CN216901324U - 一种用于光刻机净化车间的净化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：无油空压机；设置在所述无油空压机后面的第一储气罐；设置在所述第一储气罐后面，用于干燥压缩空气的冷干机；设置在所述冷干机后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机；设置在所述吸干机后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；设置在所述热交换器后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；连通所述第二储气罐和光刻机二合一管路。本实用新型能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。

Description

一种用于光刻机净化车间的净化装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于光刻机净化车间的净化装置。

背景技术

光刻机在恒温恒湿空调的净化车间里工作。净化车间有一定的净化等级，按照温恒湿空调的运行时间和触摸屏上压差显示更换低中高过滤网，以保证光刻机的使用环境洁净度。在光刻机的使用过程中发现过光刻产品因不可见微粒影响到产品效果。因为这种现象是偶然发生，所以没有必要提高净化车间的净化等级。在没必要提高净化等级的情况下，如何有效实现净化，是本领域技术人员要解决的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种用于光刻机净化车间的净化装置，能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。

实现上述目的的技术方案是：

一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：

设置在恒温恒湿机房外的无油空压机；

设置在恒温恒湿机房外，与所述无油空压机连接的第一储气罐；

设置在恒温恒湿机房外，与所述第一储气罐连接，用于干燥压缩空气的冷干机

设置在恒温恒湿机房外，与所述冷干机连接，用于去除压缩空气中水分的吸干机；

设置在恒温恒湿机房内，与所述吸干机连接，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；

设置在恒温恒湿机房内，与所述热交换器连接，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；以及

连通所述第二储气罐和光刻机的二合一管路。

优选的，所述光刻机包括：

光刻机本体；

设置在所述光刻机本体上，可移动的尼龙坦克拖链履带式电缆线槽；

激光头；

用于安装所述激光头和所述二合一管路的合并管路的磁力底座。

优选的，所述二合一管路的合并管路设置在所述尼龙坦克拖链履带式电缆线槽上；所述二合一管路设置在所述光刻机内的一端安装有可调喷嘴并设置所述激光头处。

进一步的，所述第一储气罐和所述冷干机之间连通有第一过滤设备。

进一步的，所述吸干机和所述热交换器之间连通有第二过滤设备。

进一步的，所述二合一管路的一条分支管路上安装有电磁阀；另一条分支管路上安装有手动阀门；所述二合一管路的合并管路上安装有压缩空气减压阀。

本实用新型的有益效果是：本实用新型装置在实际使用过程中，使激光头处于纯净空气的氛围中，排除了极小的灰尘影响的偶发事件，达到了预期效果。本装置原理简单，结构也不复杂，起到了小投入解决疑难问题的功效。

附图说明

图1是本实用新型用于光刻机净化车间的净化装置的整体结构示意图。

附图标记：1、无油空压机，2、第一储气罐，3、冷干机，4、吸干机，5、热交换器，6、第二储气罐，7、光刻机，8、第一过滤设备，9、第二过滤设备，10、电磁阀，11、手动阀门，12、二合一管路，13、可调喷嘴，14、压缩空气减压阀，15、触摸屏。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

参考图1，本实用新型是一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机7，包括：无油空压机1、第一储气罐2、冷干机3、吸干机4、热交换器5、第二储气罐6；

采用无油压缩1空气是因为普通的空压机工作时需要用机油进行润滑，虽然经过初中高等级的过滤，仍然会有油份子存在，作为机加工用的压缩空气没有问题，但对于光刻机是严格禁止的，因此采用无油空压机避免了油份子的影响；

设置在无油空压机1后面的第一储气罐2，连接无油空压机1；无油的压缩空气进入第一储气罐2，保持整个系统的压力不会随着用气量的变化而明显改变，底部的排污口可以清除污物和水分；

设置在第一储气罐2后面，用于干燥压缩空气的冷干机3。第一储气罐2和冷干机3之间连通有第一过滤设备8；由第一储气罐2出来的压缩空气再进一步通过第一过滤设备8进行初中高过滤，第一过滤设备8用于过滤不同等级的灰尘和排除一定水份；压缩空气进入冷干机3，通过冷干机3的冷媒与压缩空气进行热交换，压缩空气在蒸发器中被强制冷却，其中大部分水蒸气冷却而凝结成液态水排出机外，从而使压缩空气得到干燥；冷干机3带有电子排水阀可以定期排水；

设置在冷干机3后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机4，连接冷干机3；通过设置吸干机4，更好除去压缩空气中的水分，压力露点即干燥度可达到-20℃至-70℃。很明显这次除去水分更明显。吸干机4采用双塔式，一塔进行吸附，另一塔进行解吸。工作时，压缩空气交替流经A、B两个充满吸附剂的塔式容器，一塔在工作压力(高水气分压)状态下吸附时，另一塔则在接近大气压(低水气分压)状态下解吸，然后按所设定的程序切换两塔交替工作。

以上设备和管路都设置在恒温恒湿机房的外部，下述设备和管路都设置在恒温恒湿机房的内部；

设置在吸干机4后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器5；吸干机4和热交换器5之间连通有第二过滤设备9；进入到恒温恒湿机房内的压缩空气又经过第二过滤设备9过滤，目的是进一步除去灰尘杂质；在室内的压缩空气经过热交换器5的多重盘管，尽可能和室温保持一致，防止可能会有的结露而影响光刻效果；

设置在热交换器5后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐6；室内的第二储气罐6即起到保持压力稳定，又能保持压缩空气和室温一致的功效；

二合一管路12连通第二储气罐6和光刻机7；光刻机7包括：光刻机本体；设置在光刻机本体上，可移动的尼龙坦克拖链履带式电缆线槽；激光头；用于安装激光头和二合一管路12的合并管路的磁力底座；二合一管路12的合并管路设置在尼龙坦克拖链履带式电缆线槽上；

二合一管路12设置在光刻机7内的一端安装有可调喷嘴13并设置激光头处；二合一管路12的一条分支管路上安装有电磁阀10；另一条分支管路上安装有手动阀门11；二合一管路12的合并管路上安装有压缩空气减压阀14；第二储气罐6和光刻机7之间通过电磁阀10控制气路的通与断。电磁阀10的控制和光刻机7同步，即光刻机7开机气路畅通，光刻机7关机气路关闭。二合一管路12的另一条分支管路上也设置了手动阀门11，正常状态下是关闭的，也可以进行手动控制气路，避免电气故障电磁阀10不能工作，手动控制气路能够工作；经过压缩空气减压阀14得到的压缩空气是可调压的纯净空气，洁净程度远高于净化车间的净化等级，在这之后气路进入光刻机7；可调喷嘴13，可以调节喷嘴和激光头的位置角度，保证激光头区域被纯净压缩空气保护。

另外，光刻机7本身控制用的触摸屏15可以也用来控制电磁阀10的启闭，得到理想的时间效果。

工作原理：通过无油空压机1压缩空气，无油的压缩空气进入到第一储气罐2；通过第一储气罐2保持整个系统的压力并通过底部的排污口清除污物和水分；由第一储气罐2出来的压缩空气通过第一过滤设备8进行过滤；过滤后的压缩空气进入冷干机3，冷干机3对压缩空气进行干燥；干燥后的压缩空气进入吸干机4，经过吸干机4的吸附和解吸，去除压缩空气内的水分；经过吸干机4后的压缩空气通过第二过滤设备9进行过滤；过滤后的压缩空气进入热交换器5，经过热交换器5使压缩空气尽可能和室温保持一致，再储存到室内的第二储气罐6内；第二储气罐6出来后的压缩空气再经过压缩空气减压阀14得到可调压的纯净空气，再经过可调喷嘴13到达激光头处，保证激光头区域被纯净压缩空气保护。

以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (6)

1.一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机(7)，其特征在于，包括：

设置在恒温恒湿机房外的无油空压机(1)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述无油空压机(1)连接的第一储气罐(2)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述第一储气罐(2)连接，用于干燥压缩空气的冷干机(3)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述冷干机(3)连接，用于去除压缩空气中水分的吸干机(4)；

设置在恒温恒湿机房内，与所述吸干机(4)连接，用于对压缩空气进行热交换的热交换器(5)；

设置在恒温恒湿机房内，与所述热交换器(5)连接，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐(6)；以及

连通所述第二储气罐(6)和光刻机(7)的二合一管路(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述光刻机(7)包括：

光刻机本体；

设置在所述光刻机本体上，可移动的尼龙坦克拖链履带式电缆线槽；

激光头；

用于安装所述激光头和所述二合一管路(12)的合并管路的磁力底座。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述二合一管路(12)的合并管路设置在所述尼龙坦克拖链履带式电缆线槽上；所述二合一管路(12)设置在所述光刻机(7)内的一端安装有可调喷嘴(13)并设置所述激光头处。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述第一储气罐(2)和所述冷干机(3)之间连通有第一过滤设备(8)。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述吸干机(4)和所述热交换器(5)之间连通有第二过滤设备(9)。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述二合一管路(12)的一条分支管路上安装有电磁阀(10)；另一条分支管路上安装有手动阀门(11)；所述二合一管路(12)的合并管路上安装有压缩空气减压阀(14)。

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