CN216978810U

CN216978810U - 一种用于碳化硅晶片的检测装置

Info

Publication number: CN216978810U
Application number: CN202220525374.5U
Authority: CN
Inventors: 李有群; 贺贤汉; 章磊; 卢晨; 顾雪龙
Original assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2022-03-11
Filing date: 2022-03-11
Publication date: 2022-07-15
Anticipated expiration: 2032-03-11

Abstract

本实用新型属于碳化硅晶片检测技术领域，尤其为一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座和连接架，所述底座的上端设置有安装架，所述安装架的上端设置有丝杆滑台，所述连接架设置在丝杆滑台的滑块之间，所述连接架的两端固定连接有固定杆，所述固定杆的内端贯穿有与其相匹配的转轴，固定杆通过转轴铰接有连接杆，所述连接杆的端头处固定连接有扫描检测仪。该用于碳化硅晶片的检测装置，结构合理，操作便捷，便于对检测仪检测角度进行调节，使其检测范围缩减，提高检测质量，而且通过传感器传导数据实时查看，增加了使用的灵活性。

Description

一种用于碳化硅晶片的检测装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片检测技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片的检测装置。

背景技术

碳化硅晶片一般是由种晶通过晶体成长工艺形成晶体、晶碇，再对晶体、晶碇进行切割而成，碳化硅晶片作为宽带隙半导体，具有高热导率及高饱和电子漂移速率等特点，在碳化硅晶片的生产加工中，需要进行严格的检测以确保其生产质量。

在对碳化硅晶片进行检测的过程中需要用到检测装置，然而现有的检测装置结构单一，操作不便，不便于对检测仪进行延伸调节，使得检测范围增加导致检测效果不佳，并且大多为肉眼检测，会导致数据出现偏差，影响硅晶片生产质量，降低了装置的实用性。

针对上述问题，急需在原有用于碳化硅晶片的检测装置的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅晶片的检测装置，以解决上述背景技术中提出现有的用于碳化硅晶片的检测装置，结构单一，操作不便，不便于对检测仪进行延伸调节，使得检测范围增加导致检测效果不佳，并且大多为肉眼检测，会导致数据出现偏差，影响硅晶片生产质量，降低了装置实用性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座和连接架，所述底座的上端设置有安装架，所述安装架的上端设置有丝杆滑台，所述连接架设置在丝杆滑台的滑块之间，所述连接架的两端固定连接有固定杆，所述固定杆的内端贯穿有与其相匹配的转轴，固定杆通过转轴铰接有连接杆，所述连接杆的端头处固定连接有扫描检测仪。

优选的，所述底座的端侧安装有操作箱，所述操作箱的端侧固定连接有安装箱，所述安装箱的表面设置有控制器，所述安装箱的表面设置有显示器，所述显示器与控制器电性连接。

优选的，所述连接架的中间位置设置有传感器，所述传感器与控制器电性连接。

优选的，所述操作箱的内端固定连接有支撑杆，所述支撑杆的中间位置安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有转杆，所述操作箱的内端开设有与转杆外径相匹配的开口，所述转杆端头处固定连接有置物圆盘。

优选的，所述置物圆盘的内端开设有置物槽，所述置物圆盘的内壁固定连接有限位卡块，所述限位卡块与置物槽呈水平设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于碳化硅晶片的检测装置，结构合理，操作便捷，便于对检测仪检测角度进行调节，使其检测范围缩减，提高检测质量，而且通过传感器传导数据实时查看，增加了使用的灵活性；

1.为了使扫描检测仪对碳化硅晶片检测的方位进行多处扫描，因此设置置物圆盘转动带动碳化硅晶片旋转，在操作箱内端设置电机，通过支撑杆对其进行支撑固定，防止电机运行震动影响装置的稳定性，通过电机运行带动转杆进行水平方向的旋转，使得转杆转动的过程中带动置物圆盘旋转，达到多平面扫描检测的效果；

2.进行水平移动时，通过控制器启动丝杆滑台运作，丝杆滑台内端的丝杆通过螺纹作用使得内端的滑块通过导向杆水平滑动，使得滑块带动连接架同步进行水平移动，达到水平面调节的效果，在连接架的下端设置传感器，在连接架的两端设置固定杆，固定杆与扫描检测仪之间设置连接杆进行连接，并且连接杆与固定杆之间安装转轴，通过转轴可以手动对连接杆进行翻转，使得扫描检测仪的检测角度进行调节，从而达到全面检测的效果，防止检测数据不精准影响生产质量。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型正视结构示意图；

图3为本实用新型连接架与扫描检测仪连接结构示意图；

图4为本实用新型置物圆盘与置物槽连接结构示意图。

图中：1、底座；2、操作箱；3、安装箱；4、控制器；5、显示器；6、安装架；7、丝杆滑台；8、连接架；9、传感器；10、固定杆；11、转轴；12、连接杆；13、扫描检测仪；14、支撑杆；15、电机；16、转杆；17、置物圆盘；18、置物槽；19、限位卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座1、操作箱2、安装箱3、控制器4、显示器5、安装架6、丝杆滑台7、连接架8、传感器9、固定杆10、转轴11、连接杆12、扫描检测仪13、支撑杆14、电机15、转杆16、置物圆盘17、置物槽18和限位卡块19，底座1的上端设置有安装架6，安装架6的上端设置有丝杆滑台7，连接架8设置在丝杆滑台7的滑块之间，连接架8的两端固定连接有固定杆10，固定杆10的内端贯穿有与其相匹配的转轴11，固定杆10通过转轴11铰接有连接杆12，连接杆12的端头处固定连接有扫描检测仪13；

进一步的，底座1的端侧安装有操作箱2，操作箱2的端侧固定连接有安装箱3，安装箱3的表面设置有控制器4，安装箱3的表面设置有显示器5，显示器5与控制器4电性连接，使用该装置检测时，通过控制器4对电机15，传感器9、显示器5等进行操作控制，控制器4的型号为C8051F020单片机，传感器9的型号为OV5658，显示器5型号为YW-W708，同时传感器9、显示器5、电机15和扫描检测仪13均与控制器4电性连接，使得控制器4对其进行启动控制以便于进行检测，通过扫描检测仪13和传感器9检测出的数据传导至显示器5内进行显现，以便于工作人员通过显示器5对其进行查看分析；

进一步的，连接架8的中间位置设置有传感器9，传感器9与控制器4电性连接，使用该装置检测时，需要通过传感器9对检测出的信号传输，使得传感器9快速将信号传输到显示器5内，以便于进行查看；

进一步的，操作箱2的内端固定连接有支撑杆14，支撑杆14的中间位置安装有电机15，电机15的输出轴固定连接有转杆16，操作箱2的内端开设有与转杆16外径相匹配的开口，转杆16端头处固定连接有置物圆盘17，使用时，通过控制器4启动丝杆滑台7运作，丝杆滑台7内端的丝杆通过螺纹作用使得内端的滑块通过导向杆水平滑动，使得滑块带动连接架8同步进行水平移动，达到水平面调节的效果，在连接架8的下端设置传感器9，在连接架8的两端设置固定杆10，固定杆10与扫描检测仪13之间设置连接杆12进行连接，并且连接杆12与固定杆10之间安装转轴11，通过转轴11可以手动对连接杆12进行翻转，在转轴11的端侧设置有锁轴，当转轴11进行角度调节后按压锁轴使其缩紧，不仅可以防止在检测的过程中转动影响使用的稳定，还可以达到扫描检测仪13调节检测的效果，从而达到全面检测的效果，防止检测数据不精准影响生产质量，为了使扫描检测仪13对碳化硅晶片检测的方位进行多处扫描，因此设置置物圆盘17转动带动碳化硅晶片旋转，在操作箱2内端设置电机15，通过支撑杆14对其进行支撑固定，防止电机15运行震动影响装置的稳定性，通过电机15运行带动转杆16进行水平方向的旋转，使得转杆16转动的过程中带动置物圆盘17旋转，达到多平面扫描检测的效果；

进一步的，置物圆盘17的内端开设有置物槽18，置物圆盘17的内壁固定连接有限位卡块19，限位卡块19与置物槽18呈水平设置，检测时将所需检测的碳化硅晶片放置在置物圆盘17内端的置物槽18中，通过置物圆盘17四周的限位卡块19对其进行放置格挡，防止置物圆盘17在上升的过程中晃动导致晶片漏出损坏，增加了使用的防护效果。

工作原理：在使用该用于碳化硅晶片的检测装置时，首先将碳化硅晶片放置在置物圆盘17内端的置物槽18中，通过置物圆盘17四周的限位卡块19对其进行放置格挡，防止置物圆盘17在上升的过程中晃动导致晶片漏出损坏，随后根据检测圆盘角度对连接架8进行水平调节，通过控制器4启动丝杆滑台7运作，丝杆滑台7内端的丝杆通过螺纹作用使得内端的滑块通过导向杆水平滑动，使得滑块带动连接架8同步进行水平移动，达到水平面调节的效果，在连接架8的下端设置传感器9，在连接架8的两端设置固定杆10，固定杆10与扫描检测仪13之间设置连接杆12进行连接，并且连接杆12与固定杆10之间安装转轴11，通过转轴11可以手动对连接杆12进行翻转，在转轴11的端侧设置有锁轴，当转轴11进行角度调节后按压锁轴使其缩紧，不仅可以防止在检测的过程中转动影响使用的稳定，还可以提高扫描检测仪13调节检测的效果，并且通过扫描检测仪13和传感器9检测出的数据传导至显示器5内进行显现，以便于工作人员通过显示器5对其进行查看分析，为了使扫描检测仪13对碳化硅晶片检测的方位进行多处扫描，因此设置置物圆盘17转动带动碳化硅晶片旋转，在操作箱2内端设置电机15，通过支撑杆14对其进行支撑固定，防止电机15运行震动影响装置的稳定性，通过电机15运行带动转杆16转动，使得转杆16转动的过程中带动置物圆盘17旋转，达到多平面扫描检测的效果。

最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

Claims

1.一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座（1）和连接架（8），其特征在于：所述底座（1）的上端设置有安装架（6），所述安装架（6）的上端设置有丝杆滑台（7），所述连接架（8）设置在丝杆滑台（7）的滑块之间，所述连接架（8）的两端固定连接有固定杆（10），所述固定杆（10）的内端贯穿有与其相匹配的转轴（11），固定杆（10）通过转轴（11）铰接有连接杆（12），所述连接杆（12）的端头处固定连接有扫描检测仪（13）。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于：所述底座（1）的端侧安装有操作箱（2），所述操作箱（2）的端侧固定连接有安装箱（3），所述安装箱（3）的表面设置有控制器（4），所述安装箱（3）的表面设置有显示器（5），所述显示器（5）与控制器（4）电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于：所述连接架（8）的中间位置设置有传感器（9），所述传感器（9）与控制器（4）电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于：所述操作箱（2）的内端固定连接有支撑杆（14），所述支撑杆（14）的中间位置安装有电机（15），所述电机（15）的输出轴固定连接有转杆（16），所述操作箱（2）的内端开设有与转杆（16）外径相匹配的开口，所述转杆（16）端头处固定连接有置物圆盘（17）。

5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于：所述置物圆盘（17）的内端开设有置物槽（18），所述置物圆盘（17）的内壁固定连接有限位卡块（19），所述限位卡块（19）与置物槽（18）呈水平设置。