸出防护壳体外部进行使用，探针本体收纳在防护壳体内部时，防护板盖合在限位框上对防护壳体内部空间进行密封。

优选的，所述防护板与所述限位框的开口面积大小相等，且所述防护板的连接轴上设置有扭簧。

采用上述技术方案，能便于通过防护板的连接轴上设置的扭簧使得防护板能够始终具有保持关闭的趋势。

优选的，所述调节滑槽的结构形状设置为“L形。

采用上述技术方案，能便于通过调节滑槽的结构形状设置为“L形使得调节滑槽能够对调节拨杆进行限位，使得探针本体能够保持在防护壳体外部进行使用。

优选的，所述复位弹簧设置于所述限位环的下端面与所述固定板的上端面之间。

采用上述技术方案，能便于通过复位弹簧设置于限位环的下端面与固定板的上端面之间使得拨动调节拨杆时能够使得探针本体自动收缩到防护壳体内部。

优选的，2个所述防护板相接触的侧边中部位置分别设置有半圆形通孔，且2个半圆形通孔能够构成圆形通孔，并且所述圆形通孔的直径大于探针本体的直径。

采用上述技术方案，能便于将探针本体伸出防护壳体时，探针本体能够先通过圆形通孔伸出到防护板的外部，避免探针本体与防护板直接接触而导致其发生损坏。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该MEMS探针能便于通过探针固定机构对探针本体进行快速的拆卸和安装，从而能够有效的提高该MEMS探针的更换便利性，且能便于通过伸缩杆和开闭防护机构的配合对探针进行收纳防护，从而防止探针本体表面落灰氧化而影响其再次使用：

1、通过向下拔动探针本体，使得探针本体带动安装块向下运动，安装块侧面的限位凹槽对限位球体进行挤压，使得限位球体向固定头的内部滑动，从而使得安装块与安装孔脱离，通过将需要使用的探针本体上的安装块插入到安装孔内，使得限位球体卡合至限位凹槽内，即可完成探针本体的更换，从而能便于通过探针固定机构对探针本体进行快速的拆卸和安装，能够有效的提高该MEMS探针的更换便利性；

2、通过反向拨动调节拨杆，使得伸缩杆在复位弹簧的弹力作用下向上运动，从而带动探针本体收缩到防护壳体的内部，实现对探针本体的保护，当探针本体收纳到防护壳体内部时，防护板在扭簧的作用下自动闭合转动，使得防护板将限位框的下端开口盖住，起到对探针本体的密封防护作用，从而能便于通过伸缩杆和开闭防护机构的配合对探针进行收纳防护，防止探针本体表面落灰氧化而影响其再次使用。

附图说明

图1为本实用新型前视立体结构示意图；

图2为本实用新型前视剖面示意图；

图3为本实用新型图2中A点放大结构示意图；

图4为本实用新型安装块结构示意图；

图5为本实用新型探针固定机构剖面结构示意图；

图6为本实用新型图5中B点放大结构示意图。

图中：1、防护壳体；2、调节滑槽；3、固定板；4、伸缩杆；5、调节拨杆；6、限位环；7、复位弹簧；8、探针固定机构；801、固定头；802、安装孔；803、限位球体；804、压紧弹簧；9、安装块；10、探针本体；11、限位凹槽；12、开闭防护机构；1201、限位框；1202、防护板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：

一种MEMS探针，包括防护壳体1，还包括：

调节滑槽2，调节滑槽2设置于防护壳体1的右端面上侧位置；调节滑槽2的结构形状设置为“L形；固定板3，固定板3连接于防护壳体1的内部下侧位置；伸缩杆4，伸缩杆4滑动连接于固定板3的中部位置；调节拨杆5，调节拨杆5连接于伸缩杆4的上端侧面上，且调节拨杆5滑动连接于调节滑槽2内；限位环6，限位环6固定连接于伸缩杆4的中部侧面上；复位弹簧7，复位弹簧7连接于伸缩杆4的侧面上；复位弹簧7设置于限位环6的下端面与固定板3的上端面之间；当需要使用探针本体10时，通过向下拨动调节拨杆5，使得调节拨杆5带动伸缩杆4向下滑动，伸缩杆4带动探针固定机构8向下运动，使得探针固定机构8带动探针本体10伸出到防护壳体1的外部，通过横向推动调节拨杆5对其位置进行固定，当使用完成后，通过反向拨动调节拨杆5，使得伸缩杆4在复位弹簧7的弹力作用下向上运动，从而带动探针本体10收缩到防护壳体1的内部，实现对探针本体10的保护。

探针固定机构8，探针固定机构8连接于伸缩杆4的下端面上；探针固定机构8包括：固定头801，固定头801固定连接于伸缩杆4的下端位置；安装孔802，安装孔802设置于固定头801的下端位置；限位球体803，限位球体803活动内嵌连接于安装孔802的内壁两侧位置；压紧弹簧804，压紧弹簧804连接于限位球体803的一侧位置；安装块9，安装块9连接于探针固定机构8的内部；探针本体10，探针本体10连接于安装块9的下端面中部位置；限位凹槽11，限位凹槽11设置于安装块9的圆弧侧面上；当需要对探针本体10进行更换时，通过向下拔动探针本体10，使得探针本体10带动安装块9向下运动，安装块9侧面的限位凹槽11对限位球体803进行挤压，使得限位球体803向固定头801的内部滑动，从而使得安装块9与安装孔802脱离，通过将需要使用的探针本体10上的安装块9插入到安装孔802内，使得限位球体803卡合至限位凹槽11内，即可完成探针本体10的更换。

开闭防护机构12，开闭防护机构12设置于防护壳体1的内部下侧位置；开闭防护机构12包括：限位框1201，限位框1201固定连接于防护壳体1的内部下侧位置；防护板1202，防护板1202通过轴连接于限位框1201的下侧两端位置；防护板1202与限位框1201的开口面积大小相等，且防护板1202的连接轴上设置有扭簧；2个防护板1202相接触的侧边中部位置分别设置有半圆形通孔，且2个半圆形通孔能够构成圆形通孔，并且圆形通孔的直径大于探针本体10的直径；当探针本体10向下运动时，探针本体10对防护板1202进行推动，使得防护板1202向下转动，探针本体10能够伸出到防护壳体1的外部，当探针本体10收纳到防护壳体1内部时，防护板1202在扭簧的作用下自动闭合转动，使得防护板1202将限位框1201的下端开口盖住，从而起到对探针本体10的防护作用，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种MEMS探针，包括防护壳体(1)，其特征在于，还包括：

调节滑槽(2)，所述调节滑槽(2)设置于所述防护壳体(1)的右端面上侧位置；

固定板(3)，所述固定板(3)连接于所述防护壳体(1)的内部下侧位置；

伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)滑动连接于所述固定板(3)的中部位置；

调节拨杆(5)，所述调节拨杆(5)连接于所述伸缩杆(4)的上端侧面上，且所述调节拨杆(5)滑动连接于所述调节滑槽(2)内；

限位环(6)，所述限位环(6)固定连接于所述伸缩杆(4)的中部侧面上；

复位弹簧(7)，所述复位弹簧(7)连接于所述伸缩杆(4)的侧面上；

探针固定机构(8)，所述探针固定机构(8)连接于所述伸缩杆(4)的下端面上；

安装块(9)，所述安装块(9)连接于所述探针固定机构(8)的内部；

探针本体(10)，所述探针本体(10)连接于所述安装块(9)的下端面中部位置；

限位凹槽(11)，所述限位凹槽(11)设置于所述安装块(9)的圆弧侧面上；

开闭防护机构(12)，所述开闭防护机构(12)设置于所述防护壳体(1)的内部下侧位置。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS探针，其特征在于，所述探针固定机构(8)包括：

固定头(801)，所述固定头(801)固定连接于所述伸缩杆(4)的下端位置；

安装孔(802)，所述安装孔(802)设置于所述固定头(801)的下端位置；

限位球体(803)，所述限位球体(803)活动内嵌连接于所述安装孔(802)的内壁两侧位置；

压紧弹簧(804)，所述压紧弹簧(804)连接于所述限位球体(803)的一侧位置。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS探针，其特征在于，所述开闭防护机构(12)包括：

限位框(1201)，所述限位框(1201)固定连接于所述防护壳体(1)的内部下侧位置；

防护板(1202)，所述防护板(1202)通过轴连接于所述限位框(1201)的下侧两端位置。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS探针，其特征在于：所述防护板(1202)与所述限位框(1201)的开口面积大小相等，且所述防护板(1202)的连接轴上设置有扭簧。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS探针，其特征在于：所述调节滑槽(2)的结构形状设置为“L形。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS探针，其特征在于：所述复位弹簧(7)设置于所述限位环(6)的下端面与所述固定板(3)的上端面之间。

7.根据权利要求3所述的一种MEMS探针，其特征在于：2个所述防护板(1202)相接触的侧边中部位置分别设置有半圆形通孔，且2个半圆形通孔能够构成圆形通孔，并且所述圆形通孔的直径大于探针本体(10)的直径。

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