CN217251021U - 一种可调节化学液及高温di水喷雾清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体装置清洗技术领域，尤其是一种可调节化学液及高温D I水喷雾清洗装置。其包括化学液储存罐和高温D I水储水罐，所述化学液储存罐内设置有第一液位计，罐壁上设置有进液口、排液口和抽液口，且顶部还设置有排气口，所述抽液口连接有增压计量泵；所述高温D I水储水罐内设置有电加热器，罐壁上设置有进水口、排水口、抽水口和第二液位计，且顶部还设置有蒸汽出口，所述抽水口连接有增压计量泵，其中：所述增压计量泵通过三通管件分别与流量计和喷淋头连接，所述流量计和喷淋头之间还设置有压力表。本实用新型通过设置增压计量泵、流量计和压力表的配合，从而实现调整压力和流量来控制雾化后化学液和高温DI水雾粒直径的大小，解决了针对污染物颗粒大小不一较难清洗的问题。

Description

一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体装置清洗技术领域，尤其是一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置。

背景技术

目前，半导体行业中一般采用自动化设备对待清洗工件进行高压喷淋的方式清洗，清洗液一般化学液和高温DI水混合，其中化学液喷雾清洗装置的优势在于化学液利用率高、节省化学液并能提升清洗效率，高温DI水喷雾清洗装置的优势在于可以迅速提升待清洗工件的表面进行清洗温度和湿润度，提升化学液清洗污染物的效率。

中国专利CN113102416A公开了《全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置及其方法》，包括清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，其中，还包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照所述片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，所述化学液喷雾罐和所述水蒸汽发生器均连通到所述清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；该实用新型采用化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗的结构及装置只需冲洗掉片盒表面少量残余化学液，且高温DI水蒸气能够更加清洗干净片盒表面的颗粒，这样能很大程度的减少化学液以及冲洗DI去离子水的浪费，极大地降低了生产成本。

但是，当污染物种类复杂、且污染物颗粒大小不一时，该装置无法根据需求自动调节化学液和高温DI水的流量和压力，无法达到较高的清洁度要求。

实用新型内容

本实用新型的目是针对背景技术中存在的问题，提出一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置。

本实用新型的技术方案：一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，包括化学液储存罐和高温DI水储水罐，所述化学液储存罐内设置有第一液位计，罐壁上设置有进液口、排液口和抽液口，且顶部还设置有排气口，所述抽液口连接有增压计量泵；所述高温DI水储水罐内设置有电加热器，罐壁上设置有进水口、排水口、抽水口和第二液位计，且顶部还设置有蒸汽出口，所述抽水口连接有增压计量泵，其中：所述增压计量泵通过三通管件分别与流量计和喷淋头连接，所述流量计和喷淋头之间还设置有压力表。

优选的，所述增压计量泵与抽液口之间设置有过滤器。

优选的，所述增压计量泵包括风囊泵和流量调节阀，所述流量调节阀位于风囊泵的出液口上。

优选的，所述喷淋头包括雾化喷嘴或锥形喷嘴。

优选的，所述电加热器包括多个加热管，位于高温DI水储水罐内的中下部。

进一步优选的，所述加热管为3个。

优选的，所述过滤器、流量调节阀、流量计、压力表和喷淋头在位于化学液储存罐上时均采用耐酸碱PTFE材质，且在位于高温DI水储水罐上时均采用耐高温PFA材质。

进一步优选的，化学液经过的地方均采用PTFE材质，高温DI水经过的地方均采用PFA材质。

与现有技术相比，本实用新型的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，具有如下有益的技术效果：

1、本实用新型的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，通过设置增压计量泵、流量计和压力表的配合，从而实现调整压力和流量来控制雾化后化学液和高温DI水雾粒直径的大小，解决了针对污染物颗粒大小不一较难清洗的问题。

2、本实用新型的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，化学液经过的地方均采用PTFE材质，高温DI水经过的地方均采用PFA材质，由于PTFE耐酸碱，从而有效的解决了针对不同污染物采用不同清洗化学液去清洗的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型的化学液储存罐结构示意图；

图3为本实用新型的高温DI水储水罐结构示意图。

附图标记：1、化学液储存罐；11、进液口；12、排液口；13、抽液口；14、排气口；2、增压计量泵；21、流量调节阀；3、过滤器；4、第一液位计；5、流量计；6、压力表；7、喷淋头；8、高温DI水储水罐；81、进水口；82、排水口；83、抽水口；84、蒸汽出口；9、第二液位计；10、电加热器；18、待清洗工件。

具体实施方式

实施例

如图1-3所示，本实用新型提出的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，包括化学液储存罐1和高温DI水储水罐8，所述化学液储存罐1内设置有第一液位计4，罐壁上设置有进液口11、排液口12和抽液口13，且顶部还设置有排气口14，所述抽液口13连接有增压计量泵2；所述高温DI水储水罐8内设置有电加热器10，罐壁上设置有进水口81、排水口82、抽水口83和第二液位计9，且顶部还设置有蒸汽出口84，所述抽水口83连接有增压计量泵2，其中：所述增压计量泵2通过三通管件分别与流量计5和喷淋头7连接，所述流量计5和喷淋头7之间还设置有压力表6。

增压计量泵2与抽液口13之间设置有过滤器3。

增压计量泵2包括风囊泵和流量调节阀21，所述流量调节阀21位于风囊泵的出液口上。

喷淋头7包括雾化喷嘴或锥形喷嘴。

电加热器10包括多个加热管，位于高温DI水储水罐8内的中下部。

优选的，加热管为3个。

过滤器3、流量调节阀21、流量计5、压力表6和喷淋头7在位于化学液储存罐1上时均采用耐酸碱PTFE材质，且在位于高温DI水储水罐8上时均采用耐高温PFA材质。

优选的，化学液经过的地方均采用PTFE材质，高温DI水经过的地方均采用PFA材质。

本实施例中，增压计量泵2供电后，增压计量泵2分别从化学液储存罐1和高温DI水储水罐8的抽液口13和抽水口83中抽取化学液和高温DI水并赋予一定的压力，带有压力的化学液和高温DI水通过流量调节阀21控制其流量大小进入喷淋头7，最终通过雾化喷嘴或锥形喷嘴进行雾化后，喷淋到待清洗工件18的所有表面上进行清洗；根据污染物的种类以及污染物颗粒的大小，来调整两部分的压力、流量和喷雾的施加时间点等参数来更高效的清洗工件，从而解决了污染物颗粒大小不一较难清洗的问题，同时，化学液经过的地方均采用PTFE材质，高温DI水经过的地方均采用PFA材质，由于PTFE耐酸碱，有效的解决了针对不同污染物采用不同清洗化学液去清洗的问题。

上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于此，在所属技术领域的技术人员所具备的知识范围内，在不脱离本实用新型宗旨的前提下还可以作出各种变化。

Claims (6)

1.一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，包括化学液储存罐(1)和高温DI水储水罐(8)，所述化学液储存罐(1)内设置有第一液位计(4)，罐壁上设置有进液口(11)、排液口(12)和抽液口(13)，且顶部还设置有排气口(14)，所述抽液口(13)连接有增压计量泵(2)；所述高温DI水储水罐(8)内设置有电加热器(10)，罐壁上设置有进水口(81)、排水口(82)、抽水口(83)和第二液位计(9)，且顶部还设置有蒸汽出口(84)，所述抽水口(83)连接有增压计量泵(2)，其特征在于：所述增压计量泵(2)通过三通管件分别与流量计(5)和喷淋头(7)连接，所述流量计(5)和喷淋头(7)之间还设置有压力表(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，其特征在于：所述增压计量泵(2)与抽液口(13)之间设置有过滤器(3)。

3.根据权利要求2所述的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，其特征在于：所述增压计量泵(2)包括风囊泵和流量调节阀(21)，所述流量调节阀(21)位于风囊泵的出液口上。

4.根据权利要求1所述的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，其特征在于：所述喷淋头(7)包括雾化喷嘴或锥形喷嘴。

5.根据权利要求1所述的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，其特征在于：所述电加热器(10)包括多个加热管，位于高温DI水储水罐(8)内的中下部。

6.根据权利要求3所述的一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置，其特征在于：所述过滤器(3)、流量调节阀(21)、流量计(5)、压力表(6)和喷淋头(7)在位于化学液储存罐(1)上时均采用耐酸碱PTFE材质，且在位于高温DI水储水罐(8)上时均采用耐高温PFA材质。

Images