CN216386020U - 一种测温装置 - Google Patents

一种测温装置 Download PDF

Info

Publication number
CN216386020U
CN216386020U CN202122162615.2U CN202122162615U CN216386020U CN 216386020 U CN216386020 U CN 216386020U CN 202122162615 U CN202122162615 U CN 202122162615U CN 216386020 U CN216386020 U CN 216386020U
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser output
assembly
laser
temperature measuring
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202122162615.2U
Other languages
English (en)
Inventor
刘荣战
刘畅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan Raycus Fiber Laser Technologies Co Ltd
Original Assignee
Wuhan Raycus Fiber Laser Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan Raycus Fiber Laser Technologies Co Ltd filed Critical Wuhan Raycus Fiber Laser Technologies Co Ltd
Priority to CN202122162615.2U priority Critical patent/CN216386020U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN216386020U publication Critical patent/CN216386020U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种测温装置,包括载台机构、激光输出机构和测温件,载台机构能够固定待加热的物料;激光输出机构设置于所述载台机构的一侧,并包括激光输出组件和位置调节组件;所述激光输出组件能够输出激光,以加热所述物料;所述激光输出组件设置于所述位置调节组件上,所述位置调节组件能够调节所述激光输出组件的位置,以使所述激光输出组件的出光端与所述物料正对;测温件能够测试所述载台机构上的所述物料的温度。通过调节激光输出组件的位置,保证不同的物料与激光输出组件的相对位置均保持一致,从而保证测试的一致性和稳定性,避免在半导体激光器内进行大量的人工耦合操作,从而简化物料测温方法,降低对操作人员的技术要求。

Description

一种测温装置
技术领域
本实用新型涉及半导体激光器技术领域,尤其涉及一种测温装置。
背景技术
随着半导体激光器功率的提升,对半导体激光器可靠性的要求也越来越高,因此,在半导体激光器加热物料的过程中,需要实时监测物料的温度。现有技术中,对物料进行测温的方法是采用在半导体激光器模块中直接进行测温。这需要人工对激光光源进行多种光学元件的耦合、固定,并且需要加较高的电流进行激光出射,激光输出功率在百瓦以上,然后再利用红外热像仪进行温度测试。
现有的对物料的测温方法较为复杂,要求操作人员具有相对熟练的技术。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种测温装置,以简化物料测温方法,降低对操作人员的技术要求。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种测温装置,包括:
载台机构,能够固定待加热的物料;
激光输出机构,设置于所述载台机构的一侧,并包括激光输出组件和位置调节组件;所述激光输出组件能够输出激光,以加热所述物料;所述激光输出组件设置于所述位置调节组件上,所述位置调节组件能够调节所述激光输出组件的位置,以使所述激光输出组件的出光端与所述物料正对;
测温件,能够测试所述载台机构上的所述物料的温度。
可选的,所述载台机构包括:
底座;
载台,设置于所述底座上,所述载台能够固定所述物料。
可选的,所述载台的数量为多个,多个所述载台择一设置于所述底座上,以固定不同类型的所述物料。
可选的,所述载台包括:
安装部,与所述底座连接;
固定部,连接于所述安装部上,所述固定部开设有能够插设于所述物料的夹槽。
可选的,所述固定部包括间隔设置的第一固定柱和第二固定柱,所述第一固定柱靠近所述第二固定柱的一侧开设有第一半槽,所述第二固定柱靠近所述第一固定柱的一侧开设有第二半槽,所述第一半槽和所述第二半槽镜像设置,并形成所述夹槽,多个所述载台的所述第一半槽的深度不等;或
所述固定部的上端开设有所述夹槽,所述夹槽为方形槽。
可选的,所述激光输出组件包括:
激光输出件,能够输出激光;
夹具,设置于所述位置调节组件上,并能够固定所述激光输出件。
可选的,所述夹具包括:
底壳,连接于所述位置调节组件,所述底壳开设有第一定位槽;
上盖,转动连接于所述底壳,所述上盖开设有第二定位槽,所述上盖盖设于所述底壳,所述第一定位槽和所述第二定位槽扣合形成固定所述激光输出件的固定槽。
可选的,所述激光输出件为光纤跳线。
可选的,所述位置调节组件沿第一方向、第二方向和第三方向调节所述激光输出组件的位置,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。
可选的,所述测温装置还包括:
激光功率计,设置于所述载台机构远离所述激光输出机构的一侧,并能够吸收所述激光输出组件发射的激光和测试所述激光的功率。
由上可见,本实用新型提供的技术方案,将物料固定于载台机构上,然后通过位置调节组件调节激光输出组件的位置,使激光输出组件的出光端与所述物料正对,从而加热物料。测温件实时监测物料的温度,当加热时间达到预设时间时,停止对物料进行加热。使用本实用新型提供的测温装置,通过调节激光输出组件的位置,保证不同的物料与激光输出组件的相对位置均保持一致,从而保证测试的一致性和稳定性,避免在半导体激光器内进行大量的人工耦合操作,从而简化物料测温方法,降低对操作人员的技术要求。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的测温装置的结构示意图;
图2是本实用新型实施例提供的载台机构的结构示意图;
图3是本实用新型实施例提供的一种载台的结构示意图;
图4是本实用新型实施例提供的另一种载台的结构示意图;
图5是本实用新型实施例提供的又一种载台的结构示意图;
图6是本实用新型实施例提供的再一种载台的结构示意图;
图7是本实用新型实施例提供的夹具闭合状态的结构示意图;
图8是本实用新型实施例提供的夹具打开状态的结构示意图;
图9是本实用新型实施例提供的激光输出机构的结构示意图。
图中:
1、载台机构;11、底座;111、第一固定孔;12、载台;121、安装部;1211、长条孔;122、固定部;1221、第一固定柱;1222、第二固定柱;123、夹槽;1231、第一半槽;1232、第二半槽;
2、激光输出机构;21、激光输出组件;211、夹具;2111、底壳;2112、上盖;2113、第一定位槽;2114、第二定位槽;22、位置调节组件;221、底板;2211、第二固定孔;222、第一调节组件;223、第二调节组件;224、第三调节组件;2221、固定板;2222、调节板;2223、挡块;2224、调节块;2225、调节螺杆;2226、连接板;
3、支撑板;31、安装孔。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。
本实用新型中限定了一些方位词,在未作出相反说明的情况下,所使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”这些方位词是为了便于理解而采用的,因而不构成对本实用新型保护范围的限制。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实施例提供了一种测温装置,用于在半导体激光器外,测试半导体激光器加热的物料的温度中,但不限于此,还可以用于测试被其他设备加热的物料的温度中,以简化物料测温方法,降低对操作人员的技术要求。
如图1所示,本实施例提供的测温装置包括载台机构1、激光输出机构2和测温件(图中未示出)。载台机构1能够固定待加热的物料,激光输出机构2设置于载台机构1的一侧,并包括激光输出组件21和位置调节组件22。激光输出组件21能够输出激光,以加热物料。激光输出组件21设置于位置调节组件22上,位置调节组件22能够调节激光输出组件21的位置,以使激光输出组件21的出光端与物料正对。测温件能够测试载台机构1上的物料的温度。优选地,测温件为红外热像仪,红外热像仪位于载台机构1的正上方。红外热像仪是利用红外探测器和光学成像物镜接受被测的物料的红外辐射能量分布图形反映到红外探测器的光敏元件上,从而获得红外热像图,这种热像图与物体表面的热分布场相对应。
在使用本实用新型提供的测温装置时,将物料固定于载台机构1上,然后通过位置调节组件22调节激光输出组件21的位置,使激光输出组件21的出光端与物料正对,从而加热物料。测温件实时监测物料的温度,当加热时间达到预设时间时,停止对物料进行加热。使用本实用新型提供的测温装置,通过调节激光输出组件21的位置,保证不同的物料与激光输出组件21的相对位置均保持一致,从而保证测试的一致性和稳定性,避免在半导体激光器内进行大量的人工耦合操作,从而简化物料测温方法,降低对操作人员的技术要求。
优选地,为了固定载台机构1和激光输出机构2,测温装置还包括支撑板3。优选地,支撑板3为泡沫板,泡沫板上开设有多个呈阵列排布的安装孔31,载台机构1和激光输出机构2可以通过安装孔31固定于泡沫板上。安装孔31的间距优选为2.5cm。
如图2所示,优选地,载台机构1包括底座11和载台12,载台12能够固定物料,以避免激光在加热物料时,物料发生位移。底座11设置于支撑板3上,载台12设置于底座11上,底座11具有支撑载台12以及提高载台12的高度的作用。
为了便于底座11与支撑板3连接,底座11上开设有第一固定孔111。优选地,第一固定孔111为台阶孔,螺钉等连接件穿过第一固定孔111和安装孔31,螺钉的螺帽抵接到第一固定孔111的台阶面上,将底座11与支撑板3连接。
如图3所示,载台12包括安装部121和固定部122,安装部121与底座11连接。固定部122连接于安装部121上,固定部122开设有能够插设于物料的夹槽123,以固定物料。安装部121和固定部122可以通过焊接、粘结等方式连接,也可以为一体成型。
优选地,安装部121为长方体结构,安装部121的长度方向的两端均开设有长条孔1211,且长条孔1211为台阶孔。底座11上开设有螺纹孔,螺钉可以穿过长条孔1211与螺纹孔连接,螺钉的螺帽抵接到长条孔1211的台阶面上,从而达到固定安装部121的作用。
如图3-图6所示,为了使载台12能够固定不同类型的物料,优选地,载台12的数量为多个,多个载台12择一设置于底座11上,以固定不同类型的物料。具体而言,不同的载台12的固定部122的结构不同。
如图2-图5所示,固定部122包括间隔设置的第一固定柱1221和第二固定柱1222,第一固定柱1221靠近第二固定柱1222的一侧开设有第一半槽1231,第二固定柱1222靠近第一固定柱1221的一侧开设有第二半槽1232,第一半槽1231和第二半槽1232镜像设置,并形成夹槽123,物料插入到第一半槽1231和第二半槽1232中,以实现固定,避免物料在加热过程中发生位移。多个载台12的第一半槽1231的深度不等,以固定不同类型的物料。
如图3所示,该载台12用于固定快轴准直透镜,如图4所示,该载台12用于固定光栅。当物料为快轴准直透镜时,第一半槽1231和第二半槽1232的深度小于当物料为光栅时,第一半槽1231和第二半槽1232的深度。如图5所示,当物料为准直透镜时,第一半槽1231沿竖直方向贯穿第一固定柱1221,第二半槽1232沿数值方向贯穿第二固定柱1222。
如图6,还可以是夹槽123不是分体结构,而是一个整体的结构,固定部122的上端开设有夹槽123,夹槽123为方形槽。当物料为偏振分光棱镜时,使用该种类型的载台12。
如图7和图8所示,激光输出组件21包括激光输出件和夹具211。激光输出件能够输出激光,夹具211设置于位置调节组件22上,并能够固定激光输出件。通过夹具211固定激光输出件可以避免激光输出过程中,激光输出件不会发生位移,且当激光输出件发生故障时,可以方便更换。
优选地,夹具211包括底壳2111和上盖2112,底壳2111连接于位置调节组件22,底壳2111开设有第一定位槽2113。上盖2112转动连接于底壳2111,上盖2112开设有第二定位槽2114,上盖2112盖设于底壳2111,第一定位槽2113和第二定位槽2114扣合形成固定激光输出件的固定槽。当打开上盖2112时,可以取放激光输出件,当关闭上盖2112后,可以将激光输出件固定在固定槽内。
由于现有技术中,激光功率过高,会对人员安全存在较大的风险。本实施例中激光输出件为光纤跳线,光纤跳线可在功率密度较为稳定的情况下进行低功率输出测试。
优选地,为了吸收未被物料利用的激光,防止未被利用的激光加热其他物体,以及同时测试激光的功率,优选地,测温装置还包括激光功率计(图中未示出)。激光功率计设置于载台机构1远离激光输出机构2的一侧,并能够吸收激光输出组件21发射的激光和测试激光的功率。
如图9所示,位置调节组件22沿第一方向、第二方向和第三方向调节激光输出组件21的位置,第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。
具体而言,位置调节组件22包括底板221、第一调节组件222、第二调节组件223和第三调节组件224。底板221上开设有第二固定孔2211,螺钉等连接件穿过第二固定孔2211和安装孔31将底板221固定于支撑板3。优选地,第二固定孔2211和第一固定孔111的结构相似。
第一调节组件222、第二调节组件223和第三调节组件224的结构类似,本实施例以第一调节组件222为例详细说明第一调节组件222、第二调节组件223和第三调节组件224的具体结构。
第一调节组件222包括固定板2221、调节板2222、挡块2223、调节块2224和调节螺杆2225,其中,第一调节组件222的固定板2221连接于底板221,第二调节组件223的固定板2221连接于第一调节组件222的调节板2222,第三调节组件224的调节板2222通过连接板2226连接于第二调节组件223的调节板2222。挡块2223连接于固定板2221上,调节块2224连接于调节板2222上,调节块2224连接于调节板2222上,并开设有螺纹孔。调节螺杆2225与螺纹孔螺纹连接,且调节螺杆2225的一端与挡块2223转动连接,从而通过旋转调节螺杆2225,使调节板2222沿调节螺杆2225的轴向移动。
可以理解的是,第一调节组件222的调节螺杆2225沿第一方向延伸,第二调节组件223的调节螺杆2225沿第二方向延伸,第三调节组件224的调节螺杆2225沿第三方向延伸。
本实施例提供的测温装置的工作过程为:
1、将光纤跳线用夹具211进行固定,在将夹具211固定在第三调节组件224上;
2、用镊子将待测试的物料放入相应的载台12中,并将载台12安装在底座11上;
3、将激光功率计放置在载台机构1后方约50mm位置处,以保证激光的收集;
4、通过第一调节组件222、第二调节组件223和第三调节组件224调节夹具211的三维位置,将光纤跳线的出光端放置在合适位置处,并记录该位置;
5、打开电流源进行加电操作并使用红外热像仪放置载台12的正上方,观测物料的温度情况并记录;
6、完成测试后下电并关闭电流源,进行下一个物料的测试或者更换载台12测试其它种类的物料。
虽然,上文中已经用一般性说明、具体实施方式及试验,对本实用新型作了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之作一些修改或改进,这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此,在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进,均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种测温装置,其特征在于,包括:
载台机构(1),能够固定待加热的物料;
激光输出机构(2),设置于所述载台机构(1)的一侧,并包括激光输出组件(21)和位置调节组件(22);所述激光输出组件(21)能够输出激光,以加热所述物料;所述激光输出组件(21)设置于所述位置调节组件(22)上,所述位置调节组件(22)能够调节所述激光输出组件(21)的位置,以使所述激光输出组件(21)的出光端与所述物料正对;
测温件,能够测试所述载台机构(1)上的所述物料的温度。
2.根据权利要求1所述的测温装置,其特征在于,所述载台机构(1)包括:
底座(11);
载台(12),设置于所述底座(11)上,所述载台(12)能够固定所述物料。
3.根据权利要求2所述的测温装置,其特征在于,所述载台(12)的数量为多个,多个所述载台(12)择一设置于所述底座(11)上,以固定不同类型的所述物料。
4.根据权利要求3所述的测温装置,其特征在于,所述载台(12)包括:
安装部(121),与所述底座(11)连接;
固定部(122),连接于所述安装部(121)上,所述固定部(122)开设有能够插设于所述物料的夹槽(123)。
5.根据权利要求4所述的测温装置,其特征在于,
所述固定部(122)包括间隔设置的第一固定柱(1221)和第二固定柱(1222),所述第一固定柱(1221)靠近所述第二固定柱(1222)的一侧开设有第一半槽(1231),所述第二固定柱(1222)靠近所述第一固定柱(1221)的一侧开设有第二半槽(1232),所述第一半槽(1231)和所述第二半槽(1232)镜像设置,并形成所述夹槽(123),多个所述载台(12)的所述第一半槽(1231)的深度不等;或所述固定部(122)的上端开设有所述夹槽(123),所述夹槽(123)为方形槽。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的测温装置,其特征在于,所述激光输出组件(21)包括:
激光输出件,能够输出激光;
夹具(211),设置于所述位置调节组件(22)上,并能够固定所述激光输出件。
7.根据权利要求6所述的测温装置,其特征在于,所述夹具(211)包括:
底壳(2111),连接于所述位置调节组件(22),所述底壳(2111)开设有第一定位槽(2113);
上盖(2112),转动连接于所述底壳(2111),所述上盖(2112)开设有第二定位槽(2114),所述上盖(2112)盖设于所述底壳(2111),所述第一定位槽(2113)和所述第二定位槽(2114)扣合形成固定所述激光输出件的固定槽。
8.根据权利要求6所述的测温装置,其特征在于,所述激光输出件为光纤跳线。
9.根据权利要求1-5任意一项所述的测温装置,其特征在于,所述位置调节组件(22)沿第一方向、第二方向和第三方向调节所述激光输出组件(21)的位置,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。
10.根据权利要求1-5任意一项所述的测温装置,其特征在于,所述测温装置还包括:
激光功率计,设置于所述载台机构(1)远离所述激光输出机构(2)的一侧,并能够吸收所述激光输出组件(21)发射的激光和测试所述激光的功率。
CN202122162615.2U 2021-09-08 2021-09-08 一种测温装置 Active CN216386020U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202122162615.2U CN216386020U (zh) 2021-09-08 2021-09-08 一种测温装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202122162615.2U CN216386020U (zh) 2021-09-08 2021-09-08 一种测温装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN216386020U true CN216386020U (zh) 2022-04-26

Family

ID=81242697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202122162615.2U Active CN216386020U (zh) 2021-09-08 2021-09-08 一种测温装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN216386020U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101185536B1 (ko) 온도가 조절될 수 있는 척 장치를 이용한 반도체 웨이퍼테스트 장치 및 방법
JP2020170165A (ja) 高スループットシーケンシング用のレーザライン照明装置
US7980758B2 (en) Equipment for non-contact temperature measurement of samples of materials arranged under vacuum
JPH1026557A (ja) 熱処理システムの赤外パイロメータの校正方法及び装置
JP6441435B1 (ja) プローバ装置およびウェハチャック
CN106248585B (zh) 光学材料三维光热吸收的测量装置及方法
CN216386020U (zh) 一种测温装置
CN108508617A (zh) 激光器准直装置及准直方法
CN110823364A (zh) 一种强光照度计定标装置及定标方法
JP2004128509A (ja) 低温で基板を試験するプローバ
JP2020536740A (ja) レーザ加工システムのための装置、これを用いたレーザ加工システム、および光学素子の焦点位置を調節する方法
US20230358633A1 (en) Commanded location and calibration verification for high-speed laser motion systems
CN104949921A (zh) 用于测量试样的偏振光学性质的光学测量系统
Sterba et al. Basic laser tweezers
KR20220002520A (ko) 광학 프로브 시스템들을 위한 교정 척들, 교정 척들을 포함하는 광학 프로브 시스템들, 및 광학 프로브 시스템들을 이용하는 방법들
CN114279562B (zh) 一种变温条件下黑体腔吸收系数的定标方法
CN107886820B (zh) 一种集成式双光路激光电离效应模拟系统
WO1998028610A1 (en) Measuring head for use in radiant energy flash measuring of the thermal diffusivity of samples
JP2935344B2 (ja) 光半導体素子の温度特性試験装置
US5894352A (en) Absorption tester for optical components
CN209264607U (zh) 一种研究高压下样品相变的装置
US10751832B2 (en) Optical non-destructive inspection method and optical non-destructive inspection apparatus
Krankenhagen et al. Determination of the spatial energy distribution generated by means of a flash lamp
KR20040104235A (ko) 카메라용 렌즈 융착장치
KR101496335B1 (ko) 광소자 특성의 측정 장치

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant