CN216550668U - 一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种光学镀膜机的修正板，涉及光学镀膜技术领域，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。修正板包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求。

Description

一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，尤其涉及一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机。

背景技术

修正板位于光学镀膜机腔室的侧壁上，它的相关布置对于光学镀膜机成膜参数的修定非常重要。传统修正板需要频繁打开光学镀膜机的腔室门才能对修正板进行调节，增加了时间成本。

实用新型内容

本申请提供一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。

本申请提供一种光学镀膜机的修正板，包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，导轨沿竖向安装于光学镀膜机的腔室侧壁，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。

可选地，第一驱动组件包括：

滑动件，活动设于导轨，且与修正板本体连接；

第一驱动件，以驱动滑动件沿导轨移动。

可选地，第一驱动组件还设有测距件，以测量滑动件的高度。

可选地，第二驱动组件包括：

转轴，修正板本体与滑动件通过转轴可转动连接；

第二驱动件，以驱动修正板本体和滑动件于转轴处相对转动。

可选地，修正板还包括连接件，连接件与修正板本体固定连接，连接件与转轴连接，第三驱动组件与连接件、活动板件连接。

可选地，第三驱动组件包括：

伸缩杆，与连接件、活动板件连接；

第三驱动件，以驱动伸缩杆动作。

可选地，活动板件呈月形板设置，伸缩杆一端与连接件连接、另一端与月形板的凹边中心处连接。

可选地，活动板件包括两个月形板，两个月形板分别设于修正板本体的相对两侧，月形板分别通过一伸缩杆与连接件连接。

可选地，修正板还配置有控制中心，控制中心分别与第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件连接。

一种光学镀膜机，包括上述的修正板。

本申请有益效果如下：本申请提供一种光学镀膜机的修正板，其中通过导轨配合第一驱动组件来调控修正板本体的所处高度，通过第二驱动组件来调控修正板本体的分布角度，并通过第三驱动组件来调控活动板件，使活动板件伸出或缩回修正板本体的范围，以调控活动板件与修正板本体的整体面积大小，本申请提供的修正板，在相关控制的配合下，可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求，具有便捷、省时的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例。

图1为本申请提供的一种光学镀膜机的修正板的整体结构示意图；

图2为图1中活动板件未展开的示意图；

图3为图1中活动板件展开的示意图。

附图标注：100-修正板本体，200-活动板件，210-月形板，300-导轨，400-第一驱动组件，500-第二驱动组件，600-第三驱动组件，610-伸缩杆，700-连接件。

具体实施方式

本申请实施例通过提供一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。

本申请实施例中的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下：

一种光学镀膜机的修正板，包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，导轨沿竖向安装于光学镀膜机的腔室侧壁，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

请参照图1，本实施例公开一种光学镀膜机的修正板，包括修正板本体100、活动板件200、导轨300、第一驱动组件400、第二驱动组件500和第三驱动组件600，活动板件200贴近修正板本体100设置，导轨300沿竖向安装于光学镀膜机的腔室侧壁，第一驱动组件400与修正板本体100和导轨300连接，第一驱动组件400以驱动修正板本体100沿导轨300移动，第二驱动组件500与修正板本体100连接，第二驱动组件500以驱动修正板本体100转动，第三驱动组件600与活动板件200连接，第三驱动组件600以驱动活动板件200伸出或缩回修正板本体100的范围。

其中通过导轨300配合第一驱动组件400来调控修正板本体100的所处高度，通过第二驱动组件500来调控修正板本体100的分布角度，并通过第三驱动组件600来调控活动板件200，使活动板件200伸出或缩回修正板本体100的范围，以调控活动板件200与修正板本体100的整体面积大小，如图2和图3所示，展示了活动板件200伸出或缩回修正板本体100的范围而改变了修正板整体面积大小的示意。

综上所示，本实施例的修正板在相关控制的配合下，可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求，具有便捷、省时的效果。

可选地，第一驱动组件400包括滑动件和第一驱动件，滑动件活动设于导轨300，且滑动件与修正板本体100连接，第一驱动件以驱动滑动件沿导轨300移动。相应第一驱动件还可配置测距件，测距件对滑动件的高度进行实时测量，实际反映的是修正板本体100的高度位置，以将修正板本体100准确无误地调整至指定高度。

可选地，第二驱动组件500包括转轴和第二驱动件，修正板本体100与滑动件通过转轴可转动连接，第二驱动件以驱动修正板本体100和滑动件于转轴处相对转动。通过第二驱动件，驱动修正板本体100绕转轴处与滑动件相对转动。由于活动板件200贴近修正板本体100设置，可理解为活动板件200与修正板本体100平行设置，因此转轴处的转动带来修正板本体100与活动板件200的整体转动，从而通过控制第二驱动件，能够在不打开腔门的情况下调整修正板本体100的分布角度。

可选地，如图1所示，修正板还包括连接件700，连接件700与修正板本体100固定连接，连接件700与转轴连接，第三驱动组件600与连接件700、活动板件200连接。此处将连接件700与修正板本体100区分开来，对修正板本体100进行合理布置。

可选地，如图1至图3所示，第三驱动组件600包括伸缩杆610和第三驱动件，伸缩杆610与连接件700连接，伸缩杆610与活动板件200连接，第三驱动件以驱动伸缩杆610动作。通过控制伸缩杆610的动作，形成如图2所示的活动板件200处于未展开状态，如图3所示的活动板件200处于状态展开。通过控制伸缩杆610的动作程度，能够达到调整修正板大小的效果。

可选地，请参照图2和图3，活动板件200呈月形板210设置，月形板210指的是呈月形状的弧板，伸缩杆610一端与连接件700连接、另一端与月形板210的凹边中心处连接。

可选地，请参照图2和图3，活动板件200包括两个月形板210，两个月形板210分别设于修正板本体100的相对两侧，月形板210分别通过一伸缩杆610与连接件700连接。通过一左一右的两个月形板210，辅助调整修正板实际作用的面积大小。

可选地，修正板还配置有控制中心，控制中心分别与第一驱动组件400、第二驱动组件500、第三驱动组件600连接。通过相关控制，满足不同的蒸发基材对同一个修正板的需求。

本实施例还提供一种光学镀膜机，包括上述的修正板，以期根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求，具有便捷、省时的效果。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种光学镀膜机的修正板，其特征在于，所述修正板包括：

修正板本体；

活动板件，贴近所述修正板本体设置；

导轨，沿竖向安装于所述光学镀膜机的腔室侧壁；

第一驱动组件，与所述修正板本体和所述导轨连接，以驱动所述修正板本体沿所述导轨移动；

第二驱动组件，与所述修正板本体连接，以驱动所述修正板本体转动；

第三驱动组件，与所述活动板件连接，以驱动所述活动板件伸出或缩回所述修正板本体的范围。

2.如权利要求1所述的修正板，其特征在于，所述第一驱动组件包括：

滑动件，活动设于所述导轨，且与所述修正板本体连接；

第一驱动件，以驱动所述滑动件沿所述导轨移动。

3.如权利要求2所述的修正板，其特征在于，所述第一驱动组件还设有测距件，以测量所述滑动件的高度。

4.如权利要求2所述的修正板，其特征在于，所述第二驱动组件包括：

转轴，所述修正板本体与所述滑动件通过所述转轴可转动连接；

第二驱动件，以驱动所述修正板本体和所述滑动件于所述转轴处相对转动。

5.如权利要求4所述的修正板，其特征在于，所述修正板还包括连接件，所述连接件与所述修正板本体固定连接，所述连接件与所述转轴连接，所述第三驱动组件与所述连接件、所述活动板件连接。

6.如权利要求5所述的修正板，其特征在于，所述第三驱动组件包括：

伸缩杆，与所述连接件、所述活动板件连接；

第三驱动件，以驱动所述伸缩杆动作。

7.如权利要求6所述的修正板，其特征在于，所述活动板件呈月形板设置，所述伸缩杆一端与所述连接件连接、另一端与所述月形板的凹边中心处连接。

8.如权利要求7所述的修正板，其特征在于，所述活动板件包括两个所述月形板，两个所述月形板分别设于所述修正板本体的相对两侧，所述月形板分别通过一所述伸缩杆与所述连接件连接。

9.如权利要求1所述的修正板，其特征在于，所述修正板还配置有控制中心，所述控制中心分别与所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件连接。

10.一种光学镀膜机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的修正板。

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