CN216639634U - 一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括：支架；支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间。本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置。
背景技术
磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。
在进行平板太阳能的集热器吸热体磁控溅射镀膜生产过程中，需用到一种用于传输吸热体镀膜的回流传输装置，其中为了避免在传输过程中产生颠簸，或装置整体位移，会使用调整装置对回流传输装置进行调整。
而现在位置偏移的回流传输装置进行位置调整时，由于传输固定块、调整块之间时通过多个螺栓固定的，在调整时需要大量拆卸螺栓，浪费时间，降低调整效率。
因此，有必要提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，解决了现有的调整装置上的传送固定块、调整块通过多个螺栓固定，调整时拆卸耗费较多时间的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，包括：支架；
支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；
第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；
卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间，所述卡接组件的顶端贯穿所述第一固定板和所述第二固定板且延伸至所述第二固定板的顶部；
脚座，所述脚座设置于所述第二固定板的顶部的中间，所述脚座中间设置有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端螺纹连接有传送装置。
通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。
优选的，所述第二固定板顶部的四周均固定连接有条形槽，所述第二固定板的顶部且位于所述条形槽内表面的左右两侧均开设有卡槽。
优选的，所述卡接组件包括工字板，所述工字板顶部的四周均转动连接有卡杆，所述卡杆的顶端贯穿所述第一固定板且延伸至所述条形槽的内部，所述卡杆两侧的顶部均固定连接有卡块，所述卡块的一端延伸至所述卡槽的内部。
优选的，所述卡杆表面的底部固定连接有拨块，所述卡杆的表面且位于所述拨块的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板和所述第一固定板之间且位于所述卡杆的表面固定连接有弹簧。
优选的，所述脚座顶部的前后两侧均设置有第一螺栓，所述第一螺栓的底端延伸至所述第二固定板的内部。
优选的，所述支撑杆与支架和第一固定板之间的距离适合操控卡接组件。
优选的，所述支架顶部的一侧固定连接有第三固定板，所述第三固定板正面的顶部开设有滑槽，所述第三固定板的正面且位于所述滑槽的两侧均开设有螺纹孔，所述滑槽的内部滑动连接有清洁组件。
优选的，所述清洁组件包括连接件，所述连接件的一端通过所述滑槽且延伸至所述第三固定板的背面，所述连接件的一端固定连接有吸尘装置，所述吸尘装置位于所述传送装置的顶部，所述连接件正面的左右两侧均设置有第二螺栓，所述第二螺栓的一端延伸至所述螺纹孔的内部。
通过在支架一侧设置第三固定板和清洁组件等，在传送装置对镀膜结束后的集热器吸热板进行传送时，吸尘装置可对其表面进行吸尘，避免静电等情况造成造成集热器吸热板表面吸尘，影响集热器吸热板的品相。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，通过在第二固定板的条形槽中开设卡槽，第一固定板底部的卡接组件可卡在卡槽中，从而对第二固定板进行固定，需要调整时，也只需将工字板向上抬升，然后便可沿着条形槽一次性调整第一固定板和第二固定板的位置，位置调整方便，节省时间。
附图说明
图1为本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的第一实施例的结构示意图；
图2为图1所示的第一固定板的结构示意图；
图3为图2所示的第一固定板的结构仰视图；
图4为本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的第二实施例的结构示意图。
图中标号：1、支架，2、支撑杆，3、第一固定板，4、第二固定板，
5、卡接组件，51、工字板，52、卡杆，53、卡块，54、拨块，55、支撑板，56、弹簧，
6、脚座，7、螺纹杆，8、传送装置，9、条形槽，10、卡槽，11、第一螺栓，
12、第三固定板，13、滑槽，14、螺纹孔，
15、清洁组件，151、连接件，152、吸尘装置，153、第二螺栓。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
第一实施例
请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的第一固定板的结构示意图；图3为图2所示的第一固定板的结构仰视图。用于磁控溅射设备回流传输的调整装置包括：支架1；
支撑杆2，所述支撑杆2固定连接于所述支架1的顶部的前后两侧，所述支撑杆2的顶端固定连接有第一固定板3；
第二固定板4，所述第二固定板4设置于所述第一固定板3的顶部的中间；
卡接组件5，所述卡接组件5固定连接于所述第一固定板3的底部的中间，所述卡接组件5的顶端贯穿所述第一固定板3和所述第二固定板4且延伸至所述第二固定板4的顶部；
脚座6，所述脚座6设置于所述第二固定板4的顶部的中间，所述脚座6中间设置有螺纹杆7，所述螺纹杆7的顶端螺纹连接有传送装置8。
卡接组件5连接第一固定板3和第二固定板4，在固定时，方便两者位置之间的调整，同时也不会影响将第二固定板4整体取下。
所述第二固定板4顶部的四周均固定连接有条形槽9，所述第二固定板4的顶部且位于所述条形槽9内表面的左右两侧均开设有卡槽10。
所述卡接组件5包括工字板51，所述工字板51顶部的四周均转动连接有卡杆52，所述卡杆52的顶端贯穿所述第一固定板3且延伸至所述条形槽9的内部，所述卡杆52两侧的顶部均固定连接有卡块53，所述卡块53的一端延伸至所述卡槽10的内部。
所述卡杆52表面的底部固定连接有拨块54，所述卡杆52的表面且位于所述拨块54的顶部固定连接有支撑板55，所述支撑板55和所述第一固定板3之间且位于所述卡杆52的表面固定连接有弹簧56。
工字板51与四根卡杆52转动连接在一起，卡块53与卡槽10大小适配，卡块53卡在卡槽10中，便可限制第一固定板3和第二固定板4之间的位置关系，拨块54方便在转动卡杆52，弹簧56是压缩弹簧，具有良好的弹性，套设在卡杆52表面。
所述脚座6顶部的前后两侧均设置有第一螺栓11，所述第一螺栓11的底端延伸至所述第二固定板4的内部。
所述支撑杆2与支架1和第一固定板3之间的距离适合操控卡接组件5。
本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的工作原理如下：
进行位置调整时，首先从支撑杆2向将工字板51向上挤压，时卡杆52和卡块53移动到第二固定板4上方。
随后便可沿着条形槽9移动第二固定板4的位置，从而对传送装置8上的导轨等进行位置调整。
位置调整结束后，卡块53与一对卡槽10对齐，松开工字板51，弹簧56便可将其向下压动，使卡块53卡在卡槽10中。
同时在需要将第二固定板4拆卸下来时，也只需再讲工字板51上推、卡块53离开卡槽10后，通过拨块54转动卡杆52，使卡块53的位置与卡槽10错开，此时直接向上便可将第二固定板4取下。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置具有如下有益效果：
通过在第二固定板4的条形槽9中开设卡槽10，第一固定板3底部的卡接组件5可卡在卡槽10中，从而对第二固定板4进行固定，需要调整时，也只需将工字板51向上抬升，然后便可沿着条形槽9一次性调整第一固定板3和第二固定板4的位置，位置调整方便，节省时间。
第二实施例
请结合参阅图4，基于本申请的第一实施例提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，本申请的第二实施例提出另一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。
具体的，本申请的第二实施例提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的不同之处在于，所述支架1顶部的一侧固定连接有第三固定板12，所述第三固定板12正面的顶部开设有滑槽13，所述第三固定板12的正面且位于所述滑槽13的两侧均开设有螺纹孔14，所述滑槽13的内部滑动连接有清洁组件15。
第三固定板12与支架1固定在一起，清洁组件15可在滑槽13内部滑动，方便根据需要调整清洁组件15距离支架1的高度。
所述清洁组件15包括连接件151，所述连接件151的一端通过所述滑槽13且延伸至所述第三固定板12的背面，所述连接件151的一端固定连接有吸尘装置152，所述吸尘装置152位于所述传送装置8的顶部，所述连接件151正面的左右两侧均设置有第二螺栓153，所述第二螺栓153的一端延伸至所述螺纹孔14的内部。
连接件151的中间处于滑槽13大小适配，一端宽于滑槽13，通过第二螺栓153可与第三固定板12安装在一起，吸尘装置152由外部电源供电，可将集热器吸热板上的灰尘吸走。
本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置的工作原理如下：
集热器吸热板在镀膜结束后，传送装置8将其向外输送，在输送的过程中，经过吸尘装置152底部时，吸尘装置152工作，将粘附在集热器吸热板上的灰尘吸入内部，并对灰尘进行集中收集。
同时在吸尘装置152使用的过程中，在需要时，便可将第二螺栓153从螺纹孔14中转动出来，然后沿着滑槽13向上或向下调整清洁组件15的位置，在位置调整合适后，便可再次使用第二螺栓153将清洁组件15固定在合适位置的螺纹孔14中。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置具有如下有益效果：
通过在支架1一侧设置第三固定板12和清洁组件15等，在传送装置8对镀膜结束后的集热器吸热板进行传送时，吸尘装置152可对其表面进行吸尘，避免静电等情况造成造成集热器吸热板表面吸尘，影响集热器吸热板的品相。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (8)
1.一种用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，包括：
支架；
支撑杆，所述支撑杆固定连接于所述支架的顶部的前后两侧，所述支撑杆的顶端固定连接有第一固定板；
第二固定板，所述第二固定板设置于所述第一固定板的顶部的中间；
卡接组件，所述卡接组件固定连接于所述第一固定板的底部的中间，所述卡接组件的顶端贯穿所述第一固定板和所述第二固定板且延伸至所述第二固定板的顶部；
脚座，所述脚座设置于所述第二固定板的顶部的中间，所述脚座中间设置有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端螺纹连接有传送装置。
2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述第二固定板顶部的四周均固定连接有条形槽，所述第二固定板的顶部且位于所述条形槽内表面的左右两侧均开设有卡槽。
3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述卡接组件包括工字板，所述工字板顶部的四周均转动连接有卡杆，所述卡杆的顶端贯穿所述第一固定板且延伸至所述条形槽的内部，所述卡杆两侧的顶部均固定连接有卡块，所述卡块的一端延伸至所述卡槽的内部。
4.根据权利要求3所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述卡杆表面的底部固定连接有拨块，所述卡杆的表面且位于所述拨块的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板和所述第一固定板之间且位于所述卡杆的表面固定连接有弹簧。
5.根据权利要求1所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述脚座顶部的前后两侧均设置有第一螺栓，所述第一螺栓的底端延伸至所述第二固定板的内部。
6.根据权利要求1所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述支撑杆与支架和第一固定板之间的距离适合操控卡接组件。
7.根据权利要求1所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述支架顶部的一侧固定连接有第三固定板，所述第三固定板正面的顶部开设有滑槽，所述第三固定板的正面且位于所述滑槽的两侧均开设有螺纹孔，所述滑槽的内部滑动连接有清洁组件。
8.根据权利要求7所述的用于磁控溅射设备回流传输的调整装置，其特征在于，所述清洁组件包括连接件，所述连接件的一端通过所述滑槽且延伸至所述第三固定板的背面，所述连接件的一端固定连接有吸尘装置，所述吸尘装置位于所述传送装置的顶部，所述连接件正面的左右两侧均设置有第二螺栓，所述第二螺栓的一端延伸至所述螺纹孔的内部。
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