CN216679025U - 一种硅料粒径筛分装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，尤其涉及一种硅料粒径筛分装置，其包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构；支撑架通过调节构件与底座连接；调节构件插装在底座上；调节构件相对底座的高度能够调节；调节构件通过减震弹簧与支撑架连接；支撑架为封闭结构；支撑架的上端设置有进料通道；第一筛分组件能够拆卸地设在支撑架上；第二筛分组件能够拆卸地设置在支撑架上；第三筛分组件能够拆卸地设置在支撑架上；第一筛分组件、第二筛分组件和第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；振动机构固定地设置在支撑架的底部。采用本实用新型能够减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染，提升硅料品质。

Description

一种硅料粒径筛分装置

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，尤其涉及一种硅料粒径筛分装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电和供热等。多晶硅是极为优良的半导体材料，其主要用于生产集成电路、分立器件和太阳能电池片，但若存在微量的杂质就会影响其导电性。生产多晶硅和单晶硅目前多使用直拉法，直拉法生产中会采用不同粒度的原料硅，且避免硅料中含有金属。

但是，现有的单晶硅和多晶硅硅料振动筛分装置的筛板为金属材料，在筛分硅料时，硅料会在筛板上摩擦，摩擦产生的金属粉屑对硅料造成污染，从而影响后期单晶硅和多晶硅的导电性。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种硅料粒径筛分装置，主要目的在于减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染，提升硅料品质。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种硅料粒径筛分装置，包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构；

所述支撑架通过调节构件与所述底座连接；所述调节构件插装在所述底座上；所述调节构件相对所述底座的高度能够调节；所述调节构件通过减震弹簧与所述支撑架连接；

所述支撑架为封闭结构；所述支撑架的上端设置有进料通道，用于加入待筛分硅料；

所述支撑架的上端设置有负压除尘口；

所述第一筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第一筛分组件包括：第一框体和第一筛体；

所述第一框体为矩形环状结构；

所述第一筛体固定地设置在所述第一框体上；所述第一筛体与所述第一框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述进料通道进入的硅料；

所述第一筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第一筛体上分布有网孔一；

所述第一筛体与水平面具有预定夹角一；

所述支撑架上设置有物料出口一；所述物料出口一位于所述第一筛分组件较低的一端端部；

所述第二筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第二筛分组件包括：第二框体和第二筛体；

所述第二框体为矩形环状结构；

所述第二筛体固定地设置在所述第二框体上；所述第二筛体与所述第二框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述第一筛体下落的硅料；

所述第二筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第二筛体上分布有网孔二；所述网孔二的直径较所述网孔一小；

所述第二筛体与水平面具有预定夹角二；

所述支撑架上设置有物料出口二；所述物料出口二位于所述第二筛分组件较低的一端端部；

所述第三筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第三筛分组件包括：第三框体和第三筛体；

所述第三框体为矩形环状结构；

所述第三筛体固定地设置在所述第三框体上；所述第三筛体与所述第三框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述第二筛体下落的硅料；

所述第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第三筛体上分布有网孔三；所述网孔三的直径较所述网孔二小；

所述第三筛体与水平面具有预定夹角三；

所述支撑架上设置有物料出口三；所述物料出口三位于所述第三筛分组件较低的一端端部；

所述振动机构固定地设置在所述支撑架的底部。

进一步地，所述支撑架上固定地设置有滑轨，用于支撑所述第一框体、所述第二框体和所述第三框体；

所述滑轨的延伸方向与所述振动机构的振动方向垂直；所述滑轨为多个；

所述第一框体的两侧固定地设置有滑槽一；所述滑槽一能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件一，以限定所述第一框体相对所述支撑架的位置。

进一步地，所述第二框体的两侧固定地设置有滑槽二；所述滑槽二能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件二，以限定所述第二框体相对所述支撑架的位置。

进一步地，所述第三框体的两侧固定地设置有滑槽三；所述滑槽三能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件三，以限定所述第三框体相对所述支撑架的位置。

进一步地，所述负压除尘口与抽风机连通。

进一步地，所述聚氨酯层的厚度小于3mm。

进一步地，所述预定夹角一为3°～10°。

进一步地，所述预定夹角二为3°～10°。

进一步地，所述预定夹角三为3°～10°。

进一步地，所述预定夹角一、所述预定夹角二和所述预定夹角三的大小相同。

借由上述技术方案，本实用新型硅料粒径筛分装置至少具有下列优点：

能够减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染，提升硅料品质。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种硅料粒径筛分装置的主视示意图；

图2为图1的局部放大示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种硅料粒径筛分装置的侧视示意图。

图中所示：

1为底座，2为支撑架，2-1为进料通道，2-2为负压除尘口，2-3为物料出口一，2-4为物料出口二，2-5为物料出口三，2-6为滑轨，3为第一筛分组件，3-1 为第一框体，3-11为滑槽一，3-2为第一筛体，4为第二筛分组件，4-1为第二框体，4-2为第二筛体，5为第三筛分组件，5-1为第三框体，5-2为第三筛体，6 为振动机构，7为调节构件。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1至图3所示，本实用新型的一个实施例提出的一种硅料粒径筛分装置，包括:底座1、支撑架2、第一筛分组件3、第二筛分组件4、第三筛分组件5和振动机构6；底座1优选为铸铁材质，可以固定在地面上；当然，也可以为其它材质。支撑架2通过调节构件7与底座1连接；调节构件7优选为四个；四个条件构件分别设置在支撑架2的四个角，以对支撑架2的角度进行调节。调节构件7 插装在底座1上；调节构件7相对底座1的高度能够调节，以方便调节第一筛分组件3、第二筛分组件4和第三筛分组件5的倾斜角度。

调节构件7通过减震弹簧与支撑架2连接，以减轻支撑架2的振动对底座1 的影响。支撑架2为封闭结构；可以在支撑架2的外侧设置侧板，使支撑架2形成封闭箱体结构。

支撑架2的上端设置有进料通道2-1，用于加入待筛分硅料；优选进料通道 2-1设置在第一筛分组件3较高位置的上方。支撑架2的上端设置有负压除尘口 2-2；优选负压除尘口2-2设置在第一筛分组件3的中部的上方。优选，负压除尘口2-2与抽风机连通，以对筛分过程中的粉末硅料进行抽吸分离，减少粉末硅料混合在筛分的块状硅料中。

第一筛分组件3能够拆卸地设置在支撑架2上；本实施例优选，支撑架2上固定地设置有滑轨2-6，用于支撑第一框体3-1、第二框体4-1和第三框体5-1；滑轨2-6的延伸方向与振动机构6的振动方向垂直，以减少振动对第一筛分组件3 的影响。滑轨2-6为多个；多个滑轨2-6分布在支撑架2上对第一框体3-1、第二框体4-1和第三框体5-1形成稳定支撑。

第一筛分组件3包括：第一框体3-1和第一筛体3-2；第一框体3-1为矩形环状结构；第一筛体3-2固定地设置在第一框体3-1上；第一筛体3-2与第一框体 3-1或支撑架2的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分进料通道2-1进入的硅料。本实施例优选，第一框体3-1的两侧固定地设置有滑槽一3-11；滑槽一3-11能够设置在滑轨2-6上，相对滑轨2-6滑动；支撑架2上设置有限位构件一，以限定第一框体3-1相对支撑架2的位置。优选限位构件一为插销结构，以方便操作，实现快速对第一框体3-1进行限位，可以实现对第一筛分组件3的快速安装和拆卸。

第一筛分组件3的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；第一筛体3-2上分布有网孔一；网孔一为通孔，网孔一穿过聚氨酯层；优选网孔一为圆孔。网孔一为多个；多个网孔一阵列设置或交错排列。第一筛体3-2与水平面具有预定夹角一；本实施例优选，预定夹角一为3°～10°，以使第一筛体3-2稍微倾斜，有利于硅料向下流动。支撑架2上设置有物料出口一2-3；物料出口一2-3位于第一筛分组件3 较低的一端端部，以使未通过网孔一的硅料流出。

第二筛分组件4能够拆卸地设置在支撑架2上；第二筛分组件4包括：第二框体4-1和第二筛体4-2；第二框体4-1为矩形环状结构；第二筛体4-2固定地设置在第二框体4-1上；第二筛体4-2与第二框体4-1或支撑架2的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分第一筛体3-2下落的硅料；本实施例优选，第二框体4-1的两侧固定地设置有滑槽二；滑槽二能够设置在滑轨2-6上，相对滑轨2-6滑动；支撑架2上设置有限位构件二，以限定第二框体4-1相对支撑架2 的位置，可以实现对第二筛分组件4的快速安装和拆卸。第二筛分组件4的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；第二筛体4-2上分布有网孔二；网孔二的直径较网孔一小，以对硅料进一步筛分。网孔二为通孔，网孔二穿过聚氨酯层；优选网孔二为圆孔。网孔二为多个；多个网孔二阵列设置或交错排列。

第二筛体4-2与水平面具有预定夹角二；本实施例优选，预定夹角二为3°～ 10°，以使第二筛体4-2稍微倾斜，有利于硅料流动。当然，第二筛体4-2与第一筛体3-2的倾斜方向可以相同也可以不同。优选第二筛体4-2与第一筛体3-2 的倾斜方向相同，有利于加工。

支撑架2上设置有物料出口二2-4；物料出口二2-4位于第二筛分组件4较低的一端端部，以使未通过网孔二的硅料流出。

第三筛分组件5能够拆卸地设置在支撑架2上；第三筛分组件5包括：第三框体5-1和第三筛体5-2；第三框体5-1为矩形环状结构；第三筛体5-2固定地设置在第三框体5-1上；第三筛体5-2与第三框体5-1或支撑架2的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分第二筛体4-2下落的硅料；本实施例优选，第三框体5-1的两侧固定地设置有滑槽三；滑槽三能够设置在滑轨2-6上，相对滑轨2-6滑动；支撑架2上设置有限位构件三，以限定第三框体5-1相对支撑架2 的位置，以实现对第三筛分组件5的快速安装和拆卸，方便维护和更换。

第三筛分组件5的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；第三筛体5-2上分布有网孔三；网孔三的直径较网孔二小，以对通过网孔二的硅料进一步筛分。网孔三为通孔，网孔三穿过聚氨酯层；优选网孔三为圆孔。网孔三为多个；多个网孔三阵列设置或交错排列。

第三筛体5-2与水平面具有预定夹角三；本实施例优选，预定夹角三为3°～ 10°，以使第三筛体5-2向下倾斜，有利于第三筛体5-2上的硅料向下流动。

支撑架2上设置有物料出口三2-5；物料出口三2-5位于第三筛分组件5较低的一端端部，以使未通过网孔三的硅料流出。

本实施例优选，预定夹角一、预定夹角二和预定夹角三的大小相同，以便于对第一筛体3-2、第二筛体4-2和第三筛体5-2进行设置。

振动机构6固定地设置在支撑架2的底部，以通过支撑架2带动第一筛体3-2、第二筛体4-2和第三筛体5-2振动，促进硅料在第一筛体3-2、第二筛体4-2和第三筛体5-2上流动，以对硅料进行筛分。

本实用新型的一个实施例提出的一种硅料粒径筛分装置，能够减少在硅料筛分过程中金属对硅料的污染，提升硅料品质。

作为上述实施例的优选，聚氨酯层的厚度小于3mm，以利于硅料通过网孔一、网孔二和网孔三，减少对硅料的阻力。

进一步说明，虽然术语第一、第二等在本文中可以用于描述各种元件，但是这些术语不应该限制这些元件。这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且，类似地，第二元件可以被称为第一元件，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。这没有脱离示例性实施例的范围。类似地，元件一、元件二也不代表元件的顺序，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。如本文所用，术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意结合和所有结合。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种硅料粒径筛分装置，其特征在于，包括:底座、支撑架、第一筛分组件、第二筛分组件、第三筛分组件和振动机构；

所述支撑架通过调节构件与所述底座连接；所述调节构件插装在所述底座上；所述调节构件相对所述底座的高度能够调节；所述调节构件通过减震弹簧与所述支撑架连接；

所述支撑架为封闭结构；所述支撑架的上端设置有进料通道，用于加入待筛分硅料；

所述支撑架的上端设置有负压除尘口；

所述第一筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第一筛分组件包括：第一框体和第一筛体；

所述第一框体为矩形环状结构；

所述第一筛体固定地设置在所述第一框体上；所述第一筛体与所述第一框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述进料通道进入的硅料；

所述第一筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第一筛体上分布有网孔一；

所述第一筛体与水平面具有预定夹角一；

所述支撑架上设置有物料出口一；所述物料出口一位于所述第一筛分组件较低的一端端部；

所述第二筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第二筛分组件包括：第二框体和第二筛体；

所述第二框体为矩形环状结构；

所述第二筛体固定地设置在所述第二框体上；所述第二筛体与所述第二框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述第一筛体下落的硅料；

所述第二筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第二筛体上分布有网孔二；所述网孔二的直径较所述网孔一小；

所述第二筛体与水平面具有预定夹角二；

所述支撑架上设置有物料出口二；所述物料出口二位于所述第二筛分组件较低的一端端部；

所述第三筛分组件能够拆卸地设置在所述支撑架上；

所述第三筛分组件包括：第三框体和第三筛体；

所述第三框体为矩形环状结构；

所述第三筛体固定地设置在所述第三框体上；所述第三筛体与所述第三框体或所述支撑架的侧壁被构造成上端开口的容器，用于接收和筛分所述第二筛体下落的硅料；

所述第三筛分组件的内侧和外侧浇筑有聚氨酯层；

所述第三筛体上分布有网孔三；所述网孔三的直径较所述网孔二小；

所述第三筛体与水平面具有预定夹角三；

所述支撑架上设置有物料出口三；所述物料出口三位于所述第三筛分组件较低的一端端部；

所述振动机构固定地设置在所述支撑架的底部。

2.根据权利要求1所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述支撑架上固定地设置有滑轨，用于支撑所述第一框体、所述第二框体和所述第三框体；

所述滑轨的延伸方向与所述振动机构的振动方向垂直；所述滑轨为多个；

所述第一框体的两侧固定地设置有滑槽一；所述滑槽一能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件一，以限定所述第一框体相对所述支撑架的位置。

3.根据权利要求2所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述第二框体的两侧固定地设置有滑槽二；所述滑槽二能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件二，以限定所述第二框体相对所述支撑架的位置。

4.根据权利要求3所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述第三框体的两侧固定地设置有滑槽三；所述滑槽三能够设置在所述滑轨上，相对所述滑轨滑动；所述支撑架上设置有限位构件三，以限定所述第三框体相对所述支撑架的位置。

5.根据权利要求1所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述负压除尘口与抽风机连通。

6.根据权利要求1所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述聚氨酯层的厚度小于3mm。

7.根据权利要求1所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述预定夹角一为3°～10°。

8.根据权利要求7所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述预定夹角二为3°～10°。

9.根据权利要求8所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述预定夹角三为3°～10°。

10.根据权利要求9所述的硅料粒径筛分装置，其特征在于，

所述预定夹角一、所述预定夹角二和所述预定夹角三的大小相同。

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