CN217094788U - 一种膜加工用表面清洗烘干设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种膜加工用表面清洗烘干设备，包括箱体；所述箱体的内部开设有工作腔；本实用新型通过在烘干机构的内腔中安装有过滤机构，将进气扇启动，将外部空气吸入过滤腔的内部，通过过滤机构对空气中的杂质进行过滤，对工作腔内部的输送机构进行烘干完成后，将烘干产生的水汽通过排气扇将工作腔内部的气体排出，在长期使用的过程中，活性炭层、砾石层和滤棉层的表面上会吸附大量杂质，将密封盖与烘干箱的外壁分离，将活性炭层、砾石层和滤棉层有过滤腔的内腔中抽出，对活性炭层、砾石层和滤棉层进行更换，避免活性炭层、砾石层和滤棉层的杂质影响过滤机构对空气的过滤效果，避免空气中的杂质吸入在膜材的表面，影响膜材的清洗效果。

Description

一种膜加工用表面清洗烘干设备

技术领域

本实用新型涉及清洗烘干技术领域，具体为一种膜加工用表面清洗烘干设备。

背景技术

膜在加工前的表面上会吸附杂质和灰尘，在对膜进行加工之前，需要对膜的表面进行清洗和烘干，避免膜表面的灰尘和杂质影响后续的加工和生产，经检索，申请号为“CN211488896U”的“一种新型光刻膜加工用表面清洗烘干设备”的实用新型，包括有真空供气系统与垫脚，虽然可以通过该除湿机构对反应腔室内部的环境进行除湿的作用，但是，在使用的过程中，还存在以下缺点：

1、现有的膜加工用表面清洗烘干设备在对膜表面烘干的过程中，使通入外部空气对膜表面进行直接烘干，则外部空气中的杂质会再次吸附在膜的表面，从而会影响膜表面清洗的工作效率。

2、现有的膜加工用表面清洗烘干设备大多是在箱体内安装和拆卸辊轮，会使工作人员操作不便，从而会影响更换和拆卸辊轮的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种膜加工用表面清洗烘干设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种膜加工用表面清洗烘干设备，包括箱体；所述箱体的内部开设有工作腔，工作腔的内部安装有两组滑动机构，箱体的内顶部设置有烘干机构，烘干机构的内腔中安装有过滤机构；

所述滑动机构包括有固定板、滑块、安装板、滑槽和进气口，所述固定板的表面设置有两组滑块，滑块的顶部设置有安装板，安装板的底部开设有滑槽，固定板的顶部开设有进气口；

所述过滤机构包括有安装块、安装槽、活性炭层、砾石层、滤棉层和密封盖，所述安装块的内侧等间距开设有多组安装槽，安装槽的内部自上到下安装有活性炭层、砾石层和滤棉层，活性炭层、砾石层和滤棉层的外侧设置有密封盖。

优选的，所述固定板的内腔中安装有输送机构和卷收机构，输送机构与卷收机构内部机构相同。

优选的，所述输送机构包括有辊轮、轴杆、第一卡块、第二卡块、固定块和电机，所述辊轮的内部安装有轴杆，轴杆的上下两端设置有第一卡块和第二卡块，第一卡块与第二卡块的一端通过转轴转动连接，第一卡块与第二卡块的另一端通过螺栓固定连接第一卡块与第二卡块的顶部设置有固定块，固定块的顶部与电机的输出端固定连接。

优选的，所述工作腔内腔的边壁上安装有等离子清洗仪，箱体表面在工作腔的一侧设置有智能控制器。

优选的，所述箱体的表面开设有进入口，进入口的外侧通过转轴与门体转动连接。

优选的，所述箱体的顶部与进气口对应的位置处设置有烘干机构，烘干机构的一侧设置有排气管。

优选的，所述排气管的内部安装有排气扇，排气管的底部开设有出气口。

优选的，所述烘干机构包括有烘干箱、进气腔、过滤腔、加热腔、进气扇、加热丝和吸气扇，所述烘干箱的内部分为进气腔、过滤腔和加热腔，进气腔的内腔中安装有进气扇，过滤腔的内腔中安装有过滤机构，加热腔的内腔中安装有两组加热丝，加热丝的下方安装有吸气扇。

优选的，所述门体的内部周围设置有密封条，门体的边侧设置有电磁铁，电磁铁与箱体对应位置处设置有铁块，门体的表面开设有两组观察窗。

优选的，智能控制器的表面设置有显示屏，显示屏的下方设置有按钮，智能控制器通过导线与电机、出气口、进气扇、加热丝、吸气扇和电磁铁电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在烘干机构的内腔中安装有过滤机构，将进气扇启动，将外部空气吸入过滤腔的内部，通过过滤机构对空气中的杂质进行过滤，过滤完成后，对工作腔内部的输送机构进行烘干完成后，将烘干产生的水汽通过排气扇将工作腔内部的气体排出，在长期使用的过程中，活性炭层、砾石层和滤棉层的表面上会吸附大量杂质，将密封盖与烘干箱的外壁分离，将活性炭层、砾石层和滤棉层有过滤腔的内腔中抽出，对活性炭层、砾石层和滤棉层进行更换，避免活性炭层、砾石层和滤棉层的杂质影响过滤机构对空气的过滤效果，避免空气中的杂质吸入在膜材的表面，影响膜材的清洗效果。

2、本实用新型通过在工作腔的内部安装有两组滑动机构，将门体与进入口的分离，将固定板由工作腔的内部抽出，由于滑块与安装板通过滑槽卡合固定，能够使固定板在工作腔的内腔中抽出，便于工作人员对轴杆与第一卡块和第二卡块的拆卸和更换，提高工作人员更换膜材的工作效率，同时在电机转动的过程中，使滑动机构在工作腔的内腔中保持稳定。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图；

图2为本实用新型的正面剖视结构示意图；

图3为本实用新型的俯视结构示意图；

图4为本实用新型的门体的内部结构示意图；

图5为本实用新型的图2中A处放大结构示意图。

图中：1、箱体；101、进入口；2、工作腔；3、滑动机构；301、固定板；302、滑块；303、安装板；304、滑槽；305、进气口；4、输送机构；401、辊轮；402、轴杆；403、第一卡块；404、第二卡块；405、固定块；406、电机；5、卷收机构；6、等离子清洗仪；7、排气管；701、排气扇；702、出气口；8、烘干机构；801、烘干箱；802、进气腔；803、过滤腔；804、加热腔；805、进气扇；806、加热丝；807、吸气扇；9、过滤机构；901、安装块；902、安装槽；903、活性炭层；904、砾石层；905、滤棉层；906、密封盖；10、智能控制器；1001、显示屏；1002、按钮；11、门体；1101、密封条；1102、电磁铁；1103、铁块；1104、观察窗。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种膜加工用表面清洗烘干设备，包括箱体1；箱体1的内部开设有工作腔2，工作腔2的内部安装有两组滑动机构3，箱体1的内顶部设置有烘干机构8，烘干机构8的内腔中安装有过滤机构9；

滑动机构3包括有固定板301、滑块302、安装板303、滑槽304和进气口305，固定板301的表面设置有两组滑块302，滑块302的顶部设置有安装板303，安装板303的底部开设有滑槽304，固定板301的顶部开设有进气口305；

过滤机构9包括有安装块901、安装槽902、活性炭层903、砾石层904、滤棉层905和密封盖906，安装块901的内侧等间距开设有多组安装槽902，安装槽902的内部自上到下安装有活性炭层903、砾石层904和滤棉层905，活性炭层903、砾石层904和滤棉层905的外侧设置有密封盖906；

具体的，如图1、图2、图3、图4和图5所示，使用时，首先将门体11与进入口101的分离，将固定板301由工作腔2的内部抽出，由于滑块302与安装板303通过滑槽304卡合固定，能够使固定板301在工作腔2的内腔中抽出，当需要将带有膜材的辊轮401内部的轴杆402安装到固定块405的内部时，先将第一卡块403与第二卡块404一端的螺栓拧开，然后将第一卡块403与第二卡块404分离，使轴杆402的两端插入至第一卡块403的内部，然后将第一卡块403与第二卡块404的一端紧密贴合，然后通过螺栓固定，同理，将辊轮401安装至卷收机构5的内部，将辊轮401表面上膜材的一端与卷收机构5表面固定连接将滑动机构3推入至工作腔2的内部，然后将门体11与与进入口101贴合，当通过智能控制器10向电磁铁1102通电时，电磁铁1102与铁块1103被磁化，则电磁铁1102与铁块1103紧密贴合，使门体11与箱体1紧密贴合，密封条1101与进入口101紧密贴合，能够保证工作腔2内部的密封性，当门体11与进入口101贴合时，可以通过观察窗1104观察工作腔2内部的工作情况，当将工作腔2密封时，通过智能控制器10将电机406开启，使电机406带动辊轮401转动，对辊轮401表面的膜材进行输送，同时将卷收机构5开启，对清洗后的膜材进行卷收，当电机406带动辊轮401转动，通过智能控制器10将等离子清洗仪6开启，通过等离子体与膜材表面的杂质接触，等离子体会与膜材表面的杂质发生化学反应和物理反应，对膜材表面的杂质进行清理，在清洗的过程中，通过智能控制器10将进气扇805启动，将外部空气吸入至进气腔802的内部，然后进入至过滤腔803的内部，通过过滤机构9对空气中的杂质进行过滤，过滤完成后，通过智能控制器10将加热丝806开启，对过滤后的空气进行加热，然后通过吸气扇807将空气导入至工作腔2的内部，对工作腔2内部的辊轮401表面的膜材进行烘干，当烘干机构8对工作腔2内部的输送机构4进行烘干完成后，将烘干产生的水汽通过排气扇701将工作腔2内部的气体排出，避免潮湿的气体在工作腔2的内部堆积，影响装置烘干的工作效率，在长期使用的过程中，活性炭层903、砾石层904和滤棉层905的表面上会吸附大量杂质，将密封盖906与烘干箱801的外壁分离，将活性炭层903、砾石层904和滤棉层905有过滤腔803的内腔中抽出，对活性炭层903、砾石层904和滤棉层905进行更换，避免活性炭层903、砾石层904和滤棉层905的杂质影响过滤机构9对空气的过滤效果，避免空气中的杂质吸入在膜材的表面，影响膜材的清洗效果，当辊轮401表面上的膜材清洗完成后，将电磁铁1102与铁块1103断电，将固定板301由工作腔2的内部抽出，对输送机构4和卷收机构5进行拆卸，由于固定板301的表面上设置两组输送机构4和卷收机构5，能够同时对两组膜材进行清洗和烘干，提高了工作效率。

进一步，固定板301的内腔中安装有输送机构4和卷收机构5，输送机构4与卷收机构5内部机构相同；

具体的，如图1、图2所示，输送机构4与卷收机构5的配合转动，能够对膜材表面进行清洗和烘干。

进一步，输送机构4包括有辊轮401、轴杆402、第一卡块403、第二卡块404、固定块405和电机406，辊轮401的内部安装有轴杆402，轴杆402的上下两端设置有第一卡块403和第二卡块404，第一卡块403与第二卡块404的一端通过转轴转动连接，第一卡块403与第二卡块404的另一端通过螺栓固定连接，第一卡块403与第二卡块404的顶部设置有固定块405，固定块405的顶部与电机406的输出端固定连接；

具体的，如图1、图2所示，当需要将带有膜材的辊轮401内部的轴杆402安装到固定块405的内部时，先将第一卡块403与第二卡块404一端的螺栓拧开，然后将第一卡块403与第二卡块404分离，使轴杆402的两端插入至第一卡块403的内部，然后将第一卡块403与第二卡块404的一端紧密贴合，然后通过螺栓固定，然后通过智能控制器10将电机406开启，通过电机406带动轴杆402转动，对轴杆402表面上的膜材件输送。

进一步，工作腔2内腔的边壁上安装有等离子清洗仪6，箱体1表面在工作腔2的一侧设置有智能控制器10；

具体的，如图1、图2所示，等离子清洗仪6的设置，能够通过等离子体与膜材表面的杂质接触，等离子体会与膜材表面的杂质发生化学反应和物理反应，对膜材表面的杂质进行清理。

进一步，箱体1的表面开设有进入口101，进入口101的外侧通过转轴与门体11转动连接；

具体的，如图1、图2所示，进入口101的设置，工作人员可以将滑动机构3拉出，对滑动机构3内部的输送机构4进行拆卸和更换。

进一步，箱体1的顶部与进气口305对应的位置处设置有烘干机构8，烘干机构8的一侧设置有排气管7；

具体的，如图1、图2所示，进气口305的设置，便于加热腔804内部处理后的气体导入至滑动机构3的内部，对滑动机构3内部的膜材进行烘干。

进一步，排气管7的内部安装有排气扇701，排气管7的底部开设有出气口702；

具体的，如图1、图2所示，当烘干机构8对工作腔2内部的输送机构4进行烘干完成后，将烘干产生的水汽通过排气扇701将工作腔2内部的气体排出，避免潮湿的气体在工作腔2的内部堆积，影响装置烘干的工作效率。

进一步，烘干机构8包括有烘干箱801、进气腔802、过滤腔803、加热腔804、进气扇805、加热丝806和吸气扇807，烘干箱801的内部分为进气腔802、过滤腔803和加热腔804，进气腔802的内腔中安装有进气扇805，过滤腔803的内腔中安装有过滤机构9，加热腔804的内腔中安装有两组加热丝806，加热丝806的下方安装有吸气扇807；

具体的，如图1、图2所示，通过智能控制器10将进气扇805启动，将外部空气吸入至进气腔802的内部，然后进入至过滤腔803的内部，通过过滤机构9对空气中的杂质进行过滤，过滤完成后，通过智能控制器10将加热丝806开启，对过滤后的空气进行加热，然后通过吸气扇807将空气导入至工作腔2的内部，对工作腔2内部的辊轮401表面的膜材进行烘干。

进一步，门体11的内部周围设置有密封条1101，门体11的边侧设置有电磁铁1102，电磁铁1102与箱体1对应位置处设置有铁块1103，门体11的表面开设有两组观察窗1104；

具体的，如图1、图2所示，当通过智能控制器10向电磁铁1102通电时，电磁铁1102与铁块1103被磁化，则电磁铁1102与铁块1103紧密贴合，使门体11与箱体1紧密贴合，密封条1101与进入口101紧密贴合，能够保证工作腔2内部的密封性，当门体11与进入口101贴合时，可以通过观察窗1104观察工作腔2内部的工作情况。

进一步，智能控制器10的表面设置有显示屏1001，显示屏1001的下方设置有按钮1002，智能控制器10通过导线与电机406、出气口702、进气扇805、加热丝806、吸气扇807和电磁铁1102电性连接；

具体的，如图1、图2所示，工作人员可以通过显示屏1001观察设备内部各个机构的运行情况，按钮1002的设置，能够控制设备内部各个机构的开启和关闭。

工作原理：使用时，首先将门体11与进入口101的分离，将固定板301由工作腔2的内部抽出，由于滑块302与安装板303通过滑槽304卡合固定，能够使固定板301在工作腔2的内腔中抽出，当需要将带有膜材的辊轮401内部的轴杆402安装到固定块405的内部时，先将第一卡块403与第二卡块404一端的螺栓拧开，然后将第一卡块403与第二卡块404分离，使轴杆402的两端插入至第一卡块403的内部，然后将第一卡块403与第二卡块404的一端紧密贴合，然后通过螺栓固定，同理，将辊轮401安装至卷收机构5的内部，将辊轮401表面上膜材的一端与卷收机构5表面固定连接将滑动机构3推入至工作腔2的内部，然后将门体11与进入口101贴合，当通过智能控制器10向电磁铁1102通电时，电磁铁1102与铁块1103紧密贴合，使门体11与箱体1紧密贴合，密封条1101与进入口101紧密贴合，能够保证工作腔2内部的密封性，当门体11与进入口101贴合时，可以通过观察窗1104观察工作腔2内部的工作情况，当将工作腔2密封时，通过智能控制器10将电机406开启，使电机406带动辊轮401转动，对辊轮401表面的膜材进行输送，同时将卷收机构5开启，对清洗后的膜材进行卷收，当电机406带动辊轮401转动，通过智能控制器10将等离子清洗仪6开启，对膜材表面的杂质进行清理，在清洗的过程中，通过智能控制器10将进气扇805启动，将外部空气吸入至进气腔802的内部，然后进入至过滤腔803的内部，通过过滤机构9对空气中的杂质进行过滤，过滤完成后，通过智能控制器10将加热丝806开启，对过滤后的空气进行加热，然后通过吸气扇807将空气导入至工作腔2的内部，对工作腔2内部的辊轮401表面的膜材进行烘干，当烘干机构8对工作腔2内部的输送机构4进行烘干完成后，将烘干产生的水汽通过排气扇701将工作腔2内部的气体排出，在长期使用的过程中，活性炭层903、砾石层904和滤棉层905的表面上会吸附大量杂质，将密封盖906与烘干箱801的外壁分离，将活性炭层903、砾石层904和滤棉层905有过滤腔803的内腔中抽出，对活性炭层903、砾石层904和滤棉层905进行更换，当辊轮401表面上的膜材清洗完成后，将电磁铁1102与铁块1103断电，将固定板301由工作腔2的内部抽出，对输送机构4和卷收机构5进行拆卸，由于固定板301的表面上设置两组输送机构4和卷收机构5，能够同时对两组膜材进行清洗和烘干，提高了工作效率。

本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。

最后所要说明的是：以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改和等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种膜加工用表面清洗烘干设备，包括箱体(1)；其特征在于：所述箱体(1)的内部开设有工作腔(2)，工作腔(2)的内部安装有两组滑动机构(3)，箱体(1)的内顶部设置有烘干机构(8)，烘干机构(8)的内腔中安装有过滤机构(9)；

所述滑动机构(3)包括有固定板(301)、滑块(302)、安装板(303)、滑槽(304)和进气口(305)，所述固定板(301)的表面设置有两组滑块(302)，滑块(302)的顶部设置有安装板(303)，安装板(303)的底部开设有滑槽(304)，固定板(301)的顶部开设有进气口(305)；

所述过滤机构(9)包括有安装块(901)、安装槽(902)、活性炭层(903)、砾石层(904)、滤棉层(905)和密封盖(906)，所述安装块(901)的内侧等间距开设有多组安装槽(902)，安装槽(902)的内部自上到下安装有活性炭层(903)、砾石层(904)和滤棉层(905)，活性炭层(903)、砾石层(904)和滤棉层(905)的外侧设置有密封盖(906)。

2.根据权利要求1所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述固定板(301)的内腔中安装有输送机构(4)和卷收机构(5)，输送机构(4)与卷收机构(5)内部机构相同。

3.根据权利要求2所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述输送机构(4)包括有辊轮(401)、轴杆(402)、第一卡块(403)、第二卡块(404)、固定块(405)和电机(406)，所述辊轮(401)的内部安装有轴杆(402)，轴杆(402)的上下两端设置有第一卡块(403)和第二卡块(404)，第一卡块(403)与第二卡块(404)的一端通过转轴转动连接，第一卡块(403)与第二卡块(404)的另一端通过螺栓固定连接第一卡块(403)与第二卡块(404)的顶部设置有固定块(405)，固定块(405)的顶部与电机(406)的输出端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述工作腔(2)内腔的边壁上安装有等离子清洗仪(6)，箱体(1)表面在工作腔(2)的一侧设置有智能控制器(10)。

5.根据权利要求1所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述箱体(1)的表面开设有进入口(101)，进入口(101)的外侧通过转轴与门体(11)转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述箱体(1)的顶部与进气口(305)对应的位置处设置有烘干机构(8)，烘干机构(8)的一侧设置有排气管(7)。

7.根据权利要求6所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述排气管(7)的内部安装有排气扇(701)，排气管(7)的底部开设有出气口(702)。

8.根据权利要求1所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述烘干机构(8)包括有烘干箱(801)、进气腔(802)、过滤腔(803)、加热腔(804)、进气扇(805)、加热丝(806)和吸气扇(807)，所述烘干箱(801)的内部分为进气腔(802)、过滤腔(803)和加热腔(804)，进气腔(802)的内腔中安装有进气扇(805)，过滤腔(803)的内腔中安装有过滤机构(9)，加热腔(804)的内腔中安装有两组加热丝(806)，加热丝(806)的下方安装有吸气扇(807)。

9.根据权利要求5所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：所述门体(11)的内部周围设置有密封条(1101)，门体(11)的边侧设置有电磁铁(1102)，电磁铁(1102)与箱体(1)对应位置处设置有铁块(1103)，门体(11)的表面开设有两组观察窗(1104)。

10.根据权利要求4所述的一种膜加工用表面清洗烘干设备，其特征在于：智能控制器(10)的表面设置有显示屏(1001)，显示屏(1001)的下方设置有按钮(1002)，智能控制器(10)通过导线与电机(406)、出气口(702)、进气扇(805)、加热丝(806)、吸气扇(807)和电磁铁(1102)电性连接。

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