CN217155599U - 一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端，端点检测组件设置在加工室顶部中央，且与加工室内部连通，红外线温度监测装置安装在端点检测组件上，监测下方位于多区域静电卡盘上的晶圆。本实用新型结构简单精巧，通过设置红外线温度监测装置获取晶圆表面温度变化数据，并传输至PC端进行温度矫正，提高了矫正效率，避免了数据录入失误。
Description
技术领域
本实用新型涉及蚀刻工艺温度监测矫正技术领域，特别涉及一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置。
背景技术
在进行蚀刻工序的同时，由于晶圆整体表面温度在各个区域发生局部的温差，导致CD数据发生偏离。
加工时，在硬件方面采用多区域静电卡盘放置加工的晶圆，但在获取的过程中，仍需人工进行温度的获取和输入，并不能自动获取加工晶圆表面的温度分布及变化数据，需要手动计算温度值并进行输入，进而将得到的温度变化数据输入到终端中，通过终端进行计算实现温度矫正，整个过程较为麻烦，且通过人工将温度数据一个个抄录进行输入，易出现错误。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，通过在加工工艺室安装摄像监测设备，对加工晶圆的表面温度进行监控，实时获取加工晶圆表面温度数据，并传输至PC端，当发生CD分布异常的情况时，在PC端对晶圆表面的温度和CD数据进行比较，实现自动计算并矫正多区域静电卡盘的温度值，同时温度图数据的获取和矫正计算相互独立，可设置多个终端接收数据，并将接收的数据导入，进行矫正再传输到云端中，或将导入的数据传输到云端进行矫正，进一步提高准确性。
本实用新型采用的一个技术方案是：提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端；所述红外线温度监测装置安装在所述端点检测组件上，监测下方位于所述多区域静电卡盘上的晶圆。
进一步的，所述端点检测组件设置在所述加工室顶部中央，且与所述加工室内部连通。
红外线温度监测装置设在端点检测组件上，从加工的晶圆上方进行温度图数据的采集，基于红外线进行温度数据的采集时，采集点在待采集部分的中央，使得获得的温度分布更加准确，能更好的捕捉晶圆表面的温度变化。
进一步的，所述端点检测组件和所述红外线温度监测装置，分别通过对应的线路与设在所述加工室外部的PC端数据连接。
通过线路连接实现端点检测组件和红外线温度监测装置与PC端之间的数据传输，保证数据传输速度，同时避免无线数据传输对加工室内的检测造成影响。
进一步的，所述PC端与所述红外线温度监测装置之间还设有转换器。
转换器用于将在可视光线、红外线、OES波长等，在加工室中发生的所有波长转换成使用者想要的波长的装置。
进一步的，所述PC端还通过无线网络连接云端服务器。
PC端远程连接云端服务器，其它终端可通过访问云端服务器获取矫正后的数据，也可通过云端服务器直接接收PC端的温度数据，进行温度矫正再反馈至PC端。
进一步的，所述PC端设有多个，通过对应的线路分别与所述红外线温度监测装置和所述端点检测组件连接。
设置多个PC端接收同一红外线温度监测装置传输的数据，进行数据的获取和矫正时的数据录入，通过多个PC端录入的数据进行比较，及时剔除异常数据，保证数据处理的准确性。
本实用新型的有益效果是：
晶圆置于多区域静电卡盘上进行加工，在上方设置红外线监测装置实时获取加工晶圆表面温度分布，并传输至PC端，PC端接收到数据后，将温度数据导入至设定好的工作表中，在将表中的数据自动录入进行温度矫正；实现了数据的自动获取和录入，无需人工对数据进行手动输入，避免了人工抄录数据易出现错误的问题，提高了数据矫正的效率，同时提高了数据的准确性。
附图说明
图1是本实用新型的实施例1结构示意图；
图2是本实用新型的实施例2结构示意图。
附图标记说明：1-晶圆、2-多区域静电卡盘、3-端点检测组件、4-红外线监测装置、5-加工室、6-PC端、7-转换器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
本实用新型的实施例1提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，如图1所示，包括加工室5，设在加工室5内部的多区域静电卡盘2，端点检测组件3、红外线温度监测装置4和PC端6；所述红外线温度监测装置4安装在所述端点检测组件3上，监测下方位于所述多区域静电卡盘2上的晶圆1。
所述端点检测组件3设置在所述加工室5顶部中央，且与所述加工室5内部连通。
所述端点检测组件3和所述红外线温度监测装置4，分别通过对应的线路与设在所述加工室5外部的PC端6数据连接。
在本实施例中，所述PC端6与所述红外线温度监测装置4之间还设有转换器7，用于将在加工室5内的红外线转换成当前工作人员需要的波长。
所述PC端6还通过无线网络连接云端服务器，红外线温度监测装置4实时监测晶圆1表面的温度变化，并将数据传输至PC端6，所述PC端6将数据录入到设定的表中，当CD分布发生异常时，PC端6将表中的数据导入进行温度矫正计算，并将结果传输至云端服务器。
实施例2
本实用新型的实施例2提供了一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，如图2所示，包括加工室5，设在加工室5内部的多区域静电卡盘2，端点检测组件3、红外线温度监测装置4和PC端6；所述红外线温度监测装置4安装在所述端点检测组件3上，监测下方位于所述多区域静电卡盘2上的晶圆1。
所述端点检测组件3设置在所述加工室5顶部中央，且与所述加工室5内部连通。
所述端点检测组件3和所述红外线温度监测装置4，分别通过对应的线路与设在所述加工室5外部的PC端6数据连接。
在本实施例中，所述PC端6与所述红外线温度监测装置4之间还设有转换器7，用于将在加工室5内的红外线转换成当前工作人员需要的波长。
所述PC端6还通过无线网络连接云端服务器。
所述PC端6设有多个，通过对应的线路分别与所述红外线温度监测装置4和所述端点检测组件3连接。
本实施例中，设有多个PC端6，接收同一个红外线监测装置4获取的晶圆1表面温度变化数据，各个PC端相互独立，接收到温度变化数据后，分别将数据录入到设定的表中，并将表中的数据传输至所述云端服务器，云端服务器接收各个PC端传输的数据，进行比较，剔除数据异常的所属PC端传输的数据，并当CD分布发生异常时，将传输的数据导入进行温度矫正计算，并将结果反馈至对应的PC端。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接的运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，包括加工室，设在加工室内部的多区域静电卡盘，端点检测组件、红外线温度监测装置和PC端；所述红外线温度监测装置安装在所述端点检测组件上，监测下方位于所述多区域静电卡盘上的晶圆。
2.根据权利要求1所述的红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，所述端点检测组件设置在所述加工室顶部中央，且与所述加工室内部连通。
3.根据权利要求2所述的红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，所述端点检测组件和所述红外线温度监测装置，分别通过对应的线路与设在所述加工室外部的PC端数据连接。
4.根据权利要求1-3任一所述的红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，所述PC端与所述红外线温度监测装置之间还设有转换器。
5.根据权利要求4所述的红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，所述PC端还通过无线网络连接云端服务器。
6.根据权利要求5所述的红外线监测的多区域静电卡盘温度矫正装置，其特征在于，所述PC端设有多个，通过对应的线路分别与所述红外线温度监测装置和所述端点检测组件连接。
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- 2022-05-17 CN CN202221196335.1U patent/CN217155599U/zh active Active
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