CN217181274U - 数字可调多通道光路控制系统 - Google Patents

数字可调多通道光路控制系统 Download PDF

Info

Publication number
CN217181274U
CN217181274U CN202220902994.6U CN202220902994U CN217181274U CN 217181274 U CN217181274 U CN 217181274U CN 202220902994 U CN202220902994 U CN 202220902994U CN 217181274 U CN217181274 U CN 217181274U
Authority
CN
China
Prior art keywords
micromirror
control unit
light
mems array
control system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202220902994.6U
Other languages
English (en)
Inventor
兰树明
刘杨
王甜甜
王丽华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Intelligent Analysis Service Co ltd
Original Assignee
Wuxi Intelligent Analysis Service Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Intelligent Analysis Service Co ltd filed Critical Wuxi Intelligent Analysis Service Co ltd
Priority to CN202220902994.6U priority Critical patent/CN217181274U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN217181274U publication Critical patent/CN217181274U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

本实用新型公开一种数字可调多通道光路控制系统,包括:输入调理模组、光控模组、输出光处理模组以及控制器,输入调理模组包括多个与各个通道一一对应的输入耦合器和多个与输入耦合器一一对应的成像镜头,光控模组包括MEMS阵列微镜、微镜控制单元以及旋转控制单元,微镜控制单元和旋转控制单元与控制器电性连接,MEMS阵列微镜包括多个微镜单元,旋转控制单元用于控制MEMS阵列微镜绕一旋转轴旋转,微镜控制单元用于控制各个微镜单元绕自身轴线旋转;多个成像镜头以旋转轴为中心线沿周向间隔排列;输出光处理模组用于接收经由输入调理模组和MEMS阵列微镜处理后的光。控制器能够分别通过旋转控制单元和微镜控制单元对MEMS微镜阵列及其各个微镜单元进行精确控制,从而能够具有通道切换功能外,还可实现通道中光的能量、波长和带宽等的控制。

Description

数字可调多通道光路控制系统
技术领域
本实用新型涉及一种光路控制系统,尤其涉及一种数字可调多通道光路控制系统。
背景技术
传统的光路切换器一般仅能实现光通道切换功能,其通常采用反射镜来实现光路路径的管理,例如光从一路到其他路径的控制,但是显然该种结构无法对路径中通过光的参数进行调节。
此外,在切换过程中多个通道之间能量的一致性由于器件本身加工参数的差异和组装导致的误差差异,很难实现多个通道能量一致性的控制和光谱透过率一致性的控制。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,针对现有技术的不足提供一种数字可调多通道光路控制系统,其能有效解决上述问题中的至少一种。
本申请实施例公开了一种数字可调多通道光路控制系统,包括:输入调理模组、光控模组、输出光处理模组以及控制器,其中,所述输入调理模组包括多个与各个通道一一对应的输入耦合器和多个与所述输入耦合器一一对应的成像镜头,所述光控模组包括MEMS阵列微镜、微镜控制单元以及旋转控制单元,其中,所述微镜控制单元和所述旋转控制单元与控制器电性连接,所述MEMS阵列微镜包括多个微镜单元,所述旋转控制单元用于控制所述MEMS阵列微镜绕一旋转轴旋转,所述微镜控制单元用于控制各个所述微镜单元绕自身轴线旋转;多个所述成像镜头以所述旋转轴为中心线沿周向间隔排列;所述输出光处理模组用于接收经由所述输入调理模组和所述MEMS阵列微镜处理后的光。
优选地,所述输入调理模组还包括多个入射光栅、多个反射镜,多个所述入射光栅和多个所述输入耦合器一一对应,多个所述反射镜和多个所述入射光栅一一对应,多个成像镜头和多个所述反射镜一一对应。
优选地,所述输入耦合器包括狭缝、透镜和滤光片。
优选地,所述MEMS阵列微镜呈板状,呈板状的所述MEMS阵列微镜的长度轴与旋转轴呈一不为0度、90度或180度的夹角。
优选地,所述旋转控制单元用于控制所述MEMS阵列微镜的整体旋转角度在0-360°之间。
优选地,所述输出光处理模组可以包括出射镜头、出射光栅、能量取样模组以及输出耦合器;所述MEMS微镜阵列上输出的光经过所述出射镜头处理后入射到所述出射光栅上,所述出射光栅将选择的光整合后入射到所述能量取样器上,所述能量取样器将部分光到所述能量探测器内。
优选地,所述控制器能根据所述能量探测器和预设光强通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
优选地,所述控制器能根据目标光强和与所述目标光强对应的微镜单元的翻转数量通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
优选地,所述控制器能根据目标光强和入射光强的数学关系、调制关系通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
优选地,所述MEMS微镜阵列包括N行×M列个微镜单元,所述控制器能使对某一列的微镜单元处于开启或关闭状态,其余列的微镜单元出关闭状态。
综上所述,本实用新型实施例所采用上述结构,具有以下优点:
1、所述控制器能够分别通过旋转控制单元和微镜控制单元对MEMS微镜阵列及其各个微镜单元进行精确控制,从而能够具有通道切换功能外,还可实现通道中光的能量、波长和带宽等的控制;
2、该结构可以实现能量的精准控制和记忆,有助于稳定光路系统的传递关系,使不同时刻下系统处于恒久的稳定态;
3、该结构可实现能量数控调节,使能量按照设定的程序进行输出,灵活实现设定的能量输出过程;
4、该结构可以使波长实现选择输出管理,数控可调,波长和能量可实现同步调节,多个通道可轮询实现波长与能量的自由控制;
5、该结构具有参数记忆功能,某一时刻的传输过程均可记录,可进行不同时间的对比调节,也可实现不同通道的对比调节,增加预设的灵活性;
6、本申请实施例中的MEMS微镜控制器随旋转控制器联动,可实现多个通道的连续切换,拓展性强,系统光路切换实现了旋转维度、平面反射维度,多维度,多参数控制使光的控制更加灵活。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与图式,然而所提供的图式仅用于提供参考与说明,并非用来对本实用新型加以限制。
附图说明
为了更清楚地说明本说明书实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本说明书中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本申请实施例中光路控制系统的结构示意图。
图2示出了本申请实施例中光路控制系统输出控制的示意图。
图3示出了本申请实施例中光路控制系统输出调制的示意图。
图4示出了本申请实施例中光路控制系统输出滤波的示意图。
以上附图的附图标记:1、输入耦合器;2、入射光栅;3、反射镜;4、成像镜头;5、旋转控制单元;6、微镜控制单元;7、MEMS微镜阵列;8、出射镜头;9、出射光栅;10、电路系统;11、能量探测器;12、能量取样器;13、输出耦合器。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本说明书中的技术方案,下面将结合本说明书实施例中的附图,对本说明书实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本说明书一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本说明书中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本说明书保护的范围。
以下是通过特定的具体实施例来说明本实用新型实施方式,本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的优点与效果。本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用,本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用,在不悖离本实用新型的构思下进行各种修改与变更。另外,本实用新型的附图仅为简单示意说明,并非依实际尺寸的描绘,事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容,但所公开的内容并非用以限制本实用新型的保护范围。
应当可以理解的是,虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号,但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件,或者一信号与另一信号。另外,本文中所使用的术语“或”,应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
本申请实施例中公开了一种数字可调多通道光路控制系统,包括:输入调理模组、光控模组、输出光处理模组以及控制器,其中,所述输入调理模组包括多个与各个通道一一对应的输入耦合器1和多个与所述输入耦合器1一一对应的成像镜头4,所述光控模组包括MEMS阵列微镜、微镜控制单元6以及旋转控制单元5,其中,所述微镜控制单元6和所述旋转控制单元5与控制器电性连接,所述MEMS阵列微镜包括多个微镜单元,所述旋转控制单元5用于控制所述MEMS阵列微镜绕一旋转轴旋转,所述微镜控制单元6用于控制各个所述微镜单元绕自身轴线旋转;多个所述成像镜头4以所述旋转轴为中心线沿周向间隔排列;所述输出光处理模组用于接收经由所述输入调理模组和所述MEMS阵列微镜处理后的光。
具体的,参照图1所示,本申请实施例中的光路控制系统包括输入调理模组、光控模组和输出光处理模组。其中,输入调理模组包括多个输入耦合器1、多个分别与输入耦合器1一一对应的入射光栅2、多个分别与入射光栅2一一对应的反射镜3和多个分别与反射镜3一一对应的成像镜头4。输入耦合器1的内部设置有狭缝、透镜和滤光片。输入耦合器1用于耦合光纤输入的光,并将输入的光进行预处理和准直。经过准直入射的光经过入射光栅2后按波长空间展开,再经过反射镜3和成像镜头4投射到MEMS阵列微镜上。
所述光控模组包括MEMS阵列微镜、微镜控制单元6以及旋转控制单元5。其中,所述微镜控制单元6和所述旋转控制单元5可以与控制器电性连接,以与控制器进行数据交互。在本实施方式中,所述MEMS阵列微镜呈板状,其可以在旋转控制单元5的控制下,绕一旋转轴整体旋转,呈板状的所述MEMS阵列微镜的长度轴与旋转轴呈一不为0度、90度或180度的夹角,在本实施方式中,所述MEMS阵列微镜的长度轴与旋转轴呈45度的夹角。
所述MEMS阵列微镜的整体旋转角度可以是0-360度之间。所述MEMS阵列微镜包括N行×M列个微镜单元。每个所述微镜控制单元6可以在微镜控制单元6的控制下,能够绕其自身轴线旋转。
在本实施方式中,输入耦合器1沿竖直方向间隔排列。多个成像镜头4以旋转轴为中心的周向间隔排列。各个反射镜3用于使相应的入射光栅2和相应的成像镜头4进行光路配合。
所述输出光处理模组可以包括出射镜头8、出射光栅9、能量取样器12、能量探测器11、电路系统10以及输出耦合器13等。MEMS微镜阵列7上选择输出的光经过出射镜头8处理后入射到出射光栅9上,出射光栅9将选择的光整合成“复色光”后入射到能量取样器12上,能量取样器12按照比例反射一部分光到能量探测器11内,能量探测器11将该路入射能量存储到电路系统10中,以此实现通道参数的记录功能。能量取样器12透射的光经过出射耦合器耦合到装置外部进行使用,装置外部可以连接光谱仪或其他光学测量装置。
所述MEMS阵列微镜上接收的波长按空间展开的像通过控制微镜单元翻转的数量、频率和位置实现能量大小的控制、波长选择输出的控制以及输出带宽的控制。由此,该光路控制系统提供了多个控制参数,以分别对微镜控制单元6以及旋转控制单元5进行控制,从而可以满足各个应用场景的需要。
借由上述结构,所述控制器能够分别通过旋转控制单元5和微镜控制单元6对MEMS微镜阵列7及其各个微镜单元进行精确控制,从而能够具有通道切换功能外,还可实现通道中光的能量、波长和带宽等的控制。
参照图2所示,本申请实施例中的光路控制系统可以实现各个通道的输出以及快速切换。例如,当需要对某个通道进行输出时,控制器可以所述MEMS阵列微镜目前的角度和与该通道对应的成像镜头4所在的空间位置角度进行比较,从而使所述MEMS阵列微镜旋转至面向该成像镜头4。在完成输出后,如果需要切换至下一个输出通道,那么控制器可以根据所述MEMS阵列微镜目前的角度(也就是上一个成像镜头4所在的空间位置角度)和与下一个输出通道对应的下一个成像镜头4所在的空间位置角度进行比较,从而使所述MEMS阵列微镜旋转至面向下一个成像镜头4。
本申请实施例中的光路控制系统可以实现各个通道的精确输出。在微镜单元面向或部分面向与输入通道对应的成像镜头4时,该微镜单元可以将入射光反射到输出通道内部。而微镜单元背离与输入通道对应的成像镜头4时,入射光无法通过该微镜单元反射到输出通道内部。因此,控制器可以通过控制微镜单元来使输出光达到目标要求。例如,如果需要输出某个光强的光,所述控制器可以根据输入通道的输入光和输出的光强来生成待提供给所述微镜控制单元6的控制规则指令,该控制规则指令可以包括微镜单元的翻转数量、各个微镜单元是否翻转、各个微镜单元的翻转频率、各个微镜单元的翻转角度中的一个或多个。
参照图2所示,本申请实施例中的光路控制系统可以实现单个通道在不同时刻输出相同的光强。当某个通道被选择后,该通道入射光通过微镜单元打开的数量即可控制输出光的能量调节。此时输出的能量、当下所述微镜单元的翻转总数可以被能量取样器12和通道能量探测器11采集记录到控制器中。当下一次输入耦合器1重新连接时,如果需要输出和此前相同的能量时,控制器根据上次记录的能量反馈给微镜控制单元6,使得微镜单元的翻转数量达到与之前记录能量值相同的状态,实现了每次连接均可实现输出能量一致的功能。当然的,不同通道输入耦合器1各自输入能量均可单独记录,每个独立的通道均可实现能量一致性的控制。
参照图2所示,在一个优选的实施方式中,本申请实施例中的光路控制系统可以实现使得输出的光和输入的光之间符合相对应的数学关系。例如,如果输入的光与输出的光之间想要实现能量衰减倍率的调节,控制器可以通过所述微镜控制单元6使微镜单元的翻转数量、翻转频率来实现衰减倍率线性和非线性调节的功能,进而输入与输出能量之间可建立起设定的数学关系,例如线性关系、对数关系、多次函数关系等。
参照图3所示,在一个优选的实施方式中,本申请实施例中的光路控制系统可以效率高、精度高地实现各个通道能量的调制输出。所述输入通道中由直流光源输入,所述MEMS微镜阵列7的输出端连接有锁相放大器。例如,可以将直流光能量调节到某单一频率的信号范围内,调节频率与镜子翻转频率相同,联合锁相放大器能实现极微弱信号的检测,降低直流噪声的干扰,提高系统的灵敏度,进而将输入耦合器1进入的光进行交流调制(能量调制),实现能量按照一定频率和幅度输出,通过控制所述微镜单元翻转的数量和翻转的频率可实现正弦调制、开关调制、AM调制等功能。
参照图4所示,在一个优选的实施方式中,本申请实施例中的光路控制系统可以实现滤波功能(当多通道输入耦合器1内的光需要将光部分波长和部分波长的能量进行选择性输出)。即,对某一列的微镜单元处于开启或关闭状态,其余列的微镜单元出关闭状态。例如,入射光经过入射光栅2分光后投射到MEMS阵列微镜上,此时每一列微镜单元对应一部分波长,当MEMS阵列微镜只翻转N×1个微镜单元时,对应这一列的光输出到外部,此时这一列微镜单元反射的光具有“单一”波长的信息,其他波长不输出,进而实现了波长选择的功能,对输出光N×1个微镜单元中,N的数量进行控制即可实现被选择波长的输出光的能量控制,输入光与输出光即实现了滤波器的功能,可对输出光的波长和能量进行输出控制,不同输入通道的光均可轮询实现滤波,并将参数记录在能量取样系统中。依据滤波方式,本申请实施例可以实现多通道输入滤波功能,包括低通滤波、带通滤波、高通滤波、带阻滤波功能和组合带通和带阻滤波功能。
综上所述,本申请实施例中的数字可调多通道光路控制系统可以具备以下效果:
1、该结构可以实现能量的精准控制和记忆,有助于稳定光路系统的传递关系,使不同时刻下系统处于恒久的稳定态;
2、该结构可实现能量数控调节,使能量按照设定的程序进行输出,灵活实现设定的能量输出过程;
3、该结构可以使波长实现选择输出管理,数控可调,波长和能量可实现同步调节,多个通道可轮询实现波长与能量的自由控制;
4、该结构具有参数记忆功能,某一时刻的传输过程均可记录,可进行不同时间的对比调节,也可实现不同通道的对比调节,增加预设的灵活性;
5、该结构中的MEMS微镜控制器随旋转控制器联动,可实现多个通道的连续切换,拓展性强,系统光路切换实现了旋转维度、平面反射维度,多维度,多参数控制使光的控制更加灵活。
以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例,并非因此局限本实用新型的申请专利范围,所以凡是运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化,均包含于本实用新型的申请专利范围内。
本说明书中的各个实施例采用递进的方式描述,各个实施例之间相同或相似的部分互相参见即可,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。本申请可用于众多通用或专用的计算机系统环境或配置中。例如:个人计算机、服务器计算机、手持设备或便携式设备、平板型设备、多处理器系统、基于微处理器的系统、置顶盒、可编程的电子设备、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。
虽然通过实施例描绘了本申请,本领域普通技术人员知道,本申请有许多变形和变化而不脱离本申请的精神,希望所附的实施方式包括这些变形和变化而不脱离本申请。

Claims (10)

1.一种数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,包括:输入调理模组、光控模组、输出光处理模组以及控制器,其中,所述输入调理模组包括多个与各个通道一一对应的输入耦合器和多个与所述输入耦合器一一对应的成像镜头,所述光控模组包括MEMS阵列微镜、微镜控制单元以及旋转控制单元,其中,所述微镜控制单元和所述旋转控制单元与控制器电性连接,所述MEMS阵列微镜包括多个微镜单元,所述旋转控制单元用于控制所述MEMS阵列微镜绕一旋转轴旋转,所述微镜控制单元用于控制各个所述微镜单元绕自身轴线旋转;多个所述成像镜头以所述旋转轴为中心线沿周向间隔排列;所述输出光处理模组用于接收经由所述输入调理模组和所述MEMS阵列微镜处理后的光。
2.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述输入调理模组还包括多个入射光栅、多个反射镜,多个所述入射光栅和多个所述输入耦合器一一对应,多个所述反射镜和多个所述入射光栅一一对应,多个成像镜头和多个所述反射镜一一对应。
3.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述输入耦合器包括狭缝、透镜和滤光片。
4.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述MEMS阵列微镜呈板状,呈板状的所述MEMS阵列微镜的长度轴与旋转轴呈一不为0度、90度或180度的夹角。
5.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述旋转控制单元用于控制所述MEMS阵列微镜的整体旋转角度在0-360°之间。
6.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述输出光处理模组可以包括出射镜头、出射光栅、能量取样器、能量探测器以及输出耦合器;所述MEMS阵列微镜上输出的光经过所述出射镜头处理后入射到所述出射光栅上,所述出射光栅将选择的光整合后入射到所述能量取样器上,所述能量取样器将部分光到所述能量探测器内。
7.根据权利要求6所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述控制器能根据所述能量探测器和预设光强通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
8.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述控制器能根据目标光强和与所述目标光强对应的微镜单元的翻转数量通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
9.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述控制器能根据目标光强和入射光强的数学关系、调制关系通过所述微镜控制单元对所述MEMS阵列微镜进行控制。
10.根据权利要求1所述的数字可调多通道光路控制系统,其特征在于,所述MEMS阵列微镜包括N行×M列个微镜单元,所述控制器能使对某一列的微镜单元处于开启或关闭状态,其余列的微镜单元出关闭状态。
CN202220902994.6U 2022-04-19 2022-04-19 数字可调多通道光路控制系统 Active CN217181274U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202220902994.6U CN217181274U (zh) 2022-04-19 2022-04-19 数字可调多通道光路控制系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202220902994.6U CN217181274U (zh) 2022-04-19 2022-04-19 数字可调多通道光路控制系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN217181274U true CN217181274U (zh) 2022-08-12

Family

ID=82709587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202220902994.6U Active CN217181274U (zh) 2022-04-19 2022-04-19 数字可调多通道光路控制系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN217181274U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117288321A (zh) * 2023-09-22 2023-12-26 无锡迅杰光远科技有限公司 在线光谱仪用的光路切换系统以及在线光谱仪

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117288321A (zh) * 2023-09-22 2023-12-26 无锡迅杰光远科技有限公司 在线光谱仪用的光路切换系统以及在线光谱仪
CN117288321B (zh) * 2023-09-22 2024-05-10 无锡迅杰光远科技有限公司 在线光谱仪用的光路切换系统以及在线光谱仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4997281A (en) Grating spectrometer
EP1026487B1 (en) Double pass etalon spectrometer
US7023557B2 (en) Parallel interferometric measurements using an expanded local oscillator signal
CN217181274U (zh) 数字可调多通道光路控制系统
US8755652B2 (en) Multi-channel optical signal monitoring device and method
CN211978676U (zh) 一种光谱-偏振成像测量系统
CN110567580A (zh) 一种可编程滤光成像模组及其任意光谱透过率的实现方法
US7355768B1 (en) Wavelength tunable holographic filter with broad acceptance angle and narrow spectral bandwidth
US6781757B2 (en) Polarization insensitive tunable optical filters
US7116848B2 (en) Optical spectrum analyzer using a diffraction grating and multi-pass optics
CN114690328B (zh) 数字可调多通道光路控制方法
US6819429B2 (en) Multi-pass optical spectrum analyzer having a polarization-dependent tunable filter
WO2017111603A1 (en) An optical module comprising a grating assembly and an image sensor
JPH01321324A (ja) 複数試料の測定が可能な分光光度計
US11639873B2 (en) High resolution multi-pass optical spectrum analyzer
EP0254731B1 (en) Frequency agile spectrometer
US5087811A (en) Optical train for measuring angle or position with transmission by intrinsically linear and referenced optical fibers using one or more light sources
CN216621461U (zh) 一种基于紫外光纤光栅的多通道紫外分光光度计装置
US11821791B1 (en) Techniques for reducing optical ghosts in a gratings-based optical spectrum analyzer (OSA)
CN216792499U (zh) 一种出光波长可调滤波器
JP2001021754A (ja) 選択波長調整方法、波長選択装置、光通信システム、角度検出器及び放射角度検出器
CN113834569A (zh) 一种基于紫外光纤光栅的多通道紫外分光光度计装置
CN113654662A (zh) 一种基于紫外光纤光栅的紫外分光光度计装置
CN117170156A (zh) 含反向耦合器的光学相控阵芯片、系统与校准方法
JPH05224156A (ja) 光学フィルター

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant