CN207478261U - 一种氯基尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型是氯基尾气处理装置，其结构包括氯基尾气处理装置，其结构包括主体外壳、循环泵、液体进泵浦及排放管路、进水口、大喷头、A电磁阀、不锈钢管路、B电磁阀、进气管路、手动阀、排液管路、小喷头、城市水进口端、压力传感器；其中，主体外壳左上角通过进气管路与外部设备连接，进气管路右端与不锈钢管路的进气口相接，不锈钢管路与城市水进口端连通，不锈钢管路的出水口与进气集中区的B进水口相接；优点：能够就近处理ICP设备产生的氯基尾气，实现减少生产设备宕机，停机，延长停机清理管道的周期，减少堵塞，使得废气处理稳定、高效。

Description

一种氯基尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种氯基尾气处理装置，具体属于尾气处理设备技术领域。

背景技术

半导体制造行业中背孔刻蚀工艺所用的ICP (Inductively Coupled Plasma)常常会使用氯气及三氯化硼来做反应气体；制程中，反应完新生成的气体及未来得及反应的气体会被分子泵抽走，再随着干泵排放到尾气处理装置中。

尾气中所含有的氯气，化学式为Cl₂，常温常压下为黄绿色，有强烈刺激性气味的剧毒气体，密度比空气大，可溶于水，易压缩,可液化为黄绿色的油状液氯；氯气具有毒性，主要通过呼吸道侵入人体并溶解在黏膜所含的水分里，会对上呼吸道黏膜造成损害；因此必须经过处理后才能排入大气；传统的尾气处理方法是采用水洗涤塔的方式，用水和碱来吸收排出的尾气，但是由于腔室与泵的温度都比较高，当气体经过管道到达尾气处理装置的时候温度已经降低到相对比较低的温度，这个时候在接口处会形成厚厚的氯化物，堵塞管路，时间短则反应生成物无法及时的从腔体中抽走，造成晶片的损失，时间长则迫使机械泵排气口压力过高自我保护，从来导致分子泵前级压力过高，分子泵自我保护，停止工作，设备宕机，影响工艺生产；因为上述原因，机台每二到三天要停机清理，浪费时间，降低了设备的利用效率。有很高的危险性和不稳定性。

针对相关问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种氯基尾气处理装置，其目的旨在提供一种氯基尾气处理设备，能够就近处理ICP设备产生的氯基尾气，实现减少生产设备宕机，停机，延长停机清理管道的周期，减少堵塞，使得废气处理稳定、高效。

本实用新型的技术解决方案：氯基尾气处理装置，其结构包括氯基尾气处理装置，其结构包括主体外壳1、循环泵6、液体进泵浦及排放管路15、进水口17、大喷头18、A电磁阀19、不锈钢管路20、B电磁阀21、进气管路23、手动阀25、排液管路26、小喷头27、城市水进口端29、压力传感器30；其中，主体外壳1内分为进气集中区、洗涤区、集水区、控制区；主体外壳1左上角是进气集中区，进气集中区的侧壁上有进气口31、进水口17；主体外壳1左上角通过进气管路23与外部设备连接，进气管路23上有压力传感器30，进气管路23右端与不锈钢管路20的进气口相接，不锈钢管路20有进水口、出水口；不锈钢管路20的进水口通过A管道与城市水进口端29连通，不锈钢管路20的进水口处有小喷头27，不锈钢管路20与城市水进口端29之间的管道上串接有B电磁阀21，城市水进口端29通过B管道与进气集中区的A进水口17相接，B管道上串接有A电磁阀19，B管道与A进水口17的相接处有大喷头18；不锈钢管路20的出水口与进气集中区的B进水口31相接； 进气集中区的下部与洗涤区连通，洗涤区内有循环水进喷液管管路16、上隔板9、填充物24，循环水进喷液管管路16上有喷液管8，喷液管8下方是填充物24，上隔板9将填充物24分为若干区域，填充物24与上隔板9的下方是集水区，集水区与液体进泵浦及排放管路15连通，液体进泵浦及排放管路15有A出口和B出口，液体进泵浦及排放管路15的A出口通过循环泵6与循环水进喷液管管路16连通，液体进泵浦及排放管路15的B出口通过手动阀25后与排液管路26连通。

本实用新型的优点：能够就近处理ICP设备产生的氯基尾气，实现减少生产设备宕机，停机，延长停机清理管道的周期，减少堵塞，使得废气处理稳定、高效。

附图说明

附图1是氯基尾气处理装置的结构示意图。

附图中1是主体外壳、2是碱性溶液泵、3是碱液溶液罐、4是信号控制器、5是PH值测试传感器、6是循环泵、7是溢流管路、8是喷液管、9是上隔板、10是下隔板、11是水（含盐，理论成中性）、12是排气口、13是碱液加液管路、14是碱液进泵浦口管路、15是液体进泵浦及排放管路、16是循环水进喷液管管路、17是进气集中口、18是大喷头、19是A电磁阀、20是带三个KF接口的不锈钢管路、21是B电磁阀、22是加热带、23是进气管路、24是填充物、25是手动阀、26是排液管路、27是小喷头、29是城市水进口端、30是压力传感器、31是B进水口。

具体实施方式

对照附图，氯基尾气处理装置，其结构包括主体外壳1、循环泵6、液体进泵浦及排放管路15、进水口17、大喷头18、A电磁阀19、不锈钢管路20、B电磁阀21、进气管路23、手动阀25、排液管路26、小喷头27、城市水进口端29、压力传感器30；其中，主体外壳1内分为进气集中区、洗涤区、集水区、控制区；主体外壳1左上角是进气集中区，进气集中区的侧壁上有进气口31、进水口17；主体外壳1左上角通过进气管路23与外部设备连接，进气管路23上有压力传感器30，进气管路23右端与不锈钢管路20的进气口相接，不锈钢管路20有进水口、出水口；不锈钢管路20的进水口通过A管道与城市水进口端29连通，不锈钢管路20的进水口处有小喷头27，不锈钢管路20与城市水进口端29之间的管道上串接有B电磁阀21，城市水进口端29通过B管道与进气集中区的A进水口17相接，B管道上串接有A电磁阀19，B管道与A进水口17的相接处有大喷头18；不锈钢管路20的出水口与进气集中区的B进水口31相接； 进气集中区的下部与洗涤区连通，洗涤区内有循环水进喷液管管路16、上隔板9、填充物24，循环水进喷液管管路16上有喷液管8，喷液管8下方是填充物24，上隔板9将填充物24分为若干区域，填充物24与上隔板9的下方是集水区，集水区与液体进泵浦及排放管路15连通，液体进泵浦及排放管路15有A出口和B出口，液体进泵浦及排放管路15的A出口通过循环泵6与循环水进喷液管管路16连通，液体进泵浦及排放管路15的B出口通过手动阀25后与排液管路26连通。

所述控制区内有碱性溶液泵2、碱液溶液罐3、信号控制器4、PH值测试传感器5；所述集水区底部装有PH值测试传感器5，PH值测试传感器5与信号控制器4相连，信号控制器4的信号端与碱性溶液泵2的信号端相连，碱性溶液泵2串在碱液加液管路13与碱液进泵浦口管路14之间，碱液进泵浦口管路14接碱液溶液罐3，碱液加液管路13与主体外壳1上集水区侧壁的端口相接；通过PH值测试传感器5的信号控制器4控制碱性溶液泵2将碱液溶液罐3内的碱液加到设备里，达到中和的效果。

所述不锈钢管路20带三个快接法兰，分别为不锈钢管路20的进气口、不锈钢管路20的进水口、出水口。

所述不锈钢管路20上分布有加热带22，加热带22缠绕在不锈钢管路20的外部。

所述上隔板9有A上隔板9a和B上隔板9b，A上隔板9a和B上隔板9b为实心。

所述下隔板10为实心下隔板。

所述上实心隔板9有A上隔板9a和B上隔板9b,所述洗涤区内还有实心下隔板10，实心下隔板10的上半部分在洗涤区的A上隔板9a和B上隔板9b之间，下隔板10的下半部分在集水区，下隔板10的顶端在喷液管8的下方，下隔板10的底端在喷液管8的下方、集水区底部的上方；A上隔板9a、B上隔板9b、下隔板10共同将洗涤区分为四个区域；A上隔板9a、B上隔板9b、下隔板10连接的水平板有均匀的透气流水孔，且孔的直径小于填充物24的单个直径，保证气体既能与液体充分接触，又不至于填充物掉到集水区。

所述喷液管8由9a、9b、10分为四段，分别为A喷液管8a、B喷液管8b、C喷液管8c、D喷液管8d；A喷液管8a、B喷液管8b、C喷液管8c、D喷液管8d分别对应洗涤区的四个区域。

所述主体外壳1上有排气口12，排气口12位于洗涤区的顶部，排气口12为净化过的尾气排气口。

所述集水区的通过溢流管路7与外界相同，溢流管路7的上端口高出集水区一定距离，当集水区的水面高度，高于溢流管路7上端口时，多余的水能够从溢流管路7流到外部。

工作时，当反应完的尾气经过进气管路23到达不锈钢管路20，由于缠绕式加热带22的作用不锈钢管路20会处于较高温的状态，这样会减少由于温度降低导致的气体在进气口接口处的沉积，在不锈钢管路20的A出气口处装有小喷头27；城市水从进口管路29处进入，当压力传感器30到达设定的压力值时，控制器PLC4给B电磁阀21信号，打开B电磁阀21，开阀时间的长久，具体时间可设置；不锈钢管路20主体带有倾斜角度，这样有利于小喷头27喷出的水流入进气集中区，因为氯基尾气易溶于水，同时也有未来的及被水溶解的尾气从不锈钢管路20的出水口进入进气集中区；所以这样有助于抑制尾气在进气集中区的沉积堵塞；同样，在进气集中区上方也有一个带孔的大喷头18（可以喷到内壁），大喷头18上方有一个受控制端4控制的A电磁阀19（常闭），通过间断开阀来清扫沉积在进气集中区内壁粉尘。

当尾气经过不锈钢管路20到达进气集中区后，气体会向下运动，经过填充物24，通过带均匀孔的水平板从A上隔板9a的左侧到达A上隔板9a右侧，再次经过填充物24上下来回运动；其中由于循环泵6（常开）的作用，设备里的水11会通过液体进泵浦及排放管路15以及循环水进喷液管管路16通过带有微小孔的喷液管8a、8b、8c、8d往下持续喷水，由于气体会通过填充物24，循环水会与气体更充分的接触，从而达到吸收有害尾气的作用。

通过集水区底部的PH值测试传感器和信号控制器4控制碱性溶液泵2将碱液溶液罐3内的碱液加到设备里，达到中和的效果。

所述液体进泵浦及排放管路15的B出口通过手动阀25后与排液管路26连通，可以在装置联使用时，将水排掉。

Claims (7)

1.氯基尾气处理装置，其特征是包括主体外壳（1）、循环泵（6）、液体进泵浦及排放管路（15）、A进水口（17）、大喷头（18）、A电磁阀（19）、不锈钢管路（20）、B电磁阀（21）、进气管路（23）、手动阀（25）、排液管路（26）、小喷头（27）、城市水进口端（29）、压力传感器（30）；其中，主体外壳（1）内分为进气集中区、洗涤区、集水区、控制区；主体外壳（1）左上角是进气集中区，进气集中区的侧壁上有B进水口（31）、A进水口（17）；主体外壳（1）左上角通过进气管路（23）与外部设备连接，进气管路（23）上有压力传感器（30），进气管路（23）右端与不锈钢管路（20）的进气口相接，不锈钢管路（20）有进水口、出水口；不锈钢管路（20）的进水口通过A管道与城市水进口端（29）连通，不锈钢管路（20）的进水口处有小喷头（27），不锈钢管路（20）与城市水进口端（29）之间的管道上串接有B电磁阀（21），城市水进口端（29）通过B管道与进气集中区的A进水口（17）相接，B管道上串接有A电磁阀（19），B管道与A进水口（17）的相接处有大喷头（18）；不锈钢管路（20）的出水口与进气集中区的B进水口（31）相接；进气集中区的下部与洗涤区连通，洗涤区内有循环水进喷液管管路（16）、上隔板（9）、填充物（24），循环水进喷液管管路（16）上有喷液管（8），喷液管（8）下方是填充物（24），上隔板（9）将填充物（24）分为若干区域，填充物（24）与上隔板（9）的下方是集水区，集水区与液体进泵浦及排放管路（15）连通，液体进泵浦及排放管路（15）有A出口和B出口，液体进泵浦及排放管路（15）的A出口通过循环泵（6）与循环水进喷液管管路（16）连通，液体进泵浦及排放管路（15）的B出口通过手动阀（25）后与排液管路（26）连通。

2.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述控制区内有碱性溶液泵（2）、碱液溶液罐（3）、信号控制器（4）、PH值测试传感器（5）；所述集水区底部装有PH值测试传感器（5），PH值测试传感器（5）与信号控制器（4）相连，信号控制器（4）的信号端与碱性溶液泵（2）的信号端相连，碱性溶液泵（2）串在碱液加液管路（13）与碱液进泵浦口管路（14）之间，碱液进泵浦口管路（14）接碱液溶液罐（3），碱液加液管路（13）与主体外壳（1）上集水区侧壁的端口相接。

3.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述不锈钢管路（20）带三个KF接口，分别为不锈钢管路（20）的进气口、不锈钢管路（20）的进水口、出水口。

4.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述不锈钢管路（20）上分布有加热带（22），加热带（22）缠绕在不锈钢管路（20）的外部。

5.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述上隔板（9）有A上隔板（9a）和B上隔板（9b），所述洗涤区内还有下隔板（10），下隔板（10）的上半部分在洗涤区的A上隔板（9a）和B上隔板（9b）之间，下隔板（10）的下半部分在集水区，下隔板（10）的顶端在喷液管（8）的下方，下隔板（10）的底端在喷液管（8）的下方，集水区底部的上方；A上隔板（9a）、B上隔板（9b）、下隔板（10）共同将洗涤区分为四个区域。

6.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述喷液管（8）分为四段，分别为A喷液管（8a）、B喷液管（8b）、C喷液管（8c）、D喷液管（8d）；A喷液管（8a）、B喷液管（8b）、C喷液管（8c）、D喷液管（8d）分别对应洗涤区的四个区域。

7.根据权利要求1所述的氯基尾气处理装置，其特征是所述主体外壳（1）上有排气口（12），排气口（12）位于洗涤区的顶部，排气口（12）为净化过的尾气排气口。