CN216525416U - 一种便于晶圆取放的检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体技术领域，公开了一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋转安装有转动盘，转动盘上开设有供晶圆恰好放置的圆形深槽，圆形深槽端口内水平设置有置物板，且转动盘上的圆形深槽底部水平安装有丝杠，丝杠上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块，移动块的上端面与置物板的下端面之间铰接连接有倾斜的支撑杆。该便于晶圆取放的检测装置，结构合理，能够对晶圆限位，避免其水平移动，有利于提高检测精度，且易于对晶圆进行取放，操作简单，使用方便，有利于提高检测效率。

Description

一种便于晶圆取放的检测装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种便于晶圆取放的检测装置。

背景技术

在半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，而具有不破坏晶圆表面的清洁度、可实时检测等优点的光学检测方法即为晶圆的常用检测方法之一。在进行光学检测时，激光器发出的检测光会掠入射到待测晶圆上，在晶圆表面会形成椭圆形光斑，通过晶圆卡盘的移动和旋转，使得椭圆形光斑扫描整片晶圆，检测光在晶圆表面发生反射，如果检测光投射到颗粒上，会被颗粒散射，被散射的光束具有和反射光束不相同的空间立体角，而散射光最终被光电探测器探测，以获取晶圆表面的颗粒信息。

目前，现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行稳定放置，导致在进行移动、旋转转动盘以使椭圆形探测光斑对晶圆进行全面扫描时，晶圆位置可能出现水平偏移，从而影响光学检测结果。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种便于晶圆取放的检测装置，以解决上述背景技术中提出现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行取放，导致晶圆放置位置可能出现水平平移而影响检测结果的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋转安装有转动盘，转动盘上开设有供晶圆放置的圆形深槽，圆形深槽端口内水平设置有置物板，且转动盘上的圆形深槽底部水平安装有丝杠，丝杠上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块，移动块的上端面与置物板的下端面之间铰接有支撑杆。

通过采用上述技术方案，支撑杆能够对置物板进行支撑，并可通过自身的倾斜角度来带动置物板进行升降。

优选的，丝杠的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上，丝杠的另一端水平穿出圆形深槽内的底部另一侧并固定有拧冒。

通过采用上述技术方案，使得可通过拧冒来转动丝杠。

优选的，底座内开设有安装腔，安装腔内安装有电机，电机的机轴穿出底座的上端面并与转动盘的下端面中部固定。

通过采用上述技术方案，从而可通过电机来驱使转动盘转动。

优选的，基座上开设有调节槽，调节槽上滑动安装有调节座，调节座的上端面固定有固定柱，固定柱的顶端安装有朝向圆形深槽照射的激光器。

优选的，调节座的底部构造有与调节槽滑动配合的嵌合块，且调节座的上端面设置有定位插销，定位插销贯穿调节座并与基座上端面对应开设的定位孔插接配合。

通过采用上述技术方案，从而来固定调节座的位置。

优选的，支架固定于基座的上端面远离调节槽的一端，支架的顶部伸至底座的上方并固定有光电探测器，且支架的背侧固定有数据箱，数据箱内安装有与光电探测器电性连接的数据处理模块。

优选的，光电探测器与底座之间设置有集光罩，集光罩的顶部两侧对称固定有两个调节板，且支架的顶部两侧对称固定有两个供调节板顶端插入的连接板。

优选的，连接板上设置有紧固插销，紧固插销贯穿连接板以及插入连接板内的调节板，且调节板上等距开设有多个供紧固插销插入的固定孔。

通过采用上述技术方案，从而使得连接板与调节板可根据实际需要来进行固定。

综上，本申请的技术效果和优点：该便于晶圆取放的检测装置，得益于转动盘、置物板、丝杠、移动块以及支撑杆的配合，可将晶圆直接放置于置物板上，并利用转动盘的圆形深槽来对晶圆限位，避免其水平移动，同时，可通过转动丝杠来驱使两个移动块相背移动，驱使置物板上升来方便将晶圆从圆形深槽内取出；

且得益于基座、调节座、固定柱以及激光器的配合，可调节激光器的照射位置，并得益于集光罩与连接板配合，可调节集光罩的反光高度，操作简单，便于调节，有利于提高检测效率。

附图说明

图1是本申请的结构示意图；

图2是本申请的底座与转动盘剖视结构示意图；

图3是本申请的调节座的侧面剖视图；

图4是本申请的图1中A处结构的放大示意图。

附图标记说明：

1、基座；101、调节槽；102、定位孔；2、支架；201、光电探测器；202、数据箱；3、底座；301、安装腔；302、电机；4、转动盘；401、置物板；402、丝杠；403、拧冒；404、移动块；405、支撑杆；5、调节座；501、嵌合块；502、定位插销；6、固定柱；601、激光器；7、集光罩；701、调节板；702、固定孔；8、连接板；801、紧固插销。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

参照图1与图2，一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座1、支架2以及底座3，底座3固定于基座1的上端面中部，底座3的上端面可旋转安装有转动盘4，转动盘4上开设有供晶圆放置的圆形深槽，圆形深槽端口内水平设置有置物板401，且转动盘4上的圆形深槽底部水平安装有丝杠402，丝杠402上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块404，移动块404的下端面与圆形深槽底部滑动抵接形成限位，使得丝杠402转动时能够驱使两个移动块404相向移动或向背移动，而移动块404的上端面与置物板401的下端面之间铰接连接有倾斜的支撑杆405，因此，当移动块404移动时，即可通过支撑杆405带动置物板401在圆形深槽内进行升降调节，使得放置于置物板401上的晶圆能够置于转动盘4上圆形深槽的端口内进行限位，或升出圆形深槽的端口外方便拿取。

具体实施时，丝杠402的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上，丝杠402的另一端水平穿出圆形深槽内的底部另一侧并固定有拧冒403，使得丝杠402可方便通过旋拧拧冒403来进行转动。

如图2所示，底座3内开设有安装腔301，安装腔301内安装有电机302，电机302的机轴穿出底座3的上端面并与转动盘4的下端面中部固定，使得安装腔301启动能够带动转动盘4转动，即带动转动盘4上的晶圆转动。

而如图1与图3所示，基座1的上端面一端开设有绕底座3边缘并呈弧形状的调节槽101，调节槽101上滑动安装有调节座5，具体实施时，调节座5的底部构造有与调节槽101滑动配合的嵌合块501，且调节座5的上端面设置有定位插销502，定位插销502贯穿调节座5并与基座1上端面对应开设的定位孔102插接配合，使得调节座5可在基座1上进行位置调节。

同时，调节座5的上端面固定有固定柱6，固定柱6的顶端安装有朝圆形深槽照射的激光器601，使得可启动激光器601来在转动盘4上晶圆的表面照射出用于检测的探测光斑，并配合转动盘4的转动来使探测光斑在晶圆表面移动，以提高检测面积。

如图1与图4所示，支架2固定于基座1的上端面远离调节槽101的一端，支架2的顶部伸至底座3的上方并固定有光电探测器201，具体的，光电探测器201可选用但不限于光电倍增管，能够以较高频率探测散射光，可以获得散射光信号较为细致的时间信息。支架2的背侧固定有数据箱202，数据箱202内安装有与光电探测器201电性连接的数据处理模块，数据处理模块为本领域现有的数据处理技术手段，此处不作过多赘述。而光电探测器201与底座3之间设置有集光罩7，集光罩7的顶部两侧对称固定有两个调节板701，且支架2顶部的两侧对称固定有两个供调节板701顶端插入的连接板8，连接板8上设置有紧固插销801，紧固插销801贯穿连接板8以及插入连接板8内的调节板701，且调节板701上等距开设有多个供紧固插销801插入的固定孔702，使得集光罩7可通过紧固插销801与不同的固定孔702插接来调节反光高度，使晶圆表面散射的光线汇集于光电探测器201处，从而实现晶圆表面的颗粒检测。

工作原理，该便于晶圆取放的检测装置，使用时，可将晶圆直接放置于转动盘4内圆形深槽的置物板401上，利用转动盘4的圆形深槽来对晶圆限位，避免其水平移动，使得电机302在驱使转动盘4转动时，晶圆不会出现水平偏移，有利于提高检测精度，同时，在检测完成后，可通过拧冒403来转动丝杠402，以驱使两个移动块404相背移动，使得置物板401带动晶圆上升浮出转动盘4上圆形深槽的端口，以便于将晶圆从圆形深槽内取出，取放方便。

而在启动激光器601对晶圆进行照射检测时，可通过嵌合块501与调节槽101的配合来将调节座5滑动，并配合定位插销502进行固定，从而调节激光器601的照射位置，并通过调节板701与连接板8的活动插接，以及紧固插销801与固定孔702的插接固定，可调节集光罩7的反光高度，以调节集光罩7对反射光的反射位置，使其符合检测实验需要，操作简单，便于调节，有利于提高检测效率。

最后应说明的是：以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座（1）、支架（2）以及底座（3），其特征在于：所述底座（3）固定于基座（1）的上端面中部，所述底座（3）的上端面可旋转安装有转动盘（4），所述转动盘（4）上开设有供晶圆放置的圆形深槽，所述圆形深槽端口内水平设置有置物板（401），且所述转动盘（4）上的圆形深槽底部水平安装有丝杠（402），所述丝杠（402）上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块（404），所述移动块（404）的上端面与置物板（401）的下端面之间铰接有支撑杆（405）。

2.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述丝杠（402）的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上，所述丝杠（402）的另一端水平穿出圆形深槽内的底部另一侧并固定有拧冒（403）。

3.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述底座（3）内开设有安装腔（301），所述安装腔（301）内安装有电机（302），所述电机（302）的机轴穿出底座（3）的上端面并与转动盘（4）的下端面中部固定。

4.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述基座（1）上端面的一端开设有调节槽（101），所述调节槽（101）上滑动安装有调节座（5），所述调节座（5）的上端面固定有固定柱（6），所述固定柱（6）的顶端安装有朝向圆形深槽照射的激光器（601）。

5.根据权利要求4所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述调节座（5）的底部构造有与调节槽（101）滑动配合的嵌合块（501），且所述调节座（5）的上端面设置有定位插销（502），所述定位插销（502）贯穿调节座（5）并与基座（1）上端面对应开设的定位孔（102）插接配合。

6.根据权利要求4所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述支架（2）固定于基座（1）的上端面远离调节槽（101）的一端，所述支架（2）的顶部伸至底座（3）的上方并固定有光电探测器（201），且所述支架（2）的背侧固定有数据箱（202），所述数据箱（202）内安装有与光电探测器（201）电性连接的数据处理模块。

7.根据权利要求6所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述光电探测器（201）与底座（3）之间设置有集光罩（7），所述集光罩（7）的顶部两侧对称固定有两个调节板（701），且所述支架（2）的顶部两侧对称固定有两个供调节板（701）顶端插入的连接板（8）。

8.根据权利要求7所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述连接板（8）上设置有紧固插销（801），所述紧固插销（801）贯穿连接板（8）以及插入连接板（8）内的调节板（701），且所述调节板（701）上等距开设有多个供紧固插销（801）插入的固定孔（702）。

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