CN216909553U - 一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯，所述滤芯的底部通过固定机构连接有转轴，所述转轴的外壁套设有轴套，所述轴套的内部转轴的外壁由外到内依次对称设有轴承和磁极块，所述磁极块之间转轴的外壁上套设有磁铁，本实用新型通过设有的转轴、轴套、轴承、磁极块、磁铁磁流体液和排气口之间的配合使用，使其能够避免对高粉尘尾气处理时，防止粉尘堵塞滤芯孔，并通过高速旋转滤芯将粉尘甩出以通过滤筒进行收集，提高了滤芯和帮浦的寿命；通过设有的连接头、固定块、连接块、螺杆和限制块之间的配合使用，使其能够便于将滤芯与转轴连接固定，同时也方便拆卸更换滤芯。

Description

一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯

技术领域

本实用新型涉及滤芯技术领域，具体为一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯。

背景技术

滤芯在现有的社会当中使用非常的普遍，如空气滤芯、线绕滤芯、PP滤芯、活性炭滤芯等多种滤芯，滤芯是过滤净化功能的专业名词，为了净化原流体的资源和资源的分离简便装置，现在滤芯主要用在油过滤、空气过滤、水过滤等过滤行业；滤芯分离液体或者气体中固体颗粒，或者使不同的物质成分充分接触，加快反应时间，可保护设备的正常工作或者空气的洁净，当流体进入置有一定规格滤网的滤芯后，其杂质被阻挡，而清洁的流物通过滤芯流出。

现有的，有些化学气相沉积或蚀刻后产生的高粉尘的尾气，会造成尾气处理的传统静态集尘滤芯极易堵塞，必须常换滤芯或清洁滤芯，而滤芯寿命减短会间接影响帮浦寿命，帮浦也需常维修，造成保养次数及时间增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯，所述滤芯的底部通过固定机构连接有转轴，所述转轴的外壁套设有轴套，所述轴套的内部转轴的外壁由外到内依次对称设有轴承和磁极块，所述磁极块之间转轴的外壁上套设有磁铁，所述磁极块内侧壁面与转轴之间转轴的外壁上设有若干磁流体液，所述轴套的一侧设有排气口，所述排气口与轴套内下方的磁铁与轴承之间的部分相对应。

进一步的，所述固定机构包括滤芯底部开设的连接槽内部设有的连接头，所述连接头套设在转轴的外壁上，所述连接头的顶部开设有若干固定槽，所述固定槽内部设有一端与转轴固定连接的固定块，所述连接头的外壁连接有若干连接块，所述滤芯底部连接槽的外侧开设若干与连接块相匹配的卡槽，所述连接块一侧设有螺杆，所述螺杆一端穿过连接块并延伸至卡槽内顶部开设的限制槽内，所述限制槽内部设有限制块，所述限制块与螺杆一端固定连接，使滤芯便于拆装更换。

进一步的，所述轴套的顶部设有密封圈，所述磁极块与轴套的内壁之间设有密封，确保其具有良好的密封性。

进一步的，所述限制槽截面为T字形，所述限制槽由一个矩形槽和圆形槽组合形成，确保螺杆和限制块能够插入到滤芯内部并进行连接固定。

进一步的，所述螺杆与连接块螺纹连接，所述连接块与连接头固定连接，所述螺杆的下端连接有把手，方便调节以及对螺杆具有一定的固定支撑作用。

进一步的，若干所述卡槽呈圆周等距阵列方式分布，且所述卡槽与连接槽相连通，所述连接块与卡槽相对应，以便能够对其限制固定，同时方便将力传输带动滤芯旋转。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设有的转轴、轴套、轴承、磁极块、磁铁磁流体液和排气口之间的配合使用，使其能够避免对高粉尘尾气处理时，防止粉尘堵塞滤芯孔，并通过高速旋转滤芯将粉尘甩出以通过滤筒进行收集，提高了滤芯和帮浦的寿命；

2、本实用新型通过设有的连接头、固定块、连接块、螺杆和限制块之间的配合使用，使其能够便于将滤芯与转轴连接固定，同时也方便拆卸更换滤芯。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体的结构示意图；

图2是本实用新型滤芯与转轴之间的连接结构示意图；

图3是本实用新型图2中A的放大结构示意图；

图4是本实用新型连接头与连接块之间的结构示意图；

图5是本实用新型滤芯的仰视结构示意图；

图中：1、滤芯；2、转轴；3、轴套；4、轴承；5、磁极块；6、磁铁；7、磁流体液；8、连接头；9、固定块；10、固定槽；11、连接块；12、螺杆；13、限制块；14、连接槽；15、限制槽；16、卡槽；17、排气口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯1，滤芯1的底部通过固定机构与转轴2相连接，滤芯1的下方转轴2的外壁上套设有轴套3，轴套3内部且位于转轴2的外壁上由外到内依次对称套设有轴承4和磁极块5，在磁极块5之间转轴2的外壁套设有磁铁6，磁极块5与磁铁6相连接，在磁极块5的内侧壁面与转轴2 的壁面之间设转轴2的外壁上设有若干磁流体液7，配合磁极块5和磁铁6使用，确保其能够旋转的情况下，又能够避免破真空，在轴套3的一侧设有排气口17，排气口17与轴套3 内部下方设有的轴承4和磁铁6之间的部分相对应，轴套3的顶部设有密封圈，磁极块5与轴套3的内壁之间设有密封圈，确保其具有良好的密封性。

实施方式具体为：使用时，通过将含有的粉尘的尾气进入滤芯1内，通过与驱动机构连接带动滤芯1进行高速旋转，从而利用高速旋转特性，使粉尘便不易进入滤芯孔洞造成堵塞，因滤芯1离心力的关系，粉尘被高速甩出，以滤筒作集尘命；采用磁流体液7与磁极块5和磁铁6配合使用进行轴封，使得装置在可旋转情况下，又可避免破真空；排气经过轴套3内部后段转轴2后，再由侧孔的真空泵吸走排出，如此真空泵也不会因吸取过多粉尘而减少寿命。

如附图1-5所示的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其中固定机构包括滤芯1底部开设的连接槽14内设有的连接头8，连接头8套设在转轴2上端外壁，在连接头8的顶部靠近内侧位置开设有若干固定槽10，在固定槽10内部安装有固定块9，固定块9一端与转轴2固定连接，在连接头8的外壁设有若干连接块11，在滤芯1底部开设有若干与连接块11相匹配的卡槽16，在连接块11的下方设有螺杆12，螺杆12的上端穿过连接块11并延伸至卡槽16内顶部开设的限制槽15内部连接有限制块13，螺杆12的下端连接有把手，螺杆12与连接块11螺纹连接，在本实例中，固定槽10、限制槽15和卡槽16均各开设有3个，且3个固定槽10、限制槽15和卡槽16均以圆周等距阵列的方式分布，且固定槽10、限制槽15和卡槽16彼此相对应，以便对转轴2与滤芯1之间的连接处进行限定，同时又能够很好的将动力传递，限制槽15是由一个矩形槽和圆形槽组合形成，限制槽15的截面为T字形。

实施方式具体为：使用时，通过将连接头8套设在转轴2外壁上，之后将固定块9与转轴2固定连接并与固定槽10相对应，之后使得固定块9插入到固定槽10内部，之后将固定机构整体和转轴2一同插入到连接槽14内部，并使得连接块11插入到卡槽16内部，同时限制块13插入到限制槽15内，之后通过扭动螺杆12下端的把手，从而带动螺杆12转动，在螺纹的作用下使得螺杆12带动限制块13进行上下移动，从而使得限制块13与连接块11 之间的距离逐渐减小，直至连接块11和轴套3分别与滤芯1底部紧密接触连接后即可，同时使得限制块13旋转到与限制槽15内矩形槽部分垂直，从而实现连接块11和限制块13与滤芯1底部夹持紧固，从而实现连接头8推动固定块9与滤芯1底部紧密贴合，实现滤芯1 与转轴2的连接固定，同时在对滤芯1进行拆卸时可通过扭动把手带动螺杆12进而带动限制块13，从而改变限制块13与连接块11之间的距离，之后即可将限制块13与限制槽15中矩形部分相对应后即可将其滤芯1取下，使用更方便。

本实用新型工作原理：

参照说明书附图1，通过设有的转轴2、轴套3、轴承4、磁极块5、磁铁6和磁流体液 7之间的配合使用，使其能够在驱动机构的带动下，使得滤芯1高速旋转，从而避免粉尘堵塞滤芯孔，进一步的提高了滤芯1和帮浦的使用寿命，通过将该装置的转轴2与驱动机构的输出轴转动连接，从而通过驱动机构带动转轴2转动，进而带动滤芯1旋转，通过滤芯1高速旋转产生离心力，从而将粉尘甩出，并通过滤筒进行收集，提高其使用寿命，通过磁流体液7、磁铁6和磁极块5配合使用进行的轴封，使得装置在可旋转情况下，又可避免破真空；

进一步的，参照说明书附图1-5，通过设有的连接头8、固定块9、连接块11、螺杆12和限制块13的配合使用，使其能够便于滤芯1的拆装更换，使其使用更方便，通过将连接头8套设在转轴2上，并将固定块9与转轴2外壁固定连接后插入到固定槽10内，之后将固定机构整体连带转轴2一同插入到滤芯1底部的连接槽14内，并使得连接块11插入到卡槽16内，限制块13通过转动螺杆12调整，使得限制块13与连接块11之间的距离大于限制槽15中圆形槽内底面与卡槽16顶面之间的距离，同时使限制块13与限制槽15矩形槽相对应后，插入到限制槽15内后，即可通过扭动把手带动螺杆12转动，从而带动限制块13 进行上下移动，从而改变限制块13与连接块11之间的距离，直至限制块13和连接块11分别与滤芯1的底部紧密接触之后，转动把手带动螺杆12，进而带动限制块13调整至于限制槽15的矩形槽部分相垂直之后即可完成滤芯1与转轴2之间的连接，进行拆卸滤芯1固定槽10，即可通过扭动把手带动螺杆12进而带动限制块13移动，使得限制块13与滤芯1底部之间存在一定距离之后，使限制块13与矩形槽部分开口相对应，之后即可将滤芯1上拉取下。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯(1)，其特征在于：所述滤芯(1)的底部通过固定机构连接有转轴(2)，所述转轴(2)的外壁套设有轴套(3)，所述轴套(3)的内部转轴(2)的外壁由外到内依次对称设有轴承(4)和磁极块(5)，所述磁极块(5)之间转轴(2)的外壁上套设有磁铁(6)，所述磁极块(5)内侧壁面与转轴(2)之间转轴(2)的外壁上设有若干磁流体液(7)，所述轴套(3)的一侧设有排气口(17)，所述排气口(17)与轴套(3)内下方的磁铁(6)与轴承(4)之间的部分相对应。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述固定机构包括滤芯(1)底部开设的连接槽(14)内部设有的连接头(8)，所述连接头(8)套设在转轴(2)的外壁上，所述连接头(8)的顶部开设有若干固定槽(10)，所述固定槽(10)内部设有一端与转轴(2)固定连接的固定块(9)，所述连接头(8)的外壁连接有若干连接块(11)，所述滤芯(1)底部连接槽(14)的外侧开设若干与连接块(11)相匹配的卡槽(16)，所述连接块(11)一侧设有螺杆(12)，所述螺杆(12)一端穿过连接块(11)并延伸至卡槽(16)内顶部开设的限制槽(15)内，所述限制槽(15)内部设有限制块(13)，所述限制块(13)与螺杆(12)一端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述轴套(3)的顶部设有密封圈，所述磁极块(5)与轴套(3)的内壁之间设有密封圈。

4.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述限制槽(15)截面为T字形，所述限制槽(15)由一个矩形槽和圆形槽组合形成。

5.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述螺杆(12)与连接块(11)螺纹连接，所述连接块(11)与连接头(8)固定连接，所述螺杆(12)的下端连接有把手。

6.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：若干所述卡槽(16)呈圆周等距阵列方式分布，且所述卡槽(16)与连接槽(14)相连通，所述连接块(11)与卡槽(16)相对应。

Images