CN216371527U - 一种半导体加工研磨设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工研磨设备，包括矩形槽，所述矩形槽的底部固定连接有支撑板，且所述支撑板的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿，所述支撑板顶部靠近右侧处开设有第一通孔，通过设置升降机构，第一齿条板、竖板、传动齿轮、直杆、摆动板、摆动杆和推板这些部件的相互配合，对研磨机本体进行上下移动，便于研磨工作展开，通过设置夹持机构，通过夹板、转动杆、固定杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、竖杆、第三锥形齿轮、第四锥形齿轮、第二齿条板、支撑座、转动齿轮、传动杆、第五锥形齿轮、第六锥形齿轮和螺纹套这些部件的相互配合，对半导体自动夹持，避免夹持不稳，导致研磨成品的品质。

Description

一种半导体加工研磨设备

技术领域

本实用新型涉及半导体研磨技术领域，尤其涉及一种半导体加工研磨设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

现有的半导体加工研磨装置不具备对半导体自动夹持，往往因夹持不稳定，导致研磨工作难以展开，以及不具备对研磨机的升降，不方便研磨工作的展开。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种半导体加工研磨设备。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种半导体加工研磨设备，包括矩形槽，所述矩形槽的底部固定连接有支撑板，且所述支撑板的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿，所述支撑板顶部靠近右侧处开设有第一通孔，所述支撑板的顶部中间位置处固定连接有支撑座，所述支撑板顶部中间位置处设有夹持机构，所述矩形槽前侧开设有开口，所述矩形槽前侧设有与开口相匹配的开关门，所述开关门的左侧设有若干个合页，所述开关门通过若干个合页与矩形槽活动连接，且所述开关门前侧靠近右侧处固定连接有把手，所述矩形槽内腔左侧靠近顶部处固定连接有电动伸缩杆，所述矩形槽内腔左右两侧均开设有第一滑槽，两个所述第一滑槽的内腔均活动连接有第一滑块，两个所述第一滑块相对的一侧共同固定连接有移动板，所述移动板的顶部设有升降机构，所述移动板的底部中间位置处固定连接有研磨机本体。

进一步的，所述升降机构包括第一齿条板，所述第一齿条板的左侧固定连接在电动伸缩杆的右端，所述矩形槽内腔顶部靠近中间位置处固定连接有竖板，所述竖板的前侧固定连接有第一轴承，所述第一齿条板的底部啮合有传动齿轮，所述传动齿轮圆心处贯穿设有直杆，所述直杆的后端插接在第一轴承的内腔。

进一步的，所述第一齿条板的顶部固定连接有第二滑块，所述矩形槽内腔顶部开设有第二滑槽，所述第二滑块活动连接在第二滑槽的内腔。

进一步的，所述直杆前端固定连接有摆动板，所述摆动板前侧靠近左侧处固定连接有支撑杆，所述支撑杆的前端活动连接有摆动杆，所述摆动杆远离摆动板的一端活动连接有推板，所述推板的底部与移动板的顶部固定连接。

进一步的，所述夹持机构包括第二齿条板，所述第二齿条板的顶部固定连接在移动板的底部靠近右侧处，所述移动板的左侧靠近底部处啮合有转动齿轮，所述转动齿轮后侧圆心处贯穿设有固定杆，所述矩形槽内腔后侧靠近底部处固定连接有第二轴承，所述固定杆的后端插接在第二轴承的内腔。

进一步的，所述固定杆的前端固定连接有第六锥形齿轮，所述第六锥形齿轮的左侧啮合有第五锥形齿轮，所述第五锥形齿轮左侧圆心处固定连接有传动杆，所述支撑板的顶部靠近右侧处固定连接有安装板，所述安装板的左侧固定连接有第三轴承，所述传动杆的左端贯穿第三轴承的内腔，并固定连接有第四锥形齿轮，所述第四锥形齿轮的底部啮合有第三锥形齿轮，所述第三锥形齿轮底部圆心处固定连接有竖杆，所述支撑板的底部靠近中间位置处固定连接有第四轴承，所述竖杆的底端插接在第四轴承的内腔，所述竖杆的外侧靠近底端处套设有第一锥形齿轮。

进一步的，所述第一锥形齿轮的底部啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的左侧圆心处固定连接有转动杆，所述转动杆的外侧靠近两端处开设有两个相反螺纹，所述支撑板的顶部开设有第三滑槽，所述第三滑槽的内腔活动连接有两个第三滑块，两个所述第三滑块的顶部均固定连接有夹板，两个所述夹板的左侧靠近底部处均固定连接有螺纹套，所述支撑座的左侧开设有第二通孔，所述转动杆的外侧均与相邻螺纹套活动连接，且所述转动杆的右端贯穿第二通孔的内腔，并延伸至外侧。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型通过设置升降机构，第一齿条板、竖板、传动齿轮、直杆、摆动板、摆动杆和推板这些部件的相互配合，对研磨机本体进行上下移动，便于研磨工作展开；

2、本实用新型通过设置夹持机构，通过夹板、转动杆、固定杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、竖杆、第三锥形齿轮、第四锥形齿轮、第二齿条板、支撑座、转动齿轮、传动杆、第五锥形齿轮、第六锥形齿轮和螺纹套这些部件的相互配合，对半导体自动夹持，避免夹持不稳，导致研磨成品的品质。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为本实施例的剖视图；

图2为本实施例的正视图；

图3为本实施例的图1中A处放大图；

图4为本实施例的图1中B处放大图。

图中：1、矩形槽；2、支撑板；3、电动伸缩杆；4、第一齿条板；5、竖板；6、传动齿轮；7、直杆；8、摆动板；9、摆动杆；10、推板；11、移动板；12、研磨机本体；13、夹板；14、转动杆；15、固定杆；16、第一锥形齿轮；17、第二锥形齿轮；18、竖杆；19、第三锥形齿轮；20、第四锥形齿轮；21、第二齿条板；22、支撑座；23、转动齿轮；24、传动杆；25、第五锥形齿轮；26、第六锥形齿轮；27、螺纹套。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图4，一种半导体加工研磨设备，包括矩形槽1，矩形槽1 的底部固定连接有支撑板2，且支撑板2的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿，支撑板2顶部靠近右侧处开设有第一通孔，支撑板2的顶部中间位置处固定连接有支撑座22，支撑板2顶部中间位置处设有夹持机构，矩形槽1前侧开设有开口，矩形槽1前侧设有与开口相匹配的开关门，开关门的左侧设有若干个合页，开关门通过若干个合页与矩形槽1活动连接，且开关门前侧靠近右侧处固定连接有把手，矩形槽1内腔左侧靠近顶部处固定连接有电动伸缩杆3，矩形槽1内腔左右两侧均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的内腔均活动连接有第一滑块，两个第一滑块相对的一侧共同固定连接有移动板11，移动板11的顶部设有升降机构，移动板11的底部中间位置处固定连接有研磨机本体12；

升降机构包括第一齿条板4，第一齿条板4的左侧固定连接在电动伸缩杆 3的右端，第一齿条板4的顶部固定连接有第二滑块，矩形槽1内腔顶部开设有第二滑槽，第二滑块活动连接在第二滑槽的内腔，矩形槽1内腔顶部靠近中间位置处固定连接有竖板5，竖板5的前侧固定连接有第一轴承，第一齿条板4的底部啮合有传动齿轮6，传动齿轮6圆心处贯穿设有直杆7，直杆7的后端插接在第一轴承的内腔，直杆7前端固定连接有摆动板8，摆动板8前侧靠近左侧处固定连接有支撑杆，支撑杆的前端活动连接有摆动杆9，摆动杆9 远离摆动板8的一端活动连接有推板10，推板10的底部与移动板11的顶部固定连接，对研磨机本体12进行上下移动，便于研磨工作展开；

夹持机构包括第二齿条板21，第二齿条板21的顶部固定连接在移动板 11的底部靠近右侧处，移动板11的左侧靠近底部处啮合有转动齿轮23，转动齿轮23后侧圆心处贯穿设有固定杆15，固定杆15的前端固定连接有第六锥形齿轮26，第六锥形齿轮26的左侧啮合有第五锥形齿轮25，第五锥形齿轮25左侧圆心处固定连接有传动杆24，支撑板2的顶部靠近右侧处固定连接有安装板，安装板的左侧固定连接有第三轴承，传动杆24的左端贯穿第三轴承的内腔，并固定连接有第四锥形齿轮20，第四锥形齿轮20的底部啮合有第三锥形齿轮19，第三锥形齿轮19底部圆心处固定连接有竖杆18，支撑板2 的底部靠近中间位置处固定连接有第四轴承，竖杆18的底端插接在第四轴承的内腔，竖杆18的外侧靠近底端处套设有第一锥形齿轮16，第一锥形齿轮 16的底部啮合有第二锥形齿轮17，第二锥形齿轮17的左侧圆心处固定连接有转动杆14，转动杆14的外侧靠近两端处开设有两个相反螺纹，支撑板2的顶部开设有第三滑槽，第三滑槽的内腔活动连接有两个第三滑块，两个第三滑块的顶部均固定连接有夹板13，两个夹板13的左侧靠近底部处均固定连接有螺纹套27，支撑座22的左侧开设有第二通孔，转动杆14的外侧均与相邻螺纹套27活动连接，且转动杆14的右端贯穿第二通孔的内腔，并延伸至外侧，矩形槽1内腔后侧靠近底部处固定连接有第二轴承，固定杆15的后端插接在第二轴承的内腔，对半导体自动夹持，避免夹持不稳，导致研磨成品的品质。

工作原理：首先，将通过把手打开开关门，将待研磨的半导体放入支撑座22的顶部，关闭开关门，启动研磨机本体12外接电源以及打开电动伸缩杆3外接电源，电动伸缩杆3向右移动从而带动第一齿条板4，在第二滑槽和第二滑块的作用下，使第一齿条板4向右移动，从而使传动齿轮6旋转，贯穿传动齿轮6圆心处的直杆7随之旋转，从而带动固定在直杆7前端的摆动板8摆动，在支撑杆的作用下，使摆动杆9进行摆动，从而使活动在摆动杆9 远离摆动板8一端的推板10向下移动，在第一滑槽和第一滑块的作用下，使移动板11向下移动，对研磨机本体12进行上下移动，便于研磨工作展开，当移动到所需位置处时，关闭电动伸缩杆3外接电源，在移动板11向下移动的同时，固定在移动板11底部的第二齿条板21向下移动，从而使啮合在第二齿条板21左侧的转动齿轮23旋转，从而使贯穿转动齿轮23圆心处的固定杆15旋转，从而使固定连接在转动齿轮23前端的第六锥形齿轮26旋转，第六锥形齿轮26旋转的同时带动第五锥形齿轮25旋转，固定在第五锥形齿轮25左侧的传动杆24也将旋转，从而带动固定在传动杆24左端的第四锥形齿轮20旋转，啮合在第四锥形齿轮20底部的第三锥形齿轮19旋转，第三锥形齿轮19旋转的同时带动竖杆18旋转，从而使套设在竖杆18外侧上的第一锥形齿轮16旋转，进而使啮合在第一锥形齿轮16右侧的第二锥形齿轮17旋转，从而带动固定在第二锥形齿轮17左侧圆心处的转动杆14旋转，因转动杆14 开设有相反的螺纹，在相邻第三滑块和第三滑槽的作用下，使相邻两个螺纹套27向中间移动，从而使相邻两个夹板13向中间移动，进而对半导体进行固定，避免夹持不稳，导致研磨成品的品质，当半导体研磨完成后，打开电动伸缩杆3外接电源，关闭研磨机本体12外接电源，电动伸缩杆3处于缩回状态，带动第一齿条板4向左移动，移动到一定高度时，关闭电动伸缩杆3 外接电源，打开开关门，取出研磨后的半导体，以上便是整个工作流程。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (7)

1.一种半导体加工研磨设备，包括矩形槽(1)，其特征在于：所述矩形槽(1)的底部固定连接有支撑板(2)，且所述支撑板(2)的底部靠近四角处均固定连接有支撑腿，所述支撑板(2)顶部靠近右侧处开设有第一通孔，所述支撑板(2)的顶部中间位置处固定连接有支撑座(22)，所述支撑板(2)顶部中间位置处设有夹持机构，所述矩形槽(1)前侧开设有开口，所述矩形槽(1)前侧设有与开口相匹配的开关门，所述开关门的左侧设有若干个合页，所述开关门通过若干个合页与矩形槽(1)活动连接，且所述开关门前侧靠近右侧处固定连接有把手，所述矩形槽(1)内腔左侧靠近顶部处固定连接有电动伸缩杆(3)，所述矩形槽(1)内腔左右两侧均开设有第一滑槽，两个所述第一滑槽的内腔均活动连接有第一滑块，两个所述第一滑块相对的一侧共同固定连接有移动板(11)，所述移动板(11)的顶部设有升降机构，所述移动板(11)的底部中间位置处固定连接有研磨机本体(12)。

2.如权利要求1所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述升降机构包括第一齿条板(4)，所述第一齿条板(4)的左侧固定连接在电动伸缩杆(3)的右端，所述矩形槽(1)内腔顶部靠近中间位置处固定连接有竖板(5)，所述竖板(5)的前侧固定连接有第一轴承，所述第一齿条板(4)的底部啮合有传动齿轮(6)，所述传动齿轮(6)圆心处贯穿设有直杆(7)，所述直杆(7)的后端插接在第一轴承的内腔。

3.如权利要求2所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述第一齿条板(4)的顶部固定连接有第二滑块，所述矩形槽(1)内腔顶部开设有第二滑槽，所述第二滑块活动连接在第二滑槽的内腔。

4.如权利要求2所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述直杆(7)前端固定连接有摆动板(8)，所述摆动板(8)前侧靠近左侧处固定连接有支撑杆，所述支撑杆的前端活动连接有摆动杆(9)，所述摆动杆(9)远离摆动板(8)的一端活动连接有推板(10)，所述推板(10)的底部与移动板(11)的顶部固定连接。

5.如权利要求1所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述夹持机构包括第二齿条板(21)，所述第二齿条板(21)的顶部固定连接在移动板(11)的底部靠近右侧处，所述移动板(11)的左侧靠近底部处啮合有转动齿轮(23)，所述转动齿轮(23)后侧圆心处贯穿设有固定杆(15)，所述矩形槽(1)内腔后侧靠近底部处固定连接有第二轴承，所述固定杆(15)的后端插接在第二轴承的内腔。

6.如权利要求5所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述固定杆(15)的前端固定连接有第六锥形齿轮(26)，所述第六锥形齿轮(26)的左侧啮合有第五锥形齿轮(25)，所述第五锥形齿轮(25)左侧圆心处固定连接有传动杆(24)，所述支撑板(2)的顶部靠近右侧处固定连接有安装板，所述安装板的左侧固定连接有第三轴承，所述传动杆(24)的左端贯穿第三轴承的内腔，并固定连接有第四锥形齿轮(20)，所述第四锥形齿轮(20)的底部啮合有第三锥形齿轮(19)，所述第三锥形齿轮(19)底部圆心处固定连接有竖杆(18)，所述支撑板(2)的底部靠近中间位置处固定连接有第四轴承，所述竖杆(18)的底端插接在第四轴承的内腔，所述竖杆(18)的外侧靠近底端处套设有第一锥形齿轮(16)。

7.如权利要求6所述的一种半导体加工研磨设备，其特征在于：所述第一锥形齿轮(16)的底部啮合有第二锥形齿轮(17)，所述第二锥形齿轮(17)的左侧圆心处固定连接有转动杆(14)，所述转动杆(14)的外侧靠近两端处开设有两个相反螺纹，所述支撑板(2)的顶部开设有第三滑槽，所述第三滑槽的内腔活动连接有两个第三滑块，两个所述第三滑块的顶部均固定连接有夹板(13)，两个所述夹板(13)的左侧靠近底部处均固定连接有螺纹套(27)，所述支撑座(22)的左侧开设有第二通孔，所述转动杆(14)的外侧均与相邻螺纹套(27)活动连接，且所述转动杆(14)的右端贯穿第二通孔的内腔，并延伸至外侧。

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