CN216919405U - 一种横向连续递进式气相沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种横向连续递进式气相沉积炉，涉及复合材料制造设备领域。本实用新型包括横向设置的炉体、安装于炉体外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴、套设于承载轴中部位置的感应线圈、推进机构、取下冷却机构；第一推拉机构和第二推拉机构的顶举头端部均设有与承载轴外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板。本实用新型能够使预制体连续性的完成准备、沉积和冷却动作后，由末端的取下冷却机构进行取出，完成由预制体至复合材料的制备过程，具有整体过程连续、递进、采用一个炉体即可完成，速度快，效率高的优点。

Description

一种横向连续递进式气相沉积炉

技术领域

本实用新型属于复合材料制造设备领域，特别是涉及一种横向连续递进式气相沉积炉以及一种横向连续递进式气相沉积炉的工作方法。

背景技术

复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对复合材料产品的质量有了更高的要求。

化学气相沉积是一种被广泛应用于生产复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内不同位置的产品质量不一致，或者同一个产品上不同部位的质量不一致。

并且由于现有的沉积炉为单个炉腔，一般预制体放置于沉积炉内进行制备时没有预热和冷却的步骤，预制体直接在炉腔内加热和冷却，导致单个沉积炉在制备时的造成的制备耗费时间长，效率低的问题，因此提供一种横向连续递进式气相沉积炉具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型提供了一种横向连续递进式气相沉积炉，解决了以上问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的一种横向连续递进式气相沉积炉，包括横向设置的炉体、安装于炉体外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴、套设于承载轴中部位置的感应线圈、位于炉体外前端或后端用于对环装的预制体从承载轴上进行推进的推进机构；

所述炉体内位于炉体的推进方向由前至后依次形成准备区、沉积区、冷却区，所述炉体的前后两端分别设有对开式的第一封闭门和第二封闭门。

进一步地，所述感应线圈设置于炉体内的炉壁内侧并与炉壁内表面形成间距，且感应线圈内部依次设置有炉壁保温层以及马弗层，并且炉壁保温层与马弗层之间设置有间距。

进一步地，承载轴为内中空且一端为密封的绝缘管状结构，所述承载轴的另一端设置有带电磁阀的通气管，所述通气管的一端侧部设置有通气口，所述承载轴上与感应线圈相对应的位置环绕均布开设有出气孔；所述承载轴外表面横向设置有若干凸条，所述凸条对预制体内侧壁与进行支撑；所述第二封闭门的上下两部分分别开设有与通气管相对应形成贴合密闭通孔的半圆开口。

进一步地，所述炉体外部设置有与通气口相匹配的伸缩式接气结构；所述伸缩式接气结构包括伸缩机构以及位于伸缩机构顶举头一端与通气口相配合的带有密封圈的连接帽，所述连接帽上设置有第一通气连接管。

进一步地，所述推拉式夹持机构包括位于炉体外前端或后端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第一推拉机构，以及位于炉体外后端或前端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第二推拉机构。

进一步地，所述第一推拉机构和第二推拉机构均采用液压缸、气缸或伺服电动缸，所述第一推拉机构和第二推拉机构的顶举头端部均设有与承载轴外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板，所述第一推拉机构和第二推拉机构的顶举杆表面以及第一夹持板表面均设置有水冷保护套。

进一步地，所述推进机构包括与炉体的前端或后端炉口位置相对的第一钵体型推移件以及设置于第一钵体型推移件后部的第三推拉机构，所述第三推拉机构均采用液压缸、气缸或伺服电动缸。

进一步地，所述第一钵体型推移件与预制体直径一致，移动过程中使第一钵体型推移件边缘与预制体的边缘相抵触；所述第一钵体型推移件的长度大于第一夹持板的长度。

进一步地，，所述炉体外后端或前端用于对预制体从承载轴上进行取下的取下冷却机构，所述取下冷却机构包括与炉体的后端或前端炉口位置相对的第二钵体型推移件以及设置于第二钵体型推移件后部的第四推拉机构，所述第四推拉机构均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；第二钵体型推移件上设置有与开口位置相配合的翻转式密封门，所述第二钵体型推移件的底部设置有通气端，所述通气端连接有第二通气连接管。

进一步地，所述炉体的侧壁上安装有气体吹入管以及气体排出管；气体吹入管用于对炉内吹入氮气和丙烷气体，在整个炉体工作结束后由气体排出管将内部气体抽出；具体的动作是，在第一封闭门或第二密封门在开门或关门动作时，丙烷气体停止送气，并且停止抽真空，惰性气体流量保持炉内微正压，具体的压强控制在110kpa以上。

本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：

1、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉采用的是其内部由一个横向设置的承载轴从起始端开始承载预制体，由中间设置的感应线圈对预制体进行加热形成沉积，炉内自然形成准备区、沉积区和冷却区，整个过程中由预制体起始上料端的推进机构不断的将新增加至承载轴上的预制体连通前部的预制体向前递进，使预制体连续性的完成准备、沉积和冷却动作后，由末端的取下冷却机构进行取出，完成由预制体至复合材料的制备过程，具有整体过程连续、递进、采用一个炉体即可完成，本连续递进式的气相沉积炉相对于现有的间歇式的沉积炉，大大降低了反复升降温所带来的的能量损耗，提高了沉积速度和效率；

2、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉由于在炉内采用的局部位置的沉积加热，相对于现有的间歇式的沉积炉，具有更加均匀的沉积效果和更优的沉积效率。

3本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉采用的使由位于炉体前后两端侧部设置的第一推拉机构和第二推拉机构对承载轴进行的夹持，能够保证至少一个推拉机构夹持，使承载轴于炉体内保持横向布置，从而方便进料和出料动作；

4、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉可根据需要选择任意一端作为起始端，对应的另一端作为末端，大大方便了预制体沉积气相沉积炉的工作便利性和使用的效率。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一种横向连续递进式气相沉积炉的整体结构示意图；

图2为图1中沉积炉的工作状态图1；

图3为图1中沉积炉的工作状态图2；

图4为图1中沉积炉的工作状态图3；

图5为图1中沉积炉的工作状态图4；

图6为图1中沉积炉的工作状态图5；

图7为图1中承载轴的结构示意图；

图8为图7中C-C剖面视图；

图9为图1中对开式的第二封闭门的结构示意图；

图10为图1中炉体的结构剖视图；

图11为图1中伸缩机构的结构示意图；

图12为图1中第一推拉机构的结构示意图；

图13为图5中具体实施例1的取下冷却机构与承载轴和预制件相配合的B-B剖面视图；

图14为图1中第一钵体型推移件的结构示意图；

图15为本实用新型具体实施例2的取下冷却机构的结构原理图；

图16为具体实施例2的取下冷却机构与与承载轴和预制件相配合的结构原理图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-炉体，101-第一封闭门，102-第二封闭门，103-气体吹入管，104-气体排出管，105-马弗层，106-炉壁保温层，2-承载轴，201-出气孔，202-凸条，203-通气管，204-电磁阀，205-通气口，3-感应线圈，301-感应加热电源，4-第一推拉机构，401-第一夹持板，5-第二推拉机构，6-推进机构，601- 第三推拉机构，602-第一钵体型推移件，7-取下冷却机构，701-第四推拉机构，702-第二钵体型推移件，703-第二夹持板，704-第五推拉机构，705-翻转式密封门，706-通气端，707-第二通气连接管，708-滚珠升降丝杠，709- 连接管，710-滑块，711-电机，712-第六推拉结构，713-爪头，8-伸缩机构， 801-连接帽，802-第一通气连接管，A-预制体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“横向”、“前后两端”、“侧部”、“由前至后”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例1：

请参阅图1-14所示，本实用新型的一种横向连续递进式气相沉积炉，包括：

横向设置的炉体1、安装于炉体1外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴2、套设于承载轴2中部位置的感应线圈3、位于炉体1外前端或后端用于对环装的预制体A从承载轴2上进行推进的推进机构6；炉体1采用钢制结构，内壁设有一层耐高温陶层或水冷层结构；

炉体1内位于炉体的推进方向由前至后依次形成准备区、沉积区、冷却区，炉体1的前后两端分别设有对开式的第一封闭门101和第二封闭门102；第一封闭门101和第二封闭门102均采用铰链的方式安装于炉体1的两端，可随时进行打开和关闭；在每次打开和关闭第一封闭门101和第二封闭门102 时，进行的动作需要非常迅速，一般在5-8秒内完成，防止内部的保护气溢出过多，本具体实施例中保护气具体为惰性气体的氮气。

感应线圈3设置于炉体1内的炉壁内侧并与炉壁内表面形成5cm间距，且感应线圈3内部依次设置有炉壁保温层106以及马弗层105，并且炉壁保温层106与马弗层105之间设置有5cm间距，感应线圈3上设置有绝缘层做绝缘处理，由于保温层是导电的，目的是防止短路。

承载轴2为内中空且一端为密封的绝缘管状结构，承载轴2的另一端设置有带电磁阀204的通气管203，通气管203的一端侧部设置有通气口205，承载轴2上与感应线圈3相对应的位置环绕均布开设有出气孔201；承载轴2 外表面横向设置有若干凸条202，凸条202对预制体A内侧壁与进行支撑；本具体实施例中凸条202具体采用为环绕等弧度设置的三个凸条；第二封闭门102的上下两部分分别开设有与通气管203相对应形成贴合密闭通孔的半圆开口1021。

其中，炉体1外部设置有与通气口205相匹配的伸缩式接气结构；伸缩式接气结构包括伸缩机构8以及位于伸缩机构8顶举头一端与通气口205相配合的带有密封圈的连接帽801，连接帽801上设置有第一通气连接管802。

其中，感应线圈3采用由感应加热电源301驱动的中/高频型感应加热线圈，感应线圈3设置于炉体1内的炉壁内表面，且感应线圈3外部依次设置有马弗层105以及炉壁保温层106，即感应线圈位于马弗层105与炉体1内壁之间；本具体实施例中，预制体A采用圆筒，具体材质为碳纤维预制体，圆筒的内径为500mm英寸，壁厚为12mm，对应的承载轴2的外径为28英寸，具有20微米的负公差，承载轴2采用中空石墨材料或碳碳材料，本具体实施例中具体采用1.72g/cm³的中粗石墨管，并且，圆筒的外壁距离炉体1内的马弗内壁的间距为50mm，马弗外侧设置有保温材料，本具体实施例中保温材料具体采用保温陶瓷材料；对应的本具体实施例中的感应线圈3具体采用的是额定功率为150kw的感应加热线圈，每次升温具体是由起始的10kw功率，以10kw增量功率进行递增，对应的温度变化为，炉内加热位置的温度由起始常温状逐渐随功率增加而逐步升温，温度从常温每分钟以5℃的增量进行升高，直至升高至1050℃的温度点进行保持，炉内单个预制体A进行感应加热维持的时间长度本具体实施例具体为12小时；整个气相沉积炉由后台的P LC控制系统进行控制每个机构的运行的动作、顺序、时间和力度；对于不同的尺寸大小的预制体A可采用不同对应的加热功率，如内径更大的30英寸的圆筒，提供的感应线圈3的额定功率相对更大，其额定功率能达到180kw，对于36英寸的圆筒，额定功率设计为250kw；

其中，推拉式夹持机构包括位于炉体1外前端或后端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第一推拉机构4，以及位于炉体1外后端或前端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第二推拉机构5；本实施例采用的由三个呈三角稳定性排布的方式的第一推拉机构4和第二推拉机构5构成排布，实现对承载轴2的夹持。

其中，第一推拉机构4和第二推拉机构5均采用液压缸、气缸或伺服电动缸，第一推拉机构4和第二推拉机构5的顶举头端部均设有与承载轴2外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板401，第一夹持板401的材质采用中空石墨材料或碳碳材料材质；第一推拉机构4和第二推拉机构5的顶举杆表面以及第一夹持板401表面均设置有水冷保护套，防止因炉腔内温度过高，影响顶举杆以及第一夹持板401的膨胀变形。

其中，推进机构6包括与炉体1的前端或后端炉口位置相对的第一钵体型推移件602以及设置于第一钵体型推移件602后部的第三推拉机构601，第三推拉机构601均采用液压缸、气缸或伺服电动缸。

其中，第一钵体型推移件602与预制体A直径一致，移动过程中使第一钵体型推移件602边缘与预制体A的边缘相抵触；第一钵体型推移件602的长度大于第一夹持板401的长度，具体长出10cm。

其中，炉体1外后端或前端用于对预制体A从承载轴2上进行取下的取下冷却机构7，取下冷却机构7包括与炉体1的后端或前端炉口位置相对的第二钵体型推移件702以及设置于第二钵体型推移件702后部的第四推拉机构701，第四推拉机构701均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；第二钵体型推移件702上设置有与开口位置相配合的翻转式密封门705，第二钵体型推移件702的底部设置有通气端706，通气端706连接有第二通气连接管707。

其中，第二钵体型推移件702外侧部环绕设置有至少两个第五推拉机构 704，第五推拉机构704均采用液压缸、气缸或伺服电动缸，第五推拉机构 704的顶举头端部设置有与预制体A外弧面相贴合挤压夹持的第二夹持板 703；

第二钵体型推移件702大于预制体A的直径，移动过程中使第二钵体型推移件702可罩住预制体A，并由第五推拉机构704配合第二夹持板703对预制体A进行夹持；第二钵体型推移件702的长度大于第一夹持板401、预制体A以及通气管203的长度之和。

其中，炉体1的侧壁上安装有气体吹入管103以及气体排出管104；气体吹入管103用于对炉内吹入氮气和丙烷气体，在整个炉体工作结束后由气体排出管104将内部气体抽出；具体的动作是，在第一封闭门101或第二密封门102在开门或关门动作时，丙烷气体停止送气，并且停止抽真空，惰性气体流量保持炉内微正压，具体的压强控制在110kpa以上。

一种横向连续递进式气相沉积炉的工作方法，包括如下步骤：

S01、起始状态下，由第二推拉机构5顶举头伸出对承载轴2进行夹持，第一推拉机构4的顶举头缩回，将待加工的预制体A逐一的套设放置于承载轴2一端作为准备区的位置上，并由推进机构6往复推进并逐一增加新的预制体A，使排列的预制体A于承载轴2上逐一进行推进至作为沉积区的感应线圈3的位置上；

S02、关闭第一密封门101和第二封闭门102，由气体吹入管103吹入惰性保护气体氮气，并且同时进行抽真空动作，并且同时通过伸缩机构8端部的连接帽801经第一通气连接管802通入甲烷以及氮气，于沉积区的承载轴 2上出气孔201位置冒出，达到微正压状态后，由感应线圈3对沉积区的预制体A进行加热沉积反应；抽真空时，本具体实施例氮气的通入流量为 4000L/min，丙烷气体的通入流量为320L/min，并由感应线圈3对沉积区的预制体A进行加热沉积反应，该加热过程和动作是缓慢加热的，由常温状态逐渐加热到可沉积温度1050℃并保持该温度点进行恒温保持，单个预制体 A进行沉积的停留时间为12hr；

S03、位于沉积区的预制体A加热沉积反应完成后，通过第一封闭门101 或第二密封门102在开门或关门动作时，继续由推进机构6进行推进一个预制体A的长度，使临近的未沉积预制体A占据沉积位置，沉积后的预制体A 被前推进至冷却区，并再次添加新的预制体A置于起始端，对取代沉积位置的新的预制体A再次进行加热沉积反应，在第一封闭门101或第二密封门102 在开门或关门动作时，丙烷气体停止送气，并且停止抽真空，伸缩机构8带动连接帽801退出与通气口205的连接并缩回，当两个密封门都关闭后，惰性气体流量保持炉内微正压，具体的压强控制在110kpa以上，当第一封闭门 101或第二密封门102都关闭后，继续重复S02的步骤；

S04、循环往复S03步骤，直至起始端推进新的预制体A过第一推拉机构4对应位置后，末端的最先反应并冷却的预制体A临近第二推拉机构5对应的位置上；

S05、由所述第二推拉机构5顶举头缩回，第一推拉机构4伸出对承载轴 2进行夹持；并由取下冷却机构7对末端的反应完成后的预制体A取出，然后关闭翻转式密封门705，并于通气端706经第二通气连接管707通入氮气进行冷却，冷却完毕后打开翻转式密封门705，对冷却好的物料取出。

S06、由第二推拉机构5顶举头伸出对承载轴2进行夹持，第一推拉机构 4缩回，继续在起始端添加新的预制体A，直至起始端推进新的预制体A过第一推拉机构4对应位置后，沉积后的预制体A被前推并于沉积位置进行加热沉积反应，末端的最先反应并冷却的预制体A临近第二推拉机构5对应的位置上；

S07、循环往复步骤S06-S07，使位于承载轴2上预制体A能够连续递进式的在炉内完成准备、沉积和冷却动作，连续性的于末端由取下冷却机构7 取出由预制体A制备完成的复合材料；

上述实验过程如下：抽真空→加热→恒温→通气→关气→降温，抽真空时，氮气流量为4000L/min,丙烷流量为320L/min，沉积温度为1050℃，停留时间为12hr。

相对于现有的间歇式的沉积炉，通过定量定性话的数据统计，同样尺寸、容积的沉积炉，制备相同数量的碳碳圆筒，本技术方案的横向连续递进式气相沉积炉所使用的气体量为间歇式的沉积炉的0.6倍，单个碳碳圆筒制备的时间节省至少0.5hr，通过采集由本技术方案横向连续递进式气相沉积炉制备的碳碳圆筒表面的6个等间距的位置点，获取该位置点的沉积厚度，发现其沉积厚度差为2-3mm，均匀性较高，而采用间歇式的沉积炉所制备的圆筒表面的6个等间距的位置点，这些点的位置沉积厚度差为8-12mm，波动相对比较大，本技术方案具有更优更均匀的沉积效率。

具体实施例2：

如图15-16所示，本具体实施例相对于具体实施例1的区别在于：

其中，取下冷却机构7具体结构除包括第二钵体型推移件702、第四推拉机构701、翻转式密封门705、通气端706、第二通气连接管707外，还包括设置于第二钵体型推移件702内部中间位置横向水平设置的与承载轴2位置和直径相对应的连接管709，设置于第二钵体型推移件702内后端部的竖直方式设置的滚珠升降丝杠708，通过滑块710与滚珠螺母相连并与安装于滚珠升降丝杠708相配合进行上下升降的两第六推拉结构712，滚珠升降丝杠708通过端部的电机711转动配合进行驱动，第六推拉结构712具体为电缸、油缸或气缸结构，端部的顶举头上设置有L型的爪头713；在由取下冷却机构7通过第四推拉机构701伸入炉体1内进行取件时，先有滚珠升降丝杠708将第六推拉结构712的间距调成大于预制件A的直径，然后直至伸入后，爪头713刚好落在末端的预制件A与前一预制件A的间隙处，由滚珠升降丝杠708驱动使第六推拉结构712上下距离减小使爪头713刚好落在间隙处，由第六推拉结构712向后拉出使制备完成待冷却的预制件A经由连接管 709滑入第二钵体型推移件702内部，然后进行与具体实施例1一样的密封、冷却和充氮气动作的冷却操作；

滚珠升降丝杠708设置于第二钵体型推移件702内，且不与连接管709 交叉，即滚珠升降丝杠708并非在第二钵体型推移件702的直径上，第二钵体型推移件702在向炉体1内移动后，连接管709端部是贴合于承载轴2的端部，且通气管位于连接管709内不受影响。

有益效果：

1、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉采用的是其内部由一个横向设置的承载轴从起始端开始承载预制体，由中间设置的感应线圈对预制体进行加热形成沉积，炉内自然形成准备区、沉积区和冷却区，整个过程中由预制体起始上料端的推进机构不断的将新增加至承载轴上的预制体连通前部的预制体向前递进，使预制体连续性的完成准备、沉积和冷却动作后，由末端的取下冷却机构进行取出，完成由预制体至复合材料的制备过程，具有整体过程连续、递进、采用一个炉体即可完成，本连续递进式的气相沉积炉相对于现有的间歇式的沉积炉，大大降低了反复升降温所带来的的能量损耗，提高了沉积速度和效率；

2、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉由于在炉内采用的局部位置的沉积加热，相对于现有的间歇式的沉积炉，具有更加均匀的沉积效果和更优的沉积效率。

3本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉采用的使由位于炉体前后两端侧部设置的第一推拉机构和第二推拉机构对承载轴进行的夹持，能够保证至少一个推拉机构夹持，使承载轴于炉体内保持横向布置，从而方便进料和出料动作；

4、本实用新型的横向连续递进式气相沉积炉可根据需要选择任意一端作为起始端，对应的另一端作为末端，大大方便了预制体沉积气相沉积炉的工作便利性和使用的效率。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (8)

1.一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，包括：

横向设置的炉体(1)、安装于炉体(1)外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴(2)、套设于承载轴(2)中部位置的感应线圈(3)、位于炉体(1)外前端或后端用于对环装的预制体(A)从承载轴(2)上进行推进的推进机构(6)；

所述炉体(1)内位于炉体的推进方向由前至后依次形成准备区、沉积区、冷却区，所述炉体(1)的前后两端分别设有对开式的第一封闭门(101)和第二封闭门(102)。

2.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述感应线圈(3)采用由感应加热电源(301)驱动的中/高频型感应加热线圈，所述感应线圈(3)设置于炉体(1)内的炉壁内侧并与炉壁内表面形成间距，且感应线圈(3)内部依次设置有炉壁保温层(106)以及马弗层(105)，并且炉壁保温层(106)与马弗层(105)之间设置有间距。

3.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述承载轴(2)为内中空且一端为密封的绝缘管状结构，所述承载轴(2)的另一端设置有带电磁阀(204)的通气管(203)，所述通气管(203)的一端侧部设置有通气口(205)，所述承载轴(2)上与感应线圈(3)相对应的位置环绕均布开设有出气孔(201)；所述承载轴(2)外表面横向设置有若干凸条(202)，所述凸条(202)对预制体(A)内侧壁与进行支撑；所述第二封闭门(102)的上下两部分分别开设有与通气管(203)相对应形成贴合密闭通孔的半圆开口(1021)。

4.据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)外部设置有与通气口(205)相匹配的伸缩式接气结构；所述伸缩式接气结构包括伸缩机构(8)以及位于伸缩机构(8)顶举头一端与通气口(205)相配合的带有密封圈的连接帽(801)，所述连接帽(801)上设置有第一通气连接管(802)。

5.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述推拉式夹持机构包括位于炉体(1)外前端或后端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第一推拉机构(4)，以及位于炉体(1)外后端或前端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第二推拉机构(5)；所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸，所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)结构相同，且顶举头端部均设有与承载轴(2)外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板(401)，所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)的顶举杆表面以及第一夹持板(401)表面均设置有水冷保护套。

6.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述推进机构(6)包括与炉体(1)的前端或后端炉口位置相对的第一钵体型推移件(602)以及设置于第一钵体型推移件(602)后部的第三推拉机构(601)，所述第三推拉机构(601)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；所述第一钵体型推移件(602)与预制体(A)直径一致，移动过程中使第一钵体型推移件(602)边缘与预制体(A)的边缘相抵触；所述第一钵体型推移件(602)的长度大于第一夹持板(401)的长度。

7.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)外后端或前端用于对预制体(A)从承载轴(2)上进行取下的取下冷却机构(7)；取下冷却机构(7)包括与炉体(1)的后端或前端炉口位置相对的第二钵体型推移件(702)以及设置于第二钵体型推移件(702)后部的第四推拉机构(701)，所述第四推拉机构(701)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；所述第二钵体型推移件(702)上设置有与开口位置相配合的翻转式密封门(705)，所述第二钵体型推移件(702)的底部设置有通气端(706)，所述通气端(706)连接有第二通气连接管(707)。

8.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)的侧壁上安装有气体吹入管(103)以及气体排出管(104)；气体吹入管(103)用于对炉内吹入氮气和丙烷气体，在整个炉体工作结束后由气体排出管(104)将内部气体抽出。

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