CN216871378U - 一种气相沉积炉的炉压报警系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头，真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端，信号隔离器的信号输出端设成两路，信号隔离器的信号输出端一路连接真空表，信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪，数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。所述的报警系统可以使工作人员第一时间收到沉积炉内真空异样的信号，从而第一时间采取补救措施，避免产品质量事故的发生。数字记录仪可以记录、保存每次报警时间，便于复查及故障排除；而且使用具有灵活性，数字记录仪可任意调节报警上限值，适用性更强。

Description

一种气相沉积炉的炉压报警系统

技术领域

本实用新型涉及一种气相沉积炉的炉压报警系统，属于报警系统技术领域。

背景技术

沉积炉是一种大功率加热电炉，炉膛较大，正常工作时需要依靠多台真空泵持续运转形成一定的炉内负压，同时通入一定流量的气体，在特定温度下裂解，对炉内工件进行增密，温度、气体流量和炉内压力都要控制准确。在实际生产过程中，由于真空泵故障或炉体密封胶圈破损容易导致炉膛压力值增高，这是沉积炉工作过程中极易出现的问题，从而影响工件沉积效果，造成质量事故。

常规的沉积炉配电柜中一般装配有真空表，用于显示沉积炉内的真空状况，常规的生产过程中，工组人员的巡检记录间隔为半小时，如果沉积炉内的真空状况出现异样，故障发现时间延迟，工组人员无法第一时间发现，从而导致产品质量事故。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统可以使工作人员第一时间收到沉积炉内真空异样的信号，从而第一时间采取补救措施，避免产品质量事故的发生。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头，所述真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端，所述信号隔离器的信号输出端设成两路，所述信号隔离器的信号输出端一路连接真空表，所述信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪，所述数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。

本实用新型的有益效果是：真空探头感应到沉积炉内的真空状况，将沉积炉内的压力信号转化成对应的模拟信号，信号隔离器将模拟信号等值复制，通过真空表显示沉积炉内的真空数值，另外，数字记录仪将模拟信号转换成数字信号，而且数字记录仪内设定有压力上限值，当数字记录仪收到的沉积炉内压力达到压力上限值时，数字记录仪就会接通报警回路，报警器发出报警信号，从而实现实时报警，工作人员及时发现异常，避免导致产品质量事故；另外，可以使沉积炉的运行状况具有可追随性，数字记录仪可以记录、保存每次报警时间，便于复查及故障排除；而且使用具有灵活性，每次不同的送气工艺流量，沉积炉的炉膛工作负压值不同，报警上限不同，数字记录仪可任意调节报警上限值，适用性更强。所述的报警系统操作简单，值班人员简单的培训即可掌握。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步的，所述的报警回路包括电源、中间继电器线圈、数字记录仪报警输出触点和中间继电器触点，所述中间继电器线圈、所述数字记录仪报警输出触点与所述电源构成串联回路，所述中间继电器触点、所述报警器与所述电源构成串联回路。

采用上述进一步方案的有益效果是：当数字记录仪收到的真空压力信号达到报警上限值，则数字记录仪报警输出触点就会闭合，从而中间继电器线圈得电，进而中间继电器触点闭合，报警器得电，从而发出报警信号；中间继电器的设置可以驱动大功率的报警器，从而排出车间的噪声干扰。

进一步的，所述的电源为220V交流电源，所述报警回路上设有电源总开关。

采用上述进一步方案的有益效果是：电源总开关的设置可以控制整个报警系统的通电情况。

进一步的，所述的报警回路上串联有熔断器，所述熔断器串联在所述电源的火线上。

采用上述进一步方案的有益效果是：熔断器的设置可以起到电路保护的作用。

进一步的，所述的报警回路上串联有控制开关，所述电源火线连接所述熔断器后再连接所述控制开关的一端，所述控制开关的另一端分成两路分别连接所述的中间继电器线圈和中间继电器触点。

采用上述进一步方案的有益效果是：控制开关的设置用于控制报警回路的通断，如在沉积炉停炉时，则需要通过控制开关来关闭报警回路，避免不必要的报警。

进一步的，所述控制开关为旋钮开关。

采用上述进一步方案的有益效果是：沉积炉内正常情况下是负压状态，使用旋钮开关更利于工作人员的操作。

进一步的，所述的电源为沉积炉配电箱上的电源，所述真空表连接所述电源。

采用上述进一步方案的有益效果是：报警回路和真空表共用配电箱的电源，从而使报警回路的安装更加便利，使用更加方便。

进一步的，所述的报警器为声光报警器。

采用上述进一步方案的有益效果是：声光报警器可以同时发出声和光两种报警信号，对沉积炉异常状态可以起到更好的报警效果。

附图说明

图1为实施例中所述报警系统的结构示意图；

图2为实施例中所述报警回路的电路图；

图3为实施例中所述报警系统的工作流程图；

图中，1信号隔离器，2数字记录仪，3中间继电器，4真空探头，5真空表，6报警器；

K1总开关；R熔断器；K2旋钮开关；JQ中间继电器线圈；Jc中间继电器触点；Sc数字记录仪报警输出触点；D声光报警器。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1-3所示，一种气相沉积炉的炉压报警系统，所述的报警系统包括信号隔离器1、数字记录仪2、中间继电器3和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头4，所述真空探头4的信号输出端连接信号隔离器1的信号输入端，所述信号隔离器1的信号输出端设成两路，所述信号隔离器1的信号输出端一路连接真空表5，所述信号隔离器1的信号输出端另一路连接数字记录仪2，所述数字记录仪2通过线路与报警器6连接成报警回路，所述的报警器为声光报警器D。

具体的，所述的报警回路包括电源、中间继电器线圈JQ、数字记录仪报警输出触点Sc和中间继电器触点Jc，所述中间继电器线圈JQ、所述数字记录仪报警输出触点Sc与所述电源构成串联回路，所述中间继电器触点Jc、所述报警器6与所述电源构成串联回路。

具体的，所述的电源为220V交流电源，所述报警回路上设有电源总开关K1。所述的电源为沉积炉配电箱上的电源，所述真空表5连接所述电源。

具体的，所述的报警回路上串联有熔断器R，所述熔断器R串联在所述电源的火线上。

具体的，所述的报警回路上串联有控制开关，所述电源火线连接所述熔断器R后再连接所述控制开关的一端，所述控制开关的另一端分成两路分别连接所述的中间继电器线圈JQ和中间继电器触点Jc。所述控制开关为旋钮开关K2。

使用方法：

1、合上总开关K1，整个报警系统得电；

2、在沉积炉停炉时，将控制开关旋至关闭状态，切断报警回路，避免误报警；在每次开炉前，先将控制开关旋至接通位置，此时由于各台真空泵未开启，炉内压力高于报警上限值，此时如有报警，则说明报警回路正常，可以正常开炉工作，否则需检查整个报警回路，排除故障；

3、工作过程中，当数字记录仪2收到的真空压力信号达到报警上限值，则数字记录仪2报警输出触点Sc就会闭合，从而中间继电器3线圈JQ得电，进而中间继电器3触点Jc闭合，声光报警器6D得电，从而发出报警信号，提醒工作人员第一时间采取对应措施。

沉积炉的原配电箱只装配了真空表5，用来显示炉内真空，值班人员巡检记录间隔为半小时，不能第一时间发现炉压异常，报警系统安装后，炉压变化时能实时启动声光报警，使值班人员第一时间采取对应措施，能够准确预警，运行可靠，避免发生由于炉压突变造成的质量事故。

所述的报警系统具有灵活性，每个送气工艺流量炉膛工作的负压值不同，所需的报警上限值不同，数字记录仪2可任意调节报警上限值，通用性更强。而且具有可追溯性，数字记录仪2可以记录、保存每次报警时间，便于复查及故障排除；操作简单，工作人员简单的培训即可掌握；加装了中间继电器3可以驱动大功率声光报警器D，排除了车间的噪声干扰。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路，沉积炉的炉膛内安装真空探头，所述真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端，所述信号隔离器的信号输出端设成两路，所述信号隔离器的信号输出端一路连接真空表，所述信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪，所述数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的报警回路包括电源、中间继电器线圈、数字记录仪报警输出触点和中间继电器触点，所述中间继电器线圈、所述数字记录仪报警输出触点与所述电源构成串联回路，所述中间继电器触点、所述报警器与所述电源构成串联回路。

3.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的电源为220V交流电源，所述报警回路上设有电源总开关。

4.根据权利要求3所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的报警回路上串联有熔断器，所述熔断器串联在所述电源的火线上。

5.根据权利要求4所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的报警回路上串联有控制开关，所述电源的火线连接所述熔断器后再连接所述控制开关的一端，所述控制开关的另一端分成两路分别连接所述的中间继电器线圈和中间继电器触点。

6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述控制开关为旋钮开关。

7.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的电源为沉积炉配电箱上的电源，所述真空表连接所述电源。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种气相沉积炉的炉压报警系统，其特征在于，所述的报警器为声光报警器。

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