CN217160332U - 一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统由进水主路与回水主路组成，通过在进水主路与回水主路两端设有多根并联的冷却水管，相邻的冷却水管两端在水冷系统的进水主路上设有开关阀，冷却水管从上至下依次连接有快插头、水冷降温组件、流量计、手动阀，水冷系统与水泵通过水冷系统的回水主路连接，水由冷却塔输出端进入板式换热器进行冷却后由板式换热器输出端进入水冷系统，通过快插头、水冷降温组件、流量计、手动阀，即水冷系统进行冷却动作后将升温后的水通过水泵、板式换热器回到冷却塔内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果，且系统为循环的水冷系统，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体地，涉及一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统。
背景技术
在真空镀膜的方法中有一种物理气相沉积(PVD,physical Vapor Deposition)技术，它是将靶材(所镀薄膜材料)在真空环境下，经过物理过程，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，而沉积在基体(需镀膜工件)表面的过程。制备硬质反应膜大多以物理气相沉积方法制得，它利用某种物理过程，如物质的热蒸发，或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。提高被镀膜工件的硬度、耐磨度等性能，延长使用寿命。
在镀膜的过程中，需要冷却系统对纳米涂层机偏压电路进行降温。
现有的纳米涂层机偏压电路采用气冷系统进行降温，气冷系统降温能耗大且易故障导致设备生产效率低下。
有鉴于此，本申请提供一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，提高纳米涂层机偏压电源工作散热效果，降低纳米涂层机偏压电源故障率，且水冷系统为可循环系统，降低散热的生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，提高纳米涂层机偏压电源工作散热效果，降低纳米涂层机偏压电源故障率，且水冷系统为可循环系统，降低散热的生产成本。
本实用新型提出的一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，通过在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，通过快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，即水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果。
一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其包括：水泵1、水冷系统2、板式换热器3、补水装置4、冷却塔5，其特征在于：冷却塔5与板式换热器3一端循环连接，板式换热器3的另一端与水冷系统2循环连接，水冷系统2与补水装置4并联连接，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，由水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内。
进一步的，所述水冷降温组件26由多根并联的水管组成,水管上连接设有热交换器262，水冷降温组件26通过进水管261与快插头25连接，水冷降温组件26通过回水管263与流量计27连接，热交换器262通过进水管261与进水主路21连接，热交换器271通过回水管263与回水主路22连接。
进一步的，所述流量计27连接在冷却水管23上，用于监测水流流量。
进一步的，板式换热器3与水冷系统2连接管道上连接有第一温度传感器6，用于监测管路内水温，板式换热器3与水冷系统2连接管道上连接有第一压力传感器7，用于监测管路内水压，第一温度传感器6、第一压力传感器7与水温控制器8电性连接，水温控制器8与三通阀9连接，用于控制三通阀9开合，三通阀9设置在板式换热器3与水冷系统2连接管道前端，用于调节控制管道。
进一步的，水泵1连接设于水冷系统2与板式换热器3的连接管上，用于输送管道内水。
进一步的，水泵1与板式换热器3的连接管上还连接有过滤器10，用于过滤回水。
进一步的，水泵1与过滤器10的连接管上还连接有排水装置11，用于排出部分回水。
进一步的，水泵1与补水装置4的连接管道上连接设有第二压力传感器12，第二压力传感器12与补水装置4电性连接，当第二压力传感器12检测到管道内，控制补水装置4为管道内补水。
进一步的，冷却塔5包括第一输出端51、第二输出端52、第一输入端53，第一输出端51与板式换热器3输入端通过管道连接，第二输出端52与补水装置4输入端通过管道连接，第一输入端与板式换热器3输出端通过管道连接。
本实用新型的有益效果：本实用新型提出一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，通过在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，通过快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，即水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果，且系统为循环的水冷系统，降低生产成本。
附图说明
图1为本实施例的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统的结构示意图。
图2为本实施例的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统的水冷降温组件的结构示意图。
主要元件符号说明：
具体实施方式
描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接，相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
实施例1：
一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其包括：水泵1、水冷系统2、板式换热器3、补水装置4、冷却塔5，其特征在于：冷却塔5与板式换热器3一端循环连接，板式换热器3的另一端与水冷系统2循环连接，水冷系统2与补水装置4并联连接，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，由水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内。
所述水冷降温组件26由多根并联的水管组成,水管上连接设有热交换器262，水冷降温组件26通过进水管261与快插头25连接，水冷降温组件26通过回水管263与流量计27连接，热交换器262通过进水管261与进水主路21连接，热交换器271通过回水管263与回水主路22连接。
所述流量计27连接在冷却水管23上，用于监测水流流量。
板式换热器3与水冷系统2连接管道上连接有第一温度传感器6，用于监测管路内水温，板式换热器3与水冷系统2连接管道上连接有第一压力传感器7，用于监测管路内水压，第一温度传感器6、第一压力传感器7与水温控制器8电性连接，水温控制器8与三通阀9连接，用于控制三通阀9开合，三通阀9设置在板式换热器3与水冷系统2连接管道前端，用于调节控制管道。
水泵1连接设于水冷系统2与板式换热器3的连接管上，用于输送管道内水。
水泵1与板式换热器3的连接管上还连接有过滤器10，用于过滤回水。
水泵1与过滤器10的连接管上还连接有排水装置11，用于排出部分回水。
水泵1与补水装置4的连接管道上连接设有第二压力传感器12，第二压力传感器12与补水装置4电性连接，当第二压力传感器12检测到管道内，控制补水装置4为管道内补水。
冷却塔5包括第一输出端51、第二输出端52、第一输入端53，第一输出端51与板式换热器3输入端通过管道连接，第二输出端52与补水装置4输入端通过管道连接，第一输入端与板式换热器3输出端通过管道连接。
本实用新型的有益效果：本实用新型提出一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，将水冷系统代替原有的气冷系统，水冷系统2由进水主路21与回水主路22组成，通过在进水主路21与回水主路22两端设有多根并联的冷却水管23，相邻的冷却水管23两端在水冷系统2的进水主路21上设有开关阀24，冷却水管23从上至下依次连接有快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，水冷系统2与水泵1通过水冷系统2的回水主路22连接，水由冷却塔5输出端进入板式换热器3进行冷却后由板式换热器3输出端进入水冷系统2，通过快插头25、水冷降温组件26、流量计27、手动阀28，即水冷系统2进行冷却动作后将升温后的水通过水泵1、板式换热器3回到冷却塔5内，通过水冷系统进行散热，提高降温效果，且系统为循环的水冷系统，降低生产成本。
尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。
Claims (9)
1.一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其包括：水泵(1)、水冷系统(2)、板式换热器(3)、补水装置(4)、冷却塔(5)，其特征在于：冷却塔(5)与板式换热器(3)一端循环连接，板式换热器(3)的另一端与水冷系统(2)循环连接，水冷系统(2)与补水装置(4)并联连接，水冷系统(2)由进水主路(21)与回水主路(22)组成，在进水主路(21)与回水主路(22)两端设有多根并联的冷却水管(23)，相邻的冷却水管(23)两端在水冷系统(2)的进水主路(21)上设有开关阀(24)，冷却水管(23)从上至下依次连接有快插头(25)、水冷降温组件(26)、流量计(27)、手动阀(28)，水冷系统(2)与水泵(1)通过水冷系统(2)的回水主路(22)连接，水由冷却塔(5)输出端进入板式换热器(3)进行冷却后由板式换热器(3)输出端进入水冷系统(2)，由水冷系统(2)进行冷却动作后将升温后的水通过水泵(1)、板式换热器(3)回到冷却塔(5)内。
2.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：所述水冷降温组件(26)由多根并联的水管组成,水管上连接设有热交换器(262)，水冷降温组件(26)通过进水管(261)与快插头(25)连接，水冷降温组件(26)通过回水管(263)与流量计(27)连接，热交换器(262)通过进水管(261)与进水主路(21)连接，热交换器(262)通过回水管(263)与回水主路(22)连接。
3.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：所述流量计(27)连接在冷却水管(23)上，用于监测水流流量。
4.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：板式换热器(3)与水冷系统(2)连接管道上连接有第一温度传感器(6)，用于监测管路内水温，板式换热器(3)与水冷系统(2)连接管道上连接有第一压力传感器(7)，用于监测管路内水压，第一温度传感器(6)、第一压力传感器(7)与水温控制器(8)电性连接，水温控制器(8)与三通阀(9)连接，用于控制三通阀(9)开合，三通阀(9)设置在板式换热器(3)与水冷系统(2)连接管道前端，用于调节控制管道。
5.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：水泵(1)连接设于水冷系统(2)与板式换热器(3)的连接管上，用于输送管道内水。
6.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：水泵(1)与板式换热器(3)的连接管上还连接有过滤器(10)，用于过滤回水。
7.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：水泵(1)与过滤器(10)的连接管上还连接有排水装置(11)，用于排出部分回水。
8.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：水泵(1)与补水装置(4)的连接管道上连接设有第二压力传感器(12)，第二压力传感器(12)与补水装置(4)电性连接，当第二压力传感器(12)检测到管道内，控制补水装置(4)为管道内补水。
9.如权利要求1所述的纳米涂层机偏压电源水冷控制系统，其特征在于：冷却塔(5)包括第一输出端(51)、第二输出端(52)、第一输入端(53)，第一输出端(51)与板式换热器(3)输入端通过管道连接，第二输出端(52)与补水装置(4)输入端通过管道连接，第一输入端与板式换热器(3)输出端通过管道连接。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220524765.5U CN217160332U (zh) | 2022-03-10 | 2022-03-10 | 一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统 |
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| CN202220524765.5U CN217160332U (zh) | 2022-03-10 | 2022-03-10 | 一种纳米涂层机偏压电源水冷控制系统 |
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| CN217160332U true CN217160332U (zh) | 2022-08-09 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117440670A (zh) * | 2023-12-21 | 2024-01-23 | 常州博瑞电力自动化设备有限公司 | 一种外冷系统及其控制方法 |
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2022
- 2022-03-10 CN CN202220524765.5U patent/CN217160332U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN117440670A (zh) * | 2023-12-21 | 2024-01-23 | 常州博瑞电力自动化设备有限公司 | 一种外冷系统及其控制方法 |
| CN117440670B (zh) * | 2023-12-21 | 2024-03-29 | 常州博瑞电力自动化设备有限公司 | 一种外冷系统及其控制方法 |
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