CN217354810U

CN217354810U - 一种超高真空分子泵

Info

Publication number: CN217354810U
Application number: CN202220861566.3U
Authority: CN
Inventors: 金龙钊; 陈晓莉; 陈玲玲
Original assignee: Anhui Taizhen Vacuum Technology Co ltd
Current assignee: Anhui Taizhen Vacuum Technology Co ltd
Priority date: 2022-04-14
Filing date: 2022-04-14
Publication date: 2022-09-02
Anticipated expiration: 2032-04-14

Abstract

本实用新型公开了一种超高真空分子泵，涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定安装有气室，且气室的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳，所述气室的外部设置有出气管，所述安装底座的内部设置有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定连接有传动轴，所述传动轴的外部活动套装有连接套管。该超高真空分子泵，将限位压环旋出，解除对连接套管以及静涡轮叶片的限制，可将连接套管整体与静涡轮叶片沿安装外壳内部取出，动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，将锁定螺钉旋出，即可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行检修或者更换，降低操作难度，进一步降低劳动强度。

Description

一种超高真空分子泵

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

目前超高真空分子泵中的动涡轮叶片和静涡轮叶片安装结构较为复杂，当检修或者更换叶片时，需要对壳体、电机轴等大量结构进行拆卸，操作繁琐，导致工作人员劳动强度增加，为此我们提出一种超高真空分子泵以解决上述提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种超高真空分子泵，具有便于对叶轮进行拆装等优点，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种超高真空分子泵，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定安装有气室，且气室的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳，所述气室的外部设置有出气管，所述安装底座的内部设置有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定连接有传动轴，所述传动轴的外部活动套装有连接套管，所述连接套管的外部卡拆卸式固定安装有动涡轮叶片，所述连接套管的外部活动套装有静涡轮叶片，且静涡轮叶片的周侧固定连接有连接套环，所述安装外壳内部的上方螺纹连接有限位压环。

优选的，所述传动轴外部的下方固定套装有与连接套管相互配合的定位环，所述传动轴的外部与连接套管的内部开设有相互配合的定位条与定位槽。

优选的，所述动涡轮叶片的中部螺纹连接有锁定螺钉，所述动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，所述动涡轮叶片的中部与连接套管的外部开设有相互配合的限位条与限位槽。

优选的，所述静涡轮叶片的中部开设有通孔，且通孔的直径值比连接套管的直径值大2-5毫米，所述静涡轮叶片与动涡轮叶片交错分布于连接套管的外部。

优选的，所述连接套环的周侧与安装外壳的内部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述连接套环的底部固定安装有均匀分布的支撑柱。

优选的，所述限位压环的中部固定安装有定位套管，且定位套管的内部活动套装有连接轴承，所述定位套管通过连接轴承与传动轴的顶端活动连接。

本实用新型提供了一种超高真空分子泵，具备以下有益效果：

1、该超高真空分子泵，将限位压环旋出，解除对连接套管以及静涡轮叶片的限制，可将连接套管整体与静涡轮叶片沿安装外壳内部取出，动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，将锁定螺钉旋出，即可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行检修或者更换，降低操作难度，进一步降低劳动强度。

2、该超高真空分子泵，通过锁定螺钉将动涡轮叶片固定在连接套管上，并通过滑槽以及支撑柱对多个静涡轮叶片的位置进行限制，保证了静涡轮叶片、动涡轮叶片相对位置的稳定性，防止静涡轮叶片、动涡轮叶片工作时产生干涉，在将动涡轮叶片套装在连接套管外部后，将静涡轮叶片交错卡在动涡轮叶片之间，通过连接套环外部的滑块与安装外壳内部的滑槽相互配合对静涡轮叶片位置进行限制，并将连接套管套在传动轴可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行定位安装，安装较为简便。

附图说明

图1为本实用新型整体组合后的结构示意图；

图2为本实用新型安装外壳剖面的结构示意图；

图3为本实用新型输出轴外部的结构示意图；

图4为本实用新型定位套管的结构示意图；

图5为本实用新型连接套管的结构示意图；

图6为本实用新型动涡轮叶片的结构示意图；

图7为本实用新型安装外壳与连接套环配合处的结构示意图。

图中：1、安装底座；2、气室；3、安装外壳；4、出气管；5、驱动电机；6、传动轴；7、连接套管；8、动涡轮叶片；9、静涡轮叶片；10、定位套管；11、限位压环；12、连接轴承；13、锁定螺钉；14、连接套环；15、支撑柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1与2，本实用新型提供一种技术方案：一种超高真空分子泵，包括安装底座1，安装底座1的顶部固定安装有气室2，且气室2的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳3，气室2的外部设置有出气管4，安装底座1的内部设置有驱动电机5，且驱动电机5的输出轴上固定连接有传动轴6，传动轴6的外部活动套装有连接套管7，连接套管7的外部卡拆卸式固定安装有动涡轮叶片8，连接套管7的外部活动套装有静涡轮叶片9，且静涡轮叶片9的周侧固定连接有连接套环14，安装外壳3内部的上方螺纹连接有限位压环11，传动轴6外部的下方固定套装有与连接套管7相互配合的定位环，通过定位环对连接套管7进行支撑，对连接套管7以及动涡轮叶片8位置进行限制，保证了动涡轮叶片8工作时与静涡轮叶片9相对位置的准确性，传动轴6的外部与连接套管7的内部开设有相互配合的定位条与定位槽，保证在传动轴6转动时可带动连接套管7进行转动，保证了该装置的有效性。

请参阅图4与5，动涡轮叶片8的中部螺纹连接有锁定螺钉13，动涡轮叶片8通过锁定螺钉13与连接套管7固定连接，通过锁定螺钉13将动涡轮叶片8锁定在连接套管7上，动涡轮叶片8的中部与连接套管7的外部开设有相互配合的限位条与限位槽，通过限位条与限位槽对动涡轮叶片8进行限制，保证连接套管7可带动动涡轮叶片8进行转动，

请参阅图3，静涡轮叶片9的中部开设有通孔，且通孔的直径值比连接套管7的直径值大2-5毫米，防止连接套管7带动动涡轮叶片8转动时静涡轮叶片9产生干涉，降低该装置使用时出现故障的概率，静涡轮叶片9与动涡轮叶片8交错分布于连接套管7的外部，旋动解除对连接套管7以及静涡轮叶片9的限制，可将连接套管7整体以及静涡轮叶片9沿安装外壳3内部取出，便于对动涡轮叶片8、静涡轮叶片9进行检修与更换。

请参阅图6，连接套环14的周侧与安装外壳3的内部开设有相互配合的滑块与滑槽，通过滑块与滑槽对连接套环14、静涡轮叶片9位置进行限制，保证了静涡轮叶片9安装后的稳定性，保证了该装置的有效性，连接套环14的底部固定安装有均匀分布的支撑柱15，通过支撑柱15将相邻的静涡轮叶片9隔开，对相邻静涡轮叶片9、动涡轮叶片8之间的间距进行限制，进一步保证了动涡轮叶片8、静涡轮叶片9相对位置的精准性。

请参阅图4，限位压环11的中部固定安装有定位套管10，将限位压环11旋进安装外壳3内部对静涡轮叶片9位置进行限制，保证了静涡轮叶片9安装后的稳定性，且定位套管10的内部活动套装有连接轴承12，定位套管10通过连接轴承12与传动轴6的顶端活动连接，定位套管10通过中部的连接轴承12卡在传动轴6外部，对传动轴6顶端进行辅助限制，并对连接套管7位置进行限制。

综上，该超高真空分子泵，使用时，将动涡轮叶片8套在连接套管7外部，通过锁定螺钉13将动涡轮叶片8锁定在连接套管7外部，同时在对动涡轮叶片8安装时，预先将静涡轮叶片9套在连接套管7外部，并时静涡轮叶片9与动涡轮叶片8交错分布，当将动涡轮叶片8、静涡轮叶片9套装在连接套管7外部后，通过连接套管7内部的定位槽以及传动轴6外部的定位条相互配合，将连接套管7套在传动轴6外部，此时，将静涡轮叶片9外部连接套环14周侧的滑块卡进安装外壳3内部的滑槽中，实现对静涡轮叶片9、动涡轮叶片8的定位安装，同时通过传动轴6外部的定位环对连接套管7进行支撑，通过滑块、滑槽对静涡轮叶片9位置进行限制，并通过支撑柱15将相邻的静涡轮叶片9隔开，对相邻静涡轮叶片9、动涡轮叶片8之间的间距进行限制，将限位压环11旋进安装外壳3内部，并使限位压环11底端顶紧最上方的连接套环14，对静涡轮叶片9位置进行限制，同时使限位压环11中部的连接轴承12卡在传动轴6外部，对传动轴6顶端进行辅助限制，并对连接套管7位置进行限制，即可。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种超高真空分子泵，包括安装底座（1），其特征在于：所述安装底座（1）的顶部固定安装有气室（2），且气室（2）的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳（3），所述气室（2）的外部设置有出气管（4），所述安装底座（1）的内部设置有驱动电机（5），且驱动电机（5）的输出轴上固定连接有传动轴（6），所述传动轴（6）的外部活动套装有连接套管（7），所述连接套管（7）的外部卡拆卸式固定安装有动涡轮叶片（8），所述连接套管（7）的外部活动套装有静涡轮叶片（9），且静涡轮叶片（9）的周侧固定连接有连接套环（14），所述安装外壳（3）内部的上方螺纹连接有限位压环（11）。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述传动轴（6）外部的下方固定套装有与连接套管（7）相互配合的定位环，所述传动轴（6）的外部与连接套管（7）的内部开设有相互配合的定位条与定位槽。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述动涡轮叶片（8）的中部螺纹连接有锁定螺钉（13），所述动涡轮叶片（8）通过锁定螺钉（13）与连接套管（7）固定连接，所述动涡轮叶片（8）的中部与连接套管（7）的外部开设有相互配合的限位条与限位槽。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述静涡轮叶片（9）的中部开设有通孔，且通孔的直径值比连接套管（7）的直径值大2-5毫米，所述静涡轮叶片（9）与动涡轮叶片（8）交错分布于连接套管（7）的外部。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述连接套环（14）的周侧与安装外壳（3）的内部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述连接套环（14）的底部固定安装有均匀分布的支撑柱（15）。

6.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述限位压环（11）的中部固定安装有定位套管（10），且定位套管（10）的内部活动套装有连接轴承（12），所述定位套管（10）通过连接轴承（12）与传动轴（6）的顶端活动连接。