CN2165438Y - 高精度电容式压力传感器 - Google Patents
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Abstract
高精度电容式压力传感器是一种高精度、高温、
高压电容式压力传感器,它主要包括信号线1、下外
壳2、动片固定螺栓3、动片固定螺母4、垫片5、动片
6、薄垫片7、传感弹性膜8、环形槽9、上外壳10、其中
将上外壳、动片固定螺栓、传感弹性膜合为一个整体,
动片由动片固定螺母固定在动片固定螺栓上,在动片
的两侧分别垫有薄垫片7和垫片5,环形槽9设在传
感弹性膜上,最后将上外壳和下外壳焊接成型。
Description
本实用新型是一种高精度、高温高压电容式压力传感器,属于压力传感器制造的技术领域。
在石油深井测量及有关化工工业的测量方面,对传感器的要求非常高,尤其是高精度、高温、高压传感器,当精度高达0.1%FS,环境温度达150℃,压力量程达700Kgf/cm2时,目前国内还没有这类产品,国际上也只有个别厂家能够生产,但由于其使用的材料非常特别,也非常贵,因此其产品的生产成本非常高,售价非常贵,这对广泛地使用带来了不便。
本实用新型的发明目的是提供一种在制造中对材料和工艺都没有特殊要求,并能达到以上指标的高精度电容式压力传感器。
本实用新型的高精度电容式压力传感器主要包括信号线(1)、下外壳(2)、动片固定螺栓(3)、动片固定螺母(4)、垫片(5)、动片(6)、薄垫片(7)、传感弹性膜(8)、环形槽(9)、上外壳(10)。其中上外壳(10)的外形为圆柱形,传感弹性膜(8)位于弹性膜(10)中,并与之为一个整体,动片固定螺栓(3)位于传感弹性膜的中央,动片(6)由动片固定螺母(4)固定在动片固定螺栓(3)上,在动片(6)的两侧分别垫有垫片(5)和薄垫片(7)。在传感弹性膜(8)上有动片固定螺栓(3)的一侧设有一个环形槽(9)。为了提高其精度,动片固定螺栓(3)与传感弹性膜(8)为一个整体,另外在下外壳(2)与上外壳(10)的连接处均设有一个向内收缩的斜面(11)。该传感器的工作过程为:来自外界的压力通过传感弹性膜的上面传入,将传感弹性膜向下压,由于动片是固定在动片固定螺栓上的,因此,动片也与传感弹性膜一道向下运动,而传感弹性膜的边沿是与上外壳为一体的,当传感弹性膜受压时,只是其中央向下运动,而圆周边是不动的,因此,动片的外边与传感弹性膜的外边之间的距离也就发生了变化,使电容量发生改变,从而产生传感信号。
本实用新型的优点在于精度高,加工工艺简单。由于将固定螺栓与传感弹性膜合为一体,不仅使加工的精度有极大的提高,而且在使用时避免二者连接处(当传感弹性膜与螺栓分开加工时)所产生的摩擦损耗,提高了传感器的精度。
另外由于在传感弹性膜上开有一条环形槽,它可以减少弹性膜与动片之间的摩擦,因此可以减少传感器的滞后误差,以进一步提高传感器的测量精度。
该传感器是一种高精度、高温、高压电容式传感器,能广范地应用在各种高温、高压的条件下,且测量精度非常高。
图1是本实用新型的结构示意图。
本实用新型的实施方案如下。上壳体(10)、传感弹性膜(8)、动片固定螺栓(3)为一个整体,采用3J21弹性钢加工而成,另外,在传感弹性膜(8)上设有一条与动片固定螺栓(3)同圆心的圆槽即环形槽(9),动片(6)固定在动片固定螺栓(3)上,在动片与传感弹性膜之间垫有一个薄垫片(7),在动片与动片固定螺母(4)之间垫有一个垫片(5)。下外壳(2)采用一般的不绣钢材料,但其膨胀系数必需与上外壳材料的膨胀系数一样,其上外壳与下外壳的连接处设有向内收缩的斜面(11),在其外部采用氩弧焊焊接,最后将信号线以下部引出,即成本实用新型的高精度电容式压力传感器。
Claims (3)
1、一种高精度电容式压力传感器,由传感头部分及外壳部分所组成,其特征在于该传感器包括信号线(1)、下外壳(2)、动片固定螺栓(3)、动片固定螺母(4)、垫片(5)、动片(6)、薄垫片(7)、传感弹性膜(8)、环形槽(9)、上外壳(10),其中上外壳(10)的外形为圆柱形,传感弹性膜(8)位于上外壳(10)中,并与之为一个整体,动片固定螺栓(3)位于传感弹性膜(8)的中央,动片(6)由动片固定螺母(4)固定在动片固定螺栓(3)上,在动片(6)的两侧分别垫有垫片(5)和薄垫片(7)。
2、根据权利要求1所述的高精度电容式压力传感器,其特征在于动片固定螺栓(3)与传感弹性膜(8)为一个整体,在传感弹性膜(8)上有动片固定螺栓(3)的一侧设有一个环形槽(9)。
3、根据权利要求1或2所述的高精度电容式压力传感器,其特征在于在下外壳(2)与上外壳(10)的连接处均设有一个向内收缩的斜面(11)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 93237517 CN2165438Y (zh) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 高精度电容式压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
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CN 93237517 CN2165438Y (zh) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 高精度电容式压力传感器 |
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---|---|
CN2165438Y true CN2165438Y (zh) | 1994-05-18 |
Family
ID=33812452
Family Applications (1)
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CN 93237517 Expired - Fee Related CN2165438Y (zh) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 高精度电容式压力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN2165438Y (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102313623A (zh) * | 2010-05-25 | 2012-01-11 | 株式会社堀场Stec | 静电容型压力传感器 |
-
1993
- 1993-08-26 CN CN 93237517 patent/CN2165438Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102313623A (zh) * | 2010-05-25 | 2012-01-11 | 株式会社堀场Stec | 静电容型压力传感器 |
CN102313623B (zh) * | 2010-05-25 | 2015-09-30 | 株式会社堀场Stec | 静电容型压力传感器 |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |