CN216694870U - 一种高压气体加热输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于高温测试装置，特别涉及到了一种高压气体加热输送机构，其特征在于，该机构包括有上罩，所述上罩上设置有透明观察层，所述透明观察层与上罩之间形成有热风腔体；所述上罩内还设置有用于加热、输送高压气体的送风通道，用于排出高压气体的排风通道；所述送风通道和排风通道均与热风腔体接通。在该机构中，将待测产品放置在热风腔体内，通过送风通道对高压气体进行加热，并将加热后的高压气体输入至热风腔体；并通过排风通道将热风腔体内的高压气体排出，以使热风腔体内形成热风循环，可以更好地对产品进行加热；以对待测产品进行加热，方便实验室人员监测分析所测产品在高温下的立体及平面度变化状态。

Description

一种高压气体加热输送机构

技术领域

本实用新型属于高温测试装置，特别涉及到了一种高压气体加热输送机构。

背景技术

翘曲度(warpage or warp)，用于表述平面在空间中的弯曲程度，在数值上被定义为翘曲平面在高度方向上距离最远的两点间的距离。翘曲变形是评定产品质量的重要指标之一。在现有评价体系中，对于翘曲变形评价都是用翘曲量来进行的，一般用最大翘曲变形量或特定部分的翘曲变形量来评价。

而如芯片等产品，其翘曲度的测试十分重要；如对比文件1涉及一种硅片翘曲度测试装置(专利申请号为CN202020275389.1)，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括用于设置待测硅片的承片台和传感器，所述承片台滑动设于测量座的平台上，使得承片台相对测量座的位置便于调整；所述承片台正上方设有测距传感器，所述测量座的立柱上设置固定支架，所述传感器设于固定支架上；所述传感器与其配套的控制器电连接。所述承片台包括第一平台和第二平台，所述第二平台设于第一平台上，所述第二平台竖向开设若干校正孔，所述校正孔内分别设有校正件。该对比文件1所提供的装置为用于测试常态下的硅片的翘曲度，而无法测量在进行加热时，硅片实时的翘曲度的变化，无法监测分析硅片在高温下的立体及平面度变化状态。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的首要目的在于提供一种高压气体加热输送机构，该机构可对待测产品进行加热，方便实验室人员监测分析所测产品在高温下的立体及平面度变化状态。

本实用新型的另一个目的在于提供一种高压气体加热输送机构，该机构内形成有热风循环，可以更好地对待测产品进行加热。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下。

一种高压气体加热输送机构，其特征在于，该机构包括有上罩，所述上罩上设置有透明观察层，所述透明观察层与上罩之间形成有热风腔体；所述上罩内还设置有用于加热、输送高压气体的送风通道，用于排出高压气体的排风通道；所述送风通道和排风通道均与热风腔体接通。在该机构中，将待测产品放置在热风腔体内，通过送风通道对高压气体进行加热，并将加热后的高压气体输入至热风腔体；并通过排风通道将热风腔体内的高压气体排出，以使热风腔体内形成热风循环，可以更好地对产品进行加热；以对待测产品进行加热，方便实验室人员监测分析所测产品在高温下的立体及平面度变化状态。另，实验室人员的监测分析的外部设备，对着透明观察层即可进行观察。立体及平面度变化状态即为翘曲度的变化。

进一步的，所述送风通道接入至热风腔体上方，所述排风通道接入至热风腔体下方。送风通道和排风通道分别接入热风腔体上下两端的设置，使得热风循环的效果更好。

进一步的，所述上罩上设置有热风枪、热风循环件，所述热风循环件内设置有送风腔体和排风腔体，所述送风腔体和排风腔体相互隔离；所述热风枪接入至送风腔体，所述送风腔体与热风腔体上方接通，所述热风枪和送风腔体形成为所述送风通道；所述热风腔体下方设置有排风孔，所述排风腔体与热风腔体下方通过排风孔接通，且所述热风循环件上还设置有接通至排风腔体的排出口，所述排风孔、排风腔体、排出口形成为所述排风通道。高压气体输入至热风枪，通过热风枪加热后，输送至热风循环件的送风腔体内，并通过送风腔体从热风腔体上端输入；而热风腔体下方的排风孔又将其下方处的高压气体排出至排风腔体，并通过排风腔体的排出口进行排出。

进一步的，所述送风腔体包括有第一送风腔体和第二送风腔体，所述第一送风腔体一端与热风枪接通，所述第一送风腔体侧边设置有与第二送风腔体接通的送风接口，所述第二送风腔体上侧设置有接通至热风腔体的送风孔，所述热风枪、第一送风腔体、送风接口、第二送风腔体和送风孔形成为所述送风通道。高压气体输入至热风枪，通过热风枪加热后，输送至热风循环件的第一送风腔体，第一送风腔体将加热后的高压气体通过送风接口输送至第二送风腔体，第二送风腔体通过送风孔将加热后的高压气体从热风腔体上端输入。第一送风腔体和第二送风腔体的设置，使得高压气体的输送更加均匀。

进一步的，所述热风循环件侧边固定设置有回风件，所述回风件内设置有回风腔体，所述排出口与回风腔体接通，且所述回风件侧端设置有用于将高压气体排出的排风管，所述排风孔、排风腔体、排出口、回风腔体、排风管形成为所述排风通道。热风腔体下方的排风孔又将其下方处的高压气体排出至排风腔体，并通过排风腔体的排出口进行排出至回风腔体，回风腔体通过排风管将高压气体排出至外界。

进一步的，且热风循环件内固定设置有用于分隔出排风腔体和送风腔体的分隔件；所述热风循环件截面整体呈框形，所述分隔件截面整体呈环形，且分隔件上侧固定有第一分隔板，第一分隔板上端固定在热风循环件的上方的内侧面上，分隔件下侧固定设置有第二分隔板，且第二分隔板向侧边弯折延伸固定在热风循环件的侧边的内侧面上；所述第一送风腔体形成与分隔件内，且第二送风腔体和排风腔体由分隔件、第一分隔板和第二分隔板分隔形成。上述热风循环件的具体的结构设置，使得第一送风腔体将加热后的高压气体通过送风接口输送至第二送风腔体，第二送风腔体通过送风孔将加热后的高压气体从热风腔体上端输入时，出气更加均匀。

进一步的，所述透明观察层固定设置在上罩下侧，且透明观察层上设置有用于承载待测产品的放置区。

进一步的，所述上罩上侧活动设置有上盖，所述上盖与热风腔体位置对应，上盖在上罩上活动以封闭或打开热风腔体上侧。所述上盖与热风腔体之间设置有保温密封层，该保温密封层为保温棉构成。

进一步的，该机构还包括有前保温板和后保温板，所述热风枪和热风循环件数量均为两个，两个热风循环件分别位于上盖左右两侧，所述前保温板和后保温板分别设置在上盖前后两侧，且所述前保温板两端分别与两个热风循环件前端固定，所述后保温板两端分别与两个热风循环件后端固定，所述两个热风循环件、前保温板和后保温板之间形成为所述热风腔体；上盖和透明观察层分别设置在热风腔体上下两侧。前保温板和后保温板均包括有保温棉构成的保温层。

进一步的，所述透明观察层由上至下包括有隔热玻璃、载物玻璃和定位玻璃，所述隔热玻璃固定设置在上罩下侧以封闭热风腔体下侧，所述载物玻璃固定设置在隔热玻璃上，所述定位玻璃设置在载物玻璃上，所述放置区形成在载物玻璃和定位玻璃之间。隔热玻璃为耐高温的光学玻璃构成。载物玻璃和定位玻璃均为光学玻璃构成。

进一步的，所述上罩下侧固定设置有磁吸层，且上罩下侧设置有闭合感应器。磁吸层可以便于上罩与外部结构的固定。

本实用新型的有益效果在于，在该机构中，将待测产品放置在热风腔体内，通过送风通道对高压气体进行加热，并将加热后的高压气体输入至热风腔体；并通过排风通道将热风腔体内的高压气体排出，以使热风腔体内形成热风循环，可以更好地对产品进行加热；以对待测产品进行加热，方便实验室人员监测分析所测产品在高温下的立体及平面度变化状态。

附图说明

图1是本实用新型的爆炸图。

图2是本实用新型的剖视图。

图3是图2的A处局部放大图。

图4是两个热风循环件、前保温板和后保温板、上盖的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参见图1-4，一种高压气体加热输送机构1，其特征在于，该机构包括有上罩11，所述上罩11上设置有透明观察层12，所述透明观察层12与上罩11之间形成有热风腔体13；所述上罩13内还设置有用于加热、输送高压气体的送风通道，用于排出高压气体的排风通道；所述送风通道和排风通道均与热风腔体13接通。

进一步的，所述送风通道接入至热风腔体13上方，所述排风通道接入至热风腔体13下方。

进一步的，所述上罩上设置有热风枪14、热风循环件15，所述热风循环件15内设置有送风腔体和排风腔体151，所述送风腔体和排风腔体151相互隔离；所述热风枪14接入至送风腔体，所述送风腔体与热风腔体13上方接通，所述热风枪14和送风腔体形成为所述送风通道；所述热风腔体13下方设置有排风孔131，所述排风腔体151与热风腔体13下方通过排风孔131接通，且所述热风循环件15上还设置有接通至排风腔体151的排出口152，所述排风孔131、排风腔体151、排出口152形成为所述排风通道。热风枪14外接高压气体的接口为输入口141，由输入口141输入高压气体进入热风枪14加热。

进一步的，所述送风腔体包括有第一送风腔体153和第二送风腔体154，所述第一送风腔体153一端与热风枪14接通，所述第一送风腔体153侧边设置有与第二送风腔体154接通的送风接口155，所述第二送风腔体154上侧设置有接通至热风腔体13的送风孔132，所述热风枪14、第一送风腔体153、送风接口155、第二送风腔体154和送风孔132形成为所述送风通道。

进一步的，所述热风循环件15侧边固定设置有回风件16，所述回风件16内设置有回风腔体161，所述排出口152与回风腔体161接通，且所述回风件16侧端设置有用于将高压气体排出的排风管162，所述排风孔131、排风腔体151、排出口152、回风腔体161、排风管162形成为所述排风通道。

进一步的，且热风循环件15内固定设置有用于分隔出排风腔体151和送风腔体的分隔件156；所述热风循环件15截面整体呈框形，所述分隔件156截面整体呈环形，且分隔件156上侧固定有第一分隔板157，第一分隔板157上端固定在热风循环件15的上方的内侧面上，分隔件156下侧固定设置有第二分隔板158，且第二分隔板158向侧边弯折延伸固定在热风循环件15的侧边的内侧面上，即整体呈“L”形；所述第一送风腔体153形成与分隔件155内，且第二送风腔体154和排风腔体151由分隔件156、第一分隔板157和第二分隔板158分隔形成。

进一步的，所述透明观察层12固定设置在上罩11下侧，且透明观察层12上设置有用于承载待测产品的放置区。

进一步的，所述上罩11上侧活动设置有上盖111，所述上盖111与热风腔体13位置对应，上盖111在上罩11上活动以封闭或打开热风腔体13上侧。所述上盖111与热风腔体13之间设置有保温密封层112，该保温密封层112为保温棉构成。

进一步的，该机构1还包括有前保温板17和后保温板18，所述热风枪14和热风循环件15数量均为两个，两个热风枪分别与两个热风循环件连接，两个热风循环件15分别位于上罩11左右两侧，所述前保温板17和后保温板18分别设置在上罩11前后两侧，且所述前保温板17两端分别与两个热风循环件15前端固定，所述后保温板18两端分别与两个热风循环件15后端固定，所述两个热风循环件15、前保温板17和后保温板18之间形成为所述热风腔体13；上盖111和透明观察层12分别设置在热风腔体13上下两侧。前保温板和后保温板均包括有保温棉构成的保温层。具体的，回风件16数量为两个，有两个排风管162，两个排风管162另一端汇合为集合排气管163后共同接入外界。

进一步的，所述透明观察层12由上至下包括有隔热玻璃121、载物玻璃122和定位玻璃123，所述隔热玻璃121固定设置在上罩11下侧以封闭热风腔体13下侧，所述载物玻璃122固定设置在隔热玻璃121上，所述定位玻璃123设置在载物玻璃122上，所述放置区形成在载物玻璃122和定位玻璃123之间。

进一步的，所述上罩11下侧固定设置有磁吸层，磁吸层优选为磁铁，且上罩11下侧设置有闭合感应器。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高压气体加热输送机构，其特征在于，该机构包括有上罩，所述上罩上设置有透明观察层，所述透明观察层与上罩之间形成有热风腔体；所述上罩内还设置有用于加热、输送高压气体的送风通道，用于排出高压气体的排风通道；所述送风通道和排风通道均与热风腔体接通。

2.根据权利要求1所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述送风通道接入至热风腔体上方，所述排风通道接入至热风腔体下方。

3.根据权利要求2所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述上罩上设置有热风枪、热风循环件，所述热风循环件内设置有送风腔体和排风腔体，所述送风腔体和排风腔体相互隔离；所述热风枪接入至送风腔体，所述送风腔体与热风腔体上方接通，所述热风枪和送风腔体形成为所述送风通道；所述热风腔体下方设置有排风孔，所述排风腔体与热风腔体下方通过排风孔接通，且所述热风循环件上还设置有接通至排风腔体的排出口，所述排风孔、排风腔体、排出口形成为所述排风通道。

4.根据权利要求3所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述送风腔体包括有第一送风腔体和第二送风腔体，所述第一送风腔体一端与热风枪接通，所述第一送风腔体侧边设置有与第二送风腔体接通的送风接口，所述第二送风腔体上侧设置有接通至热风腔体的送风孔，所述热风枪、第一送风腔体、送风接口、第二送风腔体和送风孔形成为所述送风通道。

5.根据权利要求3所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述热风循环件侧边固定设置有回风件，所述回风件内设置有回风腔体，所述排出口与回风腔体接通，且所述回风件侧端设置有用于将高压气体排出的排风管，所述排风孔、排风腔体、排出口、回风腔体、排风管形成为所述排风通道。

6.根据权利要求3所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述透明观察层固定设置在上罩下侧，且透明观察层上设置有用于承载待测产品的放置区。

7.根据权利要求6所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述上罩上侧活动设置有上盖，所述上盖与热风腔体位置对应，上盖在上罩上活动以封闭或打开热风腔体上侧。

8.根据权利要求7所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，该机构还包括有前保温板和后保温板，所述热风枪和热风循环件数量均为两个，所述前保温板两端分别与两个热风循环件前端固定，所述后保温板两端分别与两个热风循环件后端固定，所述两个热风循环件、前保温板和后保温板之间形成为所述热风腔体；上盖和透明观察层分别设置在热风腔体上下两侧。

9.根据权利要求8所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述透明观察层由上至下包括有隔热玻璃、载物玻璃和定位玻璃，所述隔热玻璃固定设置在上罩下侧以封闭热风腔体下侧，所述载物玻璃固定设置在隔热玻璃上，所述定位玻璃设置在载物玻璃上，所述放置区形成在载物玻璃和定位玻璃之间。

10.根据权利要求6所述的一种高压气体加热输送机构，其特征在于，所述上罩下侧固定设置有磁吸层，且上罩下侧设置有闭合感应器。

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