CN216880709U - 一种碳化硅晶片表面清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于碳化硅晶体制备技术领域，尤其为一种碳化硅晶片表面清洗装置，包括壳体、水箱、输水管道、第一齿轮、挡板和喷头，所述壳体外侧安装有密封门，所述密封门外侧固定连接有与限位块可滑动连接的滑槽，所述水箱外部安装有与输水管道固定连接的加压泵，以使得加压泵通过输水管道将水箱内的水传输至输水管道一端安装的喷头喷出。该碳化硅晶片表面清洗装置，方便进行晶片清洗过程中的夹持固定操作和污水排出操作，方便进行多个晶片的同时清洗操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶体制备技术领域，具体为一种碳化硅晶片表面清洗装置。
背景技术
碳化硅作为第三代半导体的代表材料，他是碳和硅组成的稳定化合物，在热、化学、机械方面都十分的稳定，具有高击穿电场、高饱和电子速度、高导热率等优点，在碳化硅晶片的制备过程中需要对晶片表面进行清洗，这样可以减少碳化硅表面杂质对日后使用的影响，但是现存的清洗装置存在着以下的问题：
1.现存的清洗装置不方便进行晶片清洗过程中的夹持固定操作和污水排出操作，导致清洗装置使用具有局限性；
2.现存的清洗装置不方便进行多个晶片的同时清洗操作，导致使用效率低，浪费的资源也多。
针对上述问题，急需在原有碳化硅晶片表面清洗装置的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅晶片表面清洗装置，以解决上述背景技术中提出现有的碳化硅晶片表面清洗装置，不方便进行晶片清洗过程中的夹持固定操作和污水排出操作，不方便进行多个晶片的同时清洗操作的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅晶片表面清洗装置，包括壳体、水箱、输水管道、第一齿轮、挡板和喷头，所述壳体外侧安装有密封门，所述密封门外侧固定连接有与限位块可滑动连接的滑槽，所述水箱外部安装有与输水管道固定连接的加压泵，以使得加压泵通过输水管道将水箱内的水传输至输水管道一端安装的喷头喷出。
优选的，所述壳体内部安装有电机，所述电机传导端固定连接有与第一齿轮啮合连接的第二齿轮，以使得第二齿轮通过带动第一齿轮转动来带动第一齿轮下方固定连接的连接杆转动，所述连接杆末端固定连接有与挡板固定连接的放置板，所述挡板边侧设置有夹持弹簧。
优选的，所述壳体与密封门采用铰接设置，且密封门与滑槽采用相互垂直设置，并且滑槽与限位块采用穿插连接设置。
优选的，所述水箱与壳体采用嵌套连接设置，且水箱与加压泵相连通，并且加压泵与输水管道采用固定连接设置。
优选的，所述电机与第二齿轮采用相互垂直设置，且第二齿轮与第一齿轮采用齿轮啮合设置，并且第一齿轮与连接杆采用相互垂直设置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该碳化硅晶片表面清洗装置，方便进行晶片清洗过程中的夹持固定操作和污水排出操作，方便进行多个晶片的同时清洗操作；
1.在使用该碳化硅晶片表面清洗装置时，将需要进行清洗的碳化硅晶片存放皿通过夹持弹簧与挡板结合使用，夹持在其间，清洗过程中流下的污水可通过壳体两侧设置的出水管流出到外界进行排放，防止在壳体内部积压导致内部零部件锈蚀，并且在清洗结束后，可通过在滑槽内抽出限位块，解除对密封门的位置限制，转动打开密封门，对壳体内壁进行残渣清洁；
2.在使用该碳化硅晶片表面清洗装置时，打开电机，电机工作时带动第二齿轮转动，第二齿轮转动时通过啮合关系带动第一齿轮转动，第一齿轮转动时带动下方固定连接的连接杆转动，连接杆转动时可带动末端固定连接的放置板与其上方夹持的多个碳化硅晶片存放皿一起转动，在此过程中可使放置板上方夹持着的多个碳化硅晶片可均匀的被喷头冲洗上表面。
附图说明
图1为本实用新型主视结构示意图；
图2为本实用新型正视剖面结构示意图；
图3为本实用新型俯视剖面结构示意图；
图4为本实用新型图2中A处放大结构示意图。
图中：1、壳体；2、密封门；3、滑槽；4、限位块；5、水箱；6、加压泵；7、输水管道；8、喷头；9、出水管；10、放置板；11、夹持弹簧；12、挡板；13、连接杆；14、第一齿轮；15、第二齿轮；16、电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅晶片表面清洗装置，包括壳体1、密封门2、滑槽3、限位块4、水箱5、加压泵6、输水管道7、喷头8、出水管9、放置板10、夹持弹簧11、挡板12、连接杆13、第一齿轮14、第二齿轮15和电机16，壳体1外侧安装有密封门2，密封门2外侧固定连接有与限位块4可滑动连接的滑槽3，水箱5外部安装有与输水管道7固定连接的加压泵6，以使得加压泵6通过输水管道7将水箱5内的水传输至输水管道7一端安装的喷头8喷出；
进一步的，壳体1内部安装有电机16，电机16传导端固定连接有与第一齿轮14啮合连接的第二齿轮15，以使得第二齿轮15通过带动第一齿轮14转动来带动第一齿轮14下方固定连接的连接杆13转动，连接杆13末端固定连接有与挡板12固定连接的放置板10，挡板12边侧设置有夹持弹簧11，在开始清洗时，将需要进行清洗的碳化硅晶片存放皿通过夹持弹簧11与挡板12结合使用，夹持在其间，随后打开电机16，电机16工作时带动第二齿轮15转动，第二齿轮15转动时通过啮合关系带动第一齿轮14转动，第一齿轮14转动时带动下方固定连接的连接杆13转动，连接杆13转动时可带动末端固定连接的放置板10与其上方夹持的碳化硅晶片存放皿一起转动，在此过程中可使放置板10上方夹持着的碳化硅晶片可均匀的被喷头8冲洗上表面；
进一步的，壳体1与密封门2采用铰接设置，且密封门2与滑槽3采用相互垂直设置，并且滑槽3与限位块4采用穿插连接设置，可转动连接设置方便了密封门2的打开与闭合操作，相互垂直设置增加了密封门2与滑槽3间的稳定性，穿插连接设置使滑槽3与限位块4结合使用对密封门2的位置进行限制；
进一步的，水箱5与壳体1采用嵌套连接设置，且水箱5与加压泵6相连通，并且加压泵6与输水管道7采用固定连接设置，嵌套连接设置增加了整体覆盖的均匀性，且使壳体1可对水箱5进行保护，防止其泄露，胶水连接设置增加了加压泵6与输水管道7间的牢固性；
进一步的，电机16与第二齿轮15采用相互垂直设置，且第二齿轮15与第一齿轮14采用齿轮啮合设置，并且第一齿轮14与连接杆13采用相互垂直设置，相互垂直设置方便了电机16工作时可通过传导端带动第二齿轮15转动，合连接设置使第二齿轮15转动时可带动边侧紧密贴合的第一齿轮14通过啮合关系一起转动，相互垂直设置增加了第一齿轮14转动时带动连接杆13一起转动时的转动稳定性。
工作原理：在使用该碳化硅晶片表面清洗装置时，将需要进行清洗的碳化硅晶片存放皿通过夹持弹簧11与挡板12结合使用，夹持在其间，清洗过程中流下的污水可通过壳体1两侧设置的出水管9流出到外界进行排放处理，防止在壳体1内部积压导致内部零部件锈蚀，并且在清洗结束后，可通过在滑槽3内抽出限位块4，解除对密封门2的位置限制，转动打开密封门2，对壳体1内壁进行残渣清洁，打开电机16，电机16工作时带动第二齿轮15转动，第二齿轮15转动时通过啮合关系带动第一齿轮14转动，第一齿轮14转动时带动下方固定连接的连接杆13转动，连接杆13转动时可带动末端固定连接的放置板10与其上方夹持的多个碳化硅晶片存放皿一起转动，在此过程中可使放置板10上方夹持着的多个碳化硅晶片可均匀的被喷头8冲洗上表面。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
Claims (5)
1.一种碳化硅晶片表面清洗装置，包括壳体（1）、水箱（5）、输水管道（7）、第一齿轮（14）、挡板（12）和喷头（8），其特征在于：所述壳体（1）外侧安装有密封门（2），所述密封门（2）外侧固定连接有与限位块（4）可滑动连接的滑槽（3），所述水箱（5）外部安装有与输水管道（7）固定连接的加压泵（6），以使得加压泵（6）通过输水管道（7）将水箱（5）内的水传输至输水管道（7）一端安装的喷头（8）喷出。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片表面清洗装置，其特征在于：所述壳体（1）内部安装有电机（16），所述电机（16）传导端固定连接有与第一齿轮（14）啮合连接的第二齿轮（15），以使得第二齿轮（15）通过带动第一齿轮（14）转动来带动第一齿轮（14）下方固定连接的连接杆（13）转动，所述连接杆（13）末端固定连接有与挡板（12）固定连接的放置板（10），所述挡板（12）边侧设置有夹持弹簧（11）。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片表面清洗装置，其特征在于：所述壳体（1）与密封门（2）采用铰接设置，且密封门（2）与滑槽（3）采用相互垂直设置，并且滑槽（3）与限位块（4）采用穿插连接设置。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片表面清洗装置，其特征在于：所述水箱（5）与壳体（1）采用嵌套连接设置，且水箱（5）与加压泵（6）相连通，并且加压泵（6）与输水管道（7）采用固定连接设置。
5.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片表面清洗装置，其特征在于：所述电机（16）与第二齿轮（15）采用相互垂直设置，且第二齿轮（15）与第一齿轮（14）采用齿轮啮合设置，并且第一齿轮（14）与连接杆（13）采用相互垂直设置。
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