CN216482846U - 晶片边缘轮廓测试仪 - Google Patents
晶片边缘轮廓测试仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216482846U CN216482846U CN202122878540.8U CN202122878540U CN216482846U CN 216482846 U CN216482846 U CN 216482846U CN 202122878540 U CN202122878540 U CN 202122878540U CN 216482846 U CN216482846 U CN 216482846U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base
- supporting
- edge profile
- wafer edge
- image acquisition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了晶片边缘轮廓测试仪，属于检测设备技术领域，包括底座，所述底座顶部的一侧设有可移动物料固定组件，所述底座的顶部且位于可移动物料固定组件的一侧设有采像组件，所述采像组件通过升降组件与底座连接在一起，所述采像组件包括两组支撑臂和一组主相机，每组所述支撑臂顶部的两侧均轴承支撑有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有支架；本实用新型通过采像组件的设置，采像组件采用一组主相机可四组副相机配合使用，可以全方位多角度对待测试晶片进行图像采集，通过可移动物料固定组件的设置，可以对晶片进行固定，同时可对晶片与采像组件的距离进行调节，以便于采像组件对晶片进行图像采集。
Description
技术领域
本实用新型涉及检测设备技术领域，具体为晶片边缘轮廓测试仪。
背景技术
在工业生产中，广泛存在测量产品的形状、尺寸、大小的需求，机器视觉由于其非接触、高精度、高效率等特点，广泛应用于这些场合，晶片边缘轮廓测试仪是基于机器视觉的最新的无键测量设备，能够替代传统的卡尺等工具，实现高效准确的测量。
晶片边缘轮廓测试仪的基本工作流程为：连接好相机，打开光源，启动软件，将待测产品放置于检测平台上，采集一张图像，然后配置检测步骤，设置输出项，再为输出项设定比例系数、补偿系数、公差等参数。设置完成后，点击开始检测，更换产品，程序自动实时检测，输出结果，按下空格键记录数据。测完产品后，可以进行统计分析和输出报表。
现有的晶片边缘测试仪在使用过程中不便于对采集图像的相机以及检测晶片的相对位置以及角度进行调节，存在采像数据不完整的问题，影响最终的测试结果，因此我们需要提出晶片边缘轮廓测试仪。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供晶片边缘轮廓测试仪，具备可调节检测晶片和采像相机的相对位置，以便于对晶片进行多方位图像采集的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座，所述底座顶部的一侧设有可移动物料固定组件，所述底座的顶部且位于可移动物料固定组件的一侧设有采像组件，所述采像组件通过升降组件与底座连接在一起，所述采像组件包括两组支撑臂和一组主相机，每组所述支撑臂顶部的两侧均轴承支撑有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有支架，所述支架的内腔铰接有连接板，所述连接板的一端固定安装有副相机，所述支架内腔的前后两侧均固定安装有第一旋转阻尼器，所述第一旋转阻尼器的内壁通过转轴与连接板连接在一起。
优选的，所述可移动物料固定组件包括开设于底座顶部的槽道，所述槽道的内腔滑动连接有滑板，所述滑板的顶部固定安装有支撑板，所述支撑板的表面固定安装有真空吸盘。
优选的，所述槽道内腔的前后两侧均固定安装有限位杆，所述滑板的前后两侧均开设有与限位杆相适配的限位槽，且限位槽的内壁与限位杆的表面滑动连接。
优选的，所述滑板的顶部螺纹连接有定位杆，所述定位杆的底端贯穿滑板并延伸至滑板的下方与槽道的内壁贴合。
优选的，所述升降组件包括固定安装于底座顶部的第二旋转阻尼器，所述第二旋转阻尼器的内圈固定安装有转管，所述转管的内腔螺纹连接有升降杆，所述升降杆的顶端贯穿转管并延伸至转管的外部，所述支撑臂固定安装于升降杆的表面，所述主相机通过连接块与升降杆的表面固定安装。
优选的，所述转管的表面螺纹连接有锁紧杆，所述锁紧杆的一端贯穿转管并延伸至转管的内腔与升降杆的表面贴合。
优选的，所述支撑臂的表面螺纹连接有固定杆，所述固定杆的一端贯穿支撑臂并与支撑杆的表面贴合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过采像组件的设置，采像组件采用一组主相机可四组副相机配合使用，可以全方位多角度对待测试晶片进行图像采集，通过可移动物料固定组件的设置，可以对晶片进行固定，同时可对晶片与采像组件的距离进行调节，以便于采像组件对晶片进行图像采集；
2、本实用新型通过升降组件的设置，可以对图像采集组件的使用高度进行调节，通过真空吸盘的设置，可以便于对晶片进行固定，且便于在采像完成后将晶片取下。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型可移动物料固定组件的结构示意图；
图3为本实用新型槽道内部的结构示意图；
图4为本实用新型支架内部的结构示意图。
图中：1、底座；2、支撑臂；3、主相机；4、支撑杆；5、支架；6、连接板；7、副相机；8、第一旋转阻尼器；9、槽道；10、滑板；11、支撑板；12、真空吸盘；13、限位杆；14、定位杆；15、第二旋转阻尼器；16、转管；17、升降杆；18、锁紧杆；19、固定杆；20、连接块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座1，底座1顶部的一侧设有可移动物料固定组件，可移动物料固定组件包括开设于底座1顶部的槽道9，槽道9的内腔滑动连接有滑板10，滑板10的顶部固定安装有支撑板11，支撑板11的表面固定安装有真空吸盘12，槽道9内腔的前后两侧均固定安装有限位杆13，滑板10的前后两侧均开设有与限位杆13相适配的限位槽，且限位槽的内壁与限位杆13的表面滑动连接，滑板10的顶部螺纹连接有定位杆14，定位杆14的底端贯穿滑板10并延伸至滑板10的下方与槽道9的内壁贴合；
通过真空吸盘12的设置，可以将待测试晶片的位置进行固定，本实施例中真空吸盘12通过接管与真空设备(如真空发生器等，未图示)接通，然后将待测试晶片与其接触，并启动真空设备抽吸，使吸盘内产生负气压，从而将待测试晶片吸牢，当使用者需要取下晶片时，可平稳地充气进真空吸盘12内，使真空吸盘12内由负气压变成零气压或稍为正的气压，真空吸盘12就可与晶片脱离；
通过槽道9和滑板10的配合使用，可以便于对滑板10的位置进行移动，滑板10的移动带动支撑板11移动，支撑板11的移动带动真空吸盘12移动，真空吸盘12的移动带动待测试晶片移动，从而对其测试位置进行调节，通过定位杆14的设置，在将晶片的位置进行调节后，使用者可拧紧定位杆14，对滑板10的位置进行固定，从而对晶片的检测位置进行固定；
底座1的顶部且位于可移动物料固定组件的一侧设有采像组件，采像组件包括两组支撑臂2和一组主相机3，每组支撑臂2顶部的两侧均轴承支撑有支撑杆4，支撑臂2的表面螺纹连接有固定杆19，固定杆19的一端贯穿支撑臂2并与支撑杆4的表面贴合，支撑杆4的顶部固定安装有支架5，支架5的内腔铰接有连接板6，连接板6的一端固定安装有副相机7，支架5内腔的前后两侧均固定安装有第一旋转阻尼器8，第一旋转阻尼器8的内壁通过转轴与连接板6连接在一起；
通过采像组件的设置，本实施例中采用了一个主相机3和四个副相机7，使用者可根据实际使用需求适当添加副相机7的数量，本实施例中副相机7的使用角度可以调节，通过支撑杆4的设置，可以通过转动支撑杆4对副相机7的使用方向进行转动调节，通过固定杆19的设置，可以对支撑杆4的位置进行固定，防止在使用过程中支撑杆4产生转动，通过支架5的设置，连接板6的使用角度可以进行调节，进而调节副相机7的使用角度，通过第一旋转阻尼器8的设置，可以对副相机7的使用角度进行固定；
采像组件通过升降组件与底座1连接在一起，升降组件包括固定安装于底座1顶部的第二旋转阻尼器15，第二旋转阻尼器15的内圈固定安装有转管16，转管16的内腔螺纹连接有升降杆17，升降杆17的顶端贯穿转管16并延伸至转管16的外部，支撑臂2固定安装于升降杆17的表面，主相机3通过连接块20与升降杆17的表面固定安装，转管16的表面螺纹连接有锁紧杆18，锁紧杆18的一端贯穿转管16并延伸至转管16的内腔与升降杆17的表面贴合；
通过升降组件的设置，可以便于对采像组件的使用高度进行调节，在对其使用高度进行调节时，使用者可一手扶住支撑臂2，另一手拧动转管16，转管16的转动可以带动升降杆17进行向上或者向下移动动作，进而对采像组件的使用高度进行调节，通过锁紧杆18的设置，可以对升降杆17的位置进行固定，第二旋转阻尼器15的设置可以对采像组件的使用方向角度进行固定。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.晶片边缘轮廓测试仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧设有可移动物料固定组件，所述底座(1)的顶部且位于可移动物料固定组件的一侧设有采像组件，所述采像组件通过升降组件与底座(1)连接在一起，所述采像组件包括两组支撑臂(2)和一组主相机(3)，每组所述支撑臂(2)顶部的两侧均轴承支撑有支撑杆(4)，所述支撑杆(4)的顶部固定安装有支架(5)，所述支架(5)的内腔铰接有连接板(6)，所述连接板(6)的一端固定安装有副相机(7)，所述支架(5)内腔的前后两侧均固定安装有第一旋转阻尼器(8)，所述第一旋转阻尼器(8)的内壁通过转轴与连接板(6)连接在一起。
2.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述可移动物料固定组件包括开设于底座(1)顶部的槽道(9)，所述槽道(9)的内腔滑动连接有滑板(10)，所述滑板(10)的顶部固定安装有支撑板(11)，所述支撑板(11)的表面固定安装有真空吸盘(12)。
3.根据权利要求2所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述槽道(9)内腔的前后两侧均固定安装有限位杆(13)，所述滑板(10)的前后两侧均开设有与限位杆(13)相适配的限位槽，且限位槽的内壁与限位杆(13)的表面滑动连接。
4.根据权利要求2所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述滑板(10)的顶部螺纹连接有定位杆(14)，所述定位杆(14)的底端贯穿滑板(10)并延伸至滑板(10)的下方与槽道(9)的内壁贴合。
5.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述升降组件包括固定安装于底座(1)顶部的第二旋转阻尼器(15)，所述第二旋转阻尼器(15)的内圈固定安装有转管(16)，所述转管(16)的内腔螺纹连接有升降杆(17)，所述升降杆(17)的顶端贯穿转管(16)并延伸至转管(16)的外部，所述支撑臂(2)固定安装于升降杆(17)的表面，所述主相机(3)通过连接块(20)与升降杆(17)的表面固定安装。
6.根据权利要求5所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述转管(16)的表面螺纹连接有锁紧杆(18)，所述锁紧杆(18)的一端贯穿转管(16)并延伸至转管(16)的内腔与升降杆(17)的表面贴合。
7.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述支撑臂(2)的表面螺纹连接有固定杆(19)，所述固定杆(19)的一端贯穿支撑臂(2)并与支撑杆(4)的表面贴合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122878540.8U CN216482846U (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 晶片边缘轮廓测试仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122878540.8U CN216482846U (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 晶片边缘轮廓测试仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216482846U true CN216482846U (zh) | 2022-05-10 |
Family
ID=81399265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122878540.8U Active CN216482846U (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 晶片边缘轮廓测试仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216482846U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113932734A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-01-14 | 浙江海纳半导体有限公司 | 晶片边缘轮廓测试仪 |
-
2021
- 2021-11-23 CN CN202122878540.8U patent/CN216482846U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113932734A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-01-14 | 浙江海纳半导体有限公司 | 晶片边缘轮廓测试仪 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN216482846U (zh) | 晶片边缘轮廓测试仪 | |
| CN109696138B (zh) | 圆柱度检测装置及其偏心校准方法 | |
| CN111076855A (zh) | 一种玻璃应力检测装置 | |
| CN204405004U (zh) | 气门弹簧几何尺寸测量试验机 | |
| CN110346379A (zh) | 一种轴承缺陷探伤装置及轴承缺陷探伤方法 | |
| CN211827005U (zh) | 一种基于多目视觉的五轴数控机床多功能检测装置 | |
| CN115235402A (zh) | 一种高精度检测机 | |
| CN214583088U (zh) | 一种工件圆度测量装置 | |
| CN104515448B (zh) | 检测工具 | |
| CN112033324B (zh) | 一种双锥体壁厚及壁厚差的检测方法 | |
| CN212205984U (zh) | 一种便于检测厚度的测量工件智能定位装置 | |
| CN113418449A (zh) | 一种发动机叶片叶身与缘板测量装置及测量方法 | |
| CN210005027U (zh) | 一种陶瓷检测设备用辅助支架 | |
| CN219141728U (zh) | 一种机床轴心线相交检测工装 | |
| CN215677943U (zh) | 一种基于压痕深度的洛氏硬度计检定装置 | |
| CN112857258A (zh) | 一种基于图像的大工件圆度测量装置及其方法 | |
| CN109654993B (zh) | 一种马达端子形位公差检测设备和方法 | |
| CN108050957B (zh) | 一种波形唇油封唇口曲面形状误差测量装置及测量方法 | |
| CN207335635U (zh) | 一种转轴直径及其端面圆跳动无接触检测装置 | |
| CN206847541U (zh) | 一种机械式偏心测量仪 | |
| CN113932734B (zh) | 晶片边缘轮廓测试仪 | |
| CN108917542A (zh) | 连杆类零件加工误差检测的销部件 | |
| CN214583046U (zh) | 微型断路器触头参数检测设备 | |
| CN219532947U (zh) | 一种多点式气动冲压件检具 | |
| CN218496054U (zh) | 一种转镜支架检具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 324300 Wanyuan Road 5, Hua Bu Town, Kaihua County, Quzhou, Zhejiang Patentee after: Zhejiang Haina Semiconductor Co.,Ltd. Address before: 324300 Wanyuan Road 5, Hua Bu Town, Kaihua County, Quzhou, Zhejiang Patentee before: ZHEJIANG HAINA SEMICONDUCTOR Co.,Ltd. |