CN217340616U - 一种气体过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于气体过滤技术领域，具体为一种气体过滤装置，包括进气管、出气管、以及连接进气管和出气管的气路转换接头，其中：气路转换接头上可拆卸连接有过滤器，进气管、气路转换接头、过滤器和出气管依次连通设置；气路转换接头内设有第一隔板，过滤器内设有第二隔板，过滤器连接在气路转换接头上使第一隔板的上端面和第二隔板的下端面密封连接；过滤器内限定有过滤腔体，第二隔板将过滤腔体分隔为过滤腔和导流腔，过滤腔内设有气体滤芯；气体经进气管进入，流经过滤腔过滤后从导流腔进入出气管。本实用新型实现了过滤器的快速拆卸和滤芯的快速更换，节省了较多的人力、物力和时间。

Description

一种气体过滤装置

技术领域

本实用新型属于气体过滤技术领域，具体为一种气体过滤装置。

背景技术

目前，在半导体行业中，对物料质量的要求很高，因此生产现场的环境质量以及产品制作及传输过程中加工环境的质量一般都需要进行严格的控制。半导体工业需要高纯度和高清洁度的氮气，目前，在实际生产的装卸、更换料的过程中经常会使用氮气置换储存装置中的其它气体来实现半导体气体的供给，为了保证氮气的纯净度或避免氮气在传输过程中混入机械杂质，经常在所用的氮气管路上使用过滤器以过滤掉氮气中给的杂质。另外，为保证氮气的清洁，滤芯更换的频率较高，需要频繁拆卸和安装过滤器，不但消耗较多的人力物力以及时间，而且也会导致管道漏气的现象发生。

因此，研发出一种拆装方便的气体过滤装置尤为必要。

实用新型内容

为解决上述背景技术中的问题，本实用新型提供一种气体过滤装置，通过在气体管路上安装过滤器，可实现滤芯的快速更换，结构简单，安装方便。

本实用新型采用以下技术方案：

一种气体过滤装置，包括进气管、出气管、以及连接进气管和出气管的气路转换接头，其中：气路转换接头上可拆卸连接有过滤器，进气管、气路转换接头、过滤器和出气管依次连通设置；气路转换接头内设有第一隔板，过滤器内设有第二隔板，过滤器连接在气路转换接头上使第一隔板的上端面和第二隔板的下端面密封连接；过滤器内限定有过滤腔体，第二隔板将过滤腔体分隔为过滤腔和导流腔，过滤腔内设有气体滤芯；

气体经进气管进入，流经过滤腔过滤后从导流腔进入出气管。

进一步的，气路转换接头包括与进气管连通的第一通气口、与出气管连通的第二通气口、与过滤器连通的第三通气口，第一通气口和第二通气口均与第三通气口连通，第一隔板将第一通气口和第二通气口隔开，第一通气口与过滤腔连通，第二通气口与导流腔连通。

进一步的，气路转换接头与过滤器通过压紧铁箍密封连接。

进一步的，气路转换接头与过滤器连接处的管径与过滤器的管径相同，气路转换接头的上端面为第一光滑连接密封面，过滤器的下端面为第二光滑连接密封面，第一光滑连接密封面与第二光滑连接密封面贴合。

进一步的，进气管的进气口安装有第一法兰，出气管的出气口安装有第二法兰。

进一步的，进气管、出气管、以及气路转换接头为一体成型设置。

进一步的，在其他技术方案中，进气管、出气管、以及气路转换接头为分体式设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型气体过滤装置中的过滤器通过可拆卸连接方式设置在气体的进出气管上，实现了过滤器的快速拆卸，比起常规的丝杆压紧型快开式过滤器，更方便更换滤芯，且因过滤器安装在气路转换接头上使接口部位的受力更均匀，不容易发生一边拧太紧导致另一边漏气的情况。

(2)本实用新型气体过滤装置中的气路转换接头与过滤器通过压紧铁箍密封连接，当需要更换滤芯时，拧开压紧铁箍即可取下过滤器，更换完过滤器滤芯后重新安装过滤器并拧紧压紧铁箍即可，整体结构简单、安装方便，且无需拆卸气体管路。

(3)本实用新型气体过滤装置在进气管上安装有第一法兰，在出气管上安装有第二法兰，通过第一法兰和第二法兰可将该过滤装置换装到不同的管路中使用，通用性较强。

(4)本实用新型气体过滤装置的进气管、出气管以及气路转换接头为一体成型设置，避免了连接处受力不均或者拧不紧漏气的情况。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1为本实用新型气体过滤装置的整体结构图；

图2为本实用新型气体过滤装置内部截面图；

图3为本实用新型气体过滤装置的气路转换接上头第一光滑连接密封面示意图；

图4为本实用新型气体过滤装置的压紧铁箍结构图；

其中：1-进气管，2-出气管，3-气路转换接头，31-第一隔板，32-第一通气口，33-第二通气口，34-第三通气口，35-第一光滑连接密封面，4-过滤器，41-第二隔板，42-过滤腔，43-导流腔，44-气体滤芯，5-压紧铁箍，6-第一法兰，7-第二法兰。

具体实施方式

下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面结合附图1至附图4以及具体实施例详细论述本实用新型。

如图1-4所示，本实用新型提供一种气体过滤装置，包括进气管1、出气管2、以及连接进气管1和出气管2的气路转换接头3，其中：气路转换接头3上可拆卸连接有过滤器4，进气管1、气路转换接头3、过滤器4和出气管2依次连通设置；气路转换接头3内设有第一隔板31，过滤器4内设有第二隔板41，过滤器4连接在气路转换接头3上使第一隔板31的上端面和第二隔板41的下端面密封连接；过滤器4内限定有过滤腔体，第二隔板41将过滤腔体分隔为过滤腔42和导流腔43，过滤腔42内设有气体滤芯44；气体经进气管进入，流经过滤腔42过滤后从导流腔43进入出气管2。

可以知道，本实施例设置气路转换接头3的目的是使经进气管1进入的气体改变流向进入过滤器4过滤后再经出气管2流出。而现有的气体过滤方式为，通过将过滤器的两端分别连接进气管和出气管，气体通过进气管进入过滤器过滤后从出气管流出，通过过滤器的两端头去连接管路，会出现两端的接口部位受力不均匀导致其中一端的接头位置漏气的情况；本实施例中的过滤器4与管路的连接只有一个接口位置，使接口位置受力均匀，不易漏气，且过滤器的拆卸方便，只需要松开一个接口就可以轻松的将过滤器拆卸，进而可实现频繁更换过滤器内的滤芯，实现清洁气体的目的。

可以知道，在半导体行业中需要用到高纯度和高清洁度的氮气，氮气中不可避免的会掺杂一些杂质，本实施例目的即为除去氮气中的杂质。

具体的，本实施例中气路转换接头3包括与进气管1连通的第一通气口32、与出气管2连通的第二通气口33、与过滤器4连通的第三通气口34，第一通气口32和第二通气口33均与第三通气口34连通，第一隔板31将第一通气口32和第二通气口33隔开，第一通气口32与过滤腔42连通，第二通气口33与导流腔43连通；且第一通气口32和第二通气口33同轴设置，第三通气口34与第一通气口32和第二通气口33的连线垂直设置，第一隔断31的上端面与第三通气口34的上端面平齐，且第一隔断31将第三通气口34左右分隔成过滤器进口端和过滤器出口端，气体自过滤器进口端进入后经滤芯过滤，再经过滤器出口端输出。本实用新型设置气路转换接头3改变了气体的流向，从而实现了通过一个接口即可实现过滤器安装及气体过滤的目的。可以想象，本实用新型的气路转换接头类似于在三通管内增加一个隔断。

具体的，本实施例中气路转换接头3与过滤器4通过压紧铁箍5密封连接。由图4可知，压紧铁箍5包括两个半圆形的箍套，两个半圆形箍套的内径与过滤器4外径和第三通气口34外径相同，通过两个半圆形铁箍将过滤器4和气路转换接头3包覆后卡接，实现过滤器4与气路转换接头3可拆卸密封连接。当需要更换过滤器滤芯时，拧开压紧铁箍5即可取下过滤器4，更换过滤芯后重新安装过滤器4并拧紧压紧铁箍5即可完成过滤器4的更换，整体结构简单，安装方便快捷，且拆装过程中对气体整体管路无任何影响。

具体的，本实施例中气路转换接头3上第三通气口的外径与过滤器的管径相同，气路转换接头3的上端面为第一光滑连接密封面35，过滤器4的下端面为第二光滑连接密封面(图中未示出)，第一光滑连接密封面35与第二光滑连接密封面贴合后再用压紧铁箍压紧，实现管路密封。

具体的，本实施例中进气管1的进气口安装有第一法兰6，出气管2的出气口安装有第二法兰7。通过两端设置法兰可使本装置整体拆卸后换装到不同的管路中使用，通用性更强。

具体的，本实施例中进气管1、出气管2、以及气路转换接头3为一体成型设置。避免了进气管1和出气管2与气路转换接头3连接处受力不均或者拧不紧漏气的情况，另外一体成型设置减少了零部件的数量，只需要过滤器4、压紧铁箍5以及一体成型的进气管、出气管和气路转换接头三个部件即可组装成本装置，结构简单快捷，且更易达到连接处的密封效果。

具体的，在其他实施例中，进气管1、出气管2、以及气路转换接头3为分体式设置。优选的，分体式设置的进气管1、出气管2、气路转换接头3均为标准件，配合标准接头的过滤器4，更易实现零部件的替换。

以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述，但是应该理解的是，这里具体的描述，不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定，本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (7)

1.一种气体过滤装置，其特征在于，包括进气管、出气管、以及连接所述进气管和出气管的气路转换接头，其中：

所述气路转换接头上可拆卸连接有过滤器，所述进气管、气路转换接头、过滤器和出气管依次连通设置；

所述气路转换接头内设有第一隔板，所述过滤器内设有第二隔板，所述过滤器连接在所述气路转换接头上使所述第一隔板的上端面和第二隔板的下端面密封连接；

所述过滤器内限定有过滤腔体，所述第二隔板将所述过滤腔体分隔为过滤腔和导流腔，所述过滤腔内设有气体滤芯；

气体经所述进气管进入，流经所述过滤腔过滤后从所述导流腔进入所述出气管。

2.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，所述气路转换接头包括与所述进气管连通的第一通气口、与所述出气管连通的第二通气口、与所述过滤器连通的第三通气口，所述第一通气口和第二通气口均与所述第三通气口连通，所述第一隔板将所述第一通气口和第二通气口隔开，所述第一通气口与所述过滤腔连通，所述第二通气口与所述导流腔连通。

3.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，所述气路转换接头与所述过滤器通过压紧铁箍密封连接。

4.根据权利要求3所述的气体过滤装置，其特征在于，所述气路转换接头与所述过滤器连接处的管径与过滤器的管径相同，所述气路转换接头的上端面为第一光滑连接密封面，所述过滤器的下端面为第二光滑连接密封面，所述第一光滑连接密封面与所述第二光滑连接密封面贴合。

5.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，所述进气管的进气口安装有第一法兰，所述出气管的出气口安装有第二法兰。

6.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，所述进气管、出气管、以及气路转换接头为一体成型设置。

7.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，所述进气管、出气管、以及气路转换接头为分体式设置。

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