CN217005354U - 一种太阳能电池硅片扩散用炉门 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种太阳能电池硅片扩散用炉门，包括炉门本体，所述炉门本体上开设有观察窗，炉门本体上连接有可拆卸的液位组件，液位组件与观察窗的位置相对应并用于将扩散炉内部压力转换为液位信息，炉门本体与液位组件还设有密封组件，密封组件用以隔绝液位组件内部与扩散炉内部。相较于现有技术，本实用新型便于通过观察窗直观观察出内部泄压情况，便于实时掌握扩散炉内气压变化。

Description

一种太阳能电池硅片扩散用炉门

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池硅片扩散用炉门。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

现有技术中，公开号为CN207165529U的中国专利文献中提出了一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，提高了气体在扩散炉内的扩散均匀度，但是由于保护气体三氯氧磷与氧气等混合气体会影响操作人员观察到扩散炉内部状态，进而无法直观观察到扩散程度，此外，对于扩散炉使用过程中，炉内需要保持相对高压环境，而目前炉门结构上并未设置有能够直观观察到扩散炉内部压力的机构，因此，本申请公开了一种太阳能电池硅片扩散用炉门来满足硅晶片在扩散炉内的扩散需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种太阳能电池硅片扩散用炉门，具有能够直观观察到扩散炉内部压力变化，提高密封程度等优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种太阳能电池硅片扩散用炉门，包括炉门本体，所述炉门本体上开设有观察窗，所述炉门本体上连接有可拆卸的液位组件，所述液位组件与所述观察窗的位置相对应并用于将扩散炉内部压力转换为液位信息，所述炉门本体与所述液位组件还设有密封组件，所述密封组件用以隔绝所述液位组件内部与扩散炉内部。

优选的，所述炉门本体与扩散炉相合的一侧设有与扩散炉端部相适配的密封槽。

优选的，所述液位组件包含与所述观察窗位置相对应的观察管，所述观察管固定套接在密封板上，且所述密封板的外壁上固定套接有螺柱筒，所述观察窗的内壁上开设有内螺纹，所述螺柱筒通过所述内螺纹与所述观察窗螺纹连接。

优选的，所述炉门本体的内壁上开设有与所述观察窗同轴的橡胶槽，所述螺柱筒的外壁上固定套接有与所述橡胶槽同轴的固定盘，所述固定盘的一侧固定连接有能够套设在所述橡胶槽内的橡胶环，所述橡胶槽的边缘开设有与所述橡胶环一端相适配的圆角。

优选的，所述观察管的一端呈垂直状态，所述观察管的另一端呈水平状态并贯穿所述密封板并延伸至扩散炉内，且所述观察管内水平段还固定套接有固定片，所述固定片的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端固定连接有套设在所述观察管内的活塞片，所述固定片上开设有多个通孔，且所述固定片的一侧与所述观察管的顶端之间设有有色液体，所述观察管为透明材质。

优选的，所述观察管的顶端内壁上固定套接有透气膜，所述透气膜为透气不透水膜。

优选的，所述观察管的顶端还通过橡皮筋套接有储气囊。

优选的，所述密封板上还固定套接有密封圈，所述观察管贯穿所述密封圈并与所述密封圈的内壁紧密贴合。

本实用新型的有益效果在于：

（1）本实用新型通过螺柱筒与内螺纹将观察管垂直安装好后，观察管的一端与扩散炉内部相连通，炉内气压在扩散炉使用时较高，此时活塞片被挤压至观察管内一段距离，弹簧压缩，同时，有色液体在观察管内液位高度上升，相反，炉内出现压力泄漏时，在弹簧的作用下，使得活塞片反向移动，进而使得观察管内有色液体的液位下降，从而便于通过观察窗直观观察出内部泄压情况，便于实时掌握扩散炉内气压变化。

（2）本实用新型通过设置相适配的橡胶槽与橡胶环，提高螺柱筒与炉门本体之间的密封性，防止炉内白烟进入螺柱筒内影响观察液位变化，通过设置密封圈，提高观察管与密封板之间的密封性，进一步提高螺柱筒内的密封强度，进而确保操作人员能够清洗读取观察管内有色液体的液位高度。

综上所述，本实用新型具有能够直观观察到扩散炉内部压力变化，提高密封程度等优点。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型螺柱筒立体结构示意图；

图3为本实用新型炉门本体部分剖开立体结构示意图；

图4为本实用新型液位组件部分剖开立体结构示意图。

附图标记：1、炉门本体；2、观察窗；3、密封槽；4、螺柱筒；5、内螺纹；6、橡胶槽；7、固定盘；8、橡胶环；9、观察管；10、密封板；11、固定片；12、弹簧；13、活塞片；14、透气膜；15、储气囊；16、橡皮筋；17、密封圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

如图1-4所示，一种太阳能电池硅片扩散用炉门，包括炉门本体1，炉门本体1上开设有观察窗2，炉门本体1上连接有可拆卸的液位组件，液位组件与观察窗2的位置相对应并用于将扩散炉内部压力转换为液位信息，炉门本体1与液位组件还设有密封组件，密封组件用以隔绝液位组件内部与扩散炉内部，通过设置液位组件，将扩散炉使用时其内部压力转换为可直观观察到的液位情况，从而能够实时观察到扩散炉内的气体充斥情况，此外，由于扩散时喷淋三氯氧磷，容易在扩散炉内出现白烟，进而通过密封组件，避免白烟弥漫影响观察液位信息。

作为本实施例中的一种优选实施方式，炉门本体1与扩散炉相合的一侧设有与扩散炉端部相适配的密封槽3，通过设置密封槽3，提高炉门与扩散炉之间的连接紧密性，进而提高炉门本体1的密封性能。

作为本实施例中的一种优选实施方式，液位组件包含与观察窗2位置相对应的观察管9，观察管9固定套接在密封板10上，且密封板10的外壁上固定套接有螺柱筒4，观察窗2的内壁上开设有内螺纹5，螺柱筒4通过内螺纹5与观察窗2螺纹连接，通过设置螺柱筒4与内螺纹5，方便拆装螺柱筒4，便于定期维护液位组件。

作为本实施例中的一种优选实施方式，观察管9的一端呈垂直状态，观察管9的另一端呈水平状态并贯穿密封板10并延伸至扩散炉内，且观察管9内水平段还固定套接有固定片11，固定片11的一侧固定连接有弹簧12，弹簧12的另一端固定连接有套设在观察管9内的活塞片13，固定片11上开设有多个通孔，且固定片11的一侧与观察管9的顶端之间设有有色液体，观察管9为透明材质，观察管9的顶端内壁上固定套接有透气膜14，透气膜14为透气不透水膜，观察管9的顶端还通过橡皮筋16套接有储气囊15，通过螺柱筒4与内螺纹5将观察管9垂直安装好后，观察管9的一端与扩散炉内部相连通，炉内气压在扩散炉使用时较高，此时活塞片13被挤压至观察管9内一段距离，弹簧12压缩，同时，有色液体在观察管9内液位高度上升，相反，炉内出现压力泄漏时，在弹簧12的作用下，使得活塞片13反向移动，进而使得观察管9内有色液体的液位下降，从而便于通过观察窗2直观观察出内部泄压情况，便于实时掌握扩散炉内气压变化，通过设置透气膜14与储气囊15，既能避免液体流出观察管9，又能对观察管9内的气体进行收集或补给，确保有色液体能够在观察管9内保持准确升降。

作为本实施例中的一种优选实施方式，炉门本体1的内壁上开设有与观察窗2同轴的橡胶槽6，螺柱筒4的外壁上固定套接有与橡胶槽6同轴的固定盘7，固定盘7的一侧固定连接有能够套设在橡胶槽6内的橡胶环8，橡胶槽6的边缘开设有与橡胶环8一端相适配的圆角，密封板10上还固定套接有密封圈17，观察管9贯穿密封圈17并与密封圈17的内壁紧密贴合，通过设置相适配的橡胶槽6与橡胶环8，提高螺柱筒4与炉门本体1之间的密封性，防止炉内白烟进入螺柱筒4内影响观察液位变化，通过设置密封圈17，提高观察管9与密封板10之间的密封性，进一步提高螺柱筒4内的密封强度，进而确保操作人员能够清洗读取观察管9内有色液体的液位高度。

工作步骤

通过螺柱筒4与内螺纹5将观察管9垂直安装好后，观察管9的一端与扩散炉内部相连通，炉内气压在扩散炉使用时较高，此时活塞片13被挤压至观察管9内一段距离，弹簧12压缩，同时，有色液体在观察管9内液位高度上升，相反，炉内出现压力泄漏时，在弹簧12的作用下，使得活塞片13反向移动，进而使得观察管9内有色液体的液位下降，从而便于通过观察窗2直观观察出内部泄压情况，便于实时掌握扩散炉内气压变化。

通过设置相适配的橡胶槽6与橡胶环8，提高螺柱筒4与炉门本体1之间的密封性，防止炉内白烟进入螺柱筒4内影响观察液位变化，通过设置密封圈17，提高观察管9与密封板10之间的密封性，进一步提高螺柱筒4内的密封强度，进而确保操作人员能够清洗读取观察管9内有色液体的液位高度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，包括炉门本体（1），所述炉门本体（1）上开设有观察窗（2），所述炉门本体（1）上连接有可拆卸的液位组件，所述液位组件与所述观察窗（2）的位置相对应并用于将扩散炉内部压力转换为液位信息，所述炉门本体（1）与所述液位组件还设有密封组件，所述密封组件用以隔绝所述液位组件内部与扩散炉内部。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述炉门本体（1）与扩散炉相合的一侧设有与扩散炉端部相适配的密封槽（3）。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述液位组件包含与所述观察窗（2）位置相对应的观察管（9），所述观察管（9）固定套接在密封板（10）上，且所述密封板（10）的外壁上固定套接有螺柱筒（4），所述观察窗（2）的内壁上开设有内螺纹（5），所述螺柱筒（4）通过所述内螺纹（5）与所述观察窗（2）螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述炉门本体（1）的内壁上开设有与所述观察窗（2）同轴的橡胶槽（6），所述螺柱筒（4）的外壁上固定套接有与所述橡胶槽（6）同轴的固定盘（7），所述固定盘（7）的一侧固定连接有能够套设在所述橡胶槽（6）内的橡胶环（8），所述橡胶槽（6）的边缘开设有与所述橡胶环（8）一端相适配的圆角。

5.根据权利要求3所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述观察管（9）的一端呈垂直状态，所述观察管（9）的另一端呈水平状态并贯穿所述密封板（10）并延伸至扩散炉内，且所述观察管（9）内水平段还固定套接有固定片（11），所述固定片（11）的一侧固定连接有弹簧（12），所述弹簧（12）的另一端固定连接有套设在所述观察管（9）内的活塞片（13），所述固定片（11）上开设有多个通孔，且所述固定片（11）的一侧与所述观察管（9）的顶端之间设有有色液体，所述观察管（9）为透明材质。

6.根据权利要求5所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述观察管（9）的顶端内壁上固定套接有透气膜（14），所述透气膜（14）为透气不透水膜。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述观察管（9）的顶端还通过橡皮筋（16）套接有储气囊（15）。

8.根据权利要求7所述的一种太阳能电池硅片扩散用炉门，其特征在于，所述密封板（10）上还固定套接有密封圈（17），所述观察管（9）贯穿所述密封圈（17）并与所述密封圈（17）的内壁紧密贴合。

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