CN216305680U - 真空箱门铰链装置及真空箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空箱门铰链装置及真空箱,铰链装置包括底座、连接片和插销;底座设有第一插销孔,连接片上设有第二插销孔,插销穿过第一插销孔和第二插销孔后将底座与连接片实现枢接活动连接;底座设置在真空箱的箱体上,连接片设置在真空箱的门板上;在底座上设有第一插销调节孔,在第一插销调节孔适配螺接有第一插销调节旋钮;第一插销调节旋钮与插销垂直并抵顶设置。该真空箱门铰链装置,在门板锁紧过程中,由于第一插销调节旋钮对插销相对第一插销孔的离间距离可以调节,使得门板与箱体之间的密封胶条在密封不严时,可以手动调节第一插销调节旋钮,确保门板对应密封胶条保持一个相对一致的初始基准面,并保持相对较好的密封效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空箱的制备领域,尤其涉及一种真空箱门铰链装置及真空箱。
背景技术
真空箱,是一种常见的干燥设备,常用于实验室或生产车间,主要用于通过真空泵抽真空的方式来干燥置于真空箱中的相关物件、化学物质等;这种干燥方式,干燥速度快、干燥效果好,且可以避免空气中粉尘污染等优点。
为了使真空箱得到有效密封,在其箱体(也可以说是腔体)和门板之间的接触面上粘贴右密封胶条,密封胶条可以粘贴在箱体上,也可以粘贴在门板上。在真空箱的门板手动合上后,由于密封胶条的伸缩性,门板对应的初始基准面一般低于密封胶条的原值,即有一定的密封下压距离。最后通过真空泵抽吸腔体内部的空气吸附门板,实现腔体的负压,实现密封效果。
但是,现有的真空箱的门板铰链是固定焊接的,不能调节门板对应的初始基准面,长时间工作后就会因为磨损等原因,在门板关闭后其基准面未达到初始位置,导致真空吸附效果不好,漏真空;或者如果当密封胶条的厚度发生变化,原门板对应的初始基准面就会发生变化,此时出现门板关闭不严或者关闭不上等后果,也会导致漏真空。
实用新型内容
基于上述问题,本实用新型所要解决的问题在于提供一种在长时间使用后还能保持较好密封效果的真空箱门铰链装置,以及使用该真空箱门铰链装置的真空箱。
本实用新型的技术方案一如下:
一种真空箱门铰链装置,包括底座、连接片和插销;所述底座开设有第一插销孔,在所述连接片上开设有第二插销孔,所述插销穿过所述第一插销孔和第二插销孔后将所述底座与连接片连接起来,所述底座与连接片可绕所述插销相对转动;所述底座固定设置在真空箱的箱体上,所述连接片设置在真空箱的门板上;在所述底座上开设有带内螺纹的第一插销调节孔,在所述第一插销调节孔适配螺接有第一插销调节旋钮;该第一插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置;所述第一插销孔和第二插销孔的孔径分别为所述插销外径的1.1-2倍;
改变所述第一插销调节旋钮在所述第一插销调节孔的相对深度,并抵顶所述插销以适配改变所述插销相对第一插销孔的活动间隙大小,进而调整真空箱的门板与箱体之间的距离。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述第一插销调节孔的数量为两个以上;所述第一插销调节旋钮的数量与所述第一插销调节孔的数量一致。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,在所述连接片上设有带内螺纹的第二插销调节孔,在所述第二插销调节孔适配螺接有第二插销调节旋钮;该第二插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述第二插销调节孔的数量为两个以上;所述第二插销调节旋钮的数量与所述第二插销调节孔的数量一致。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述第一插销调节旋钮与插销形成第一平面;所述第二插销调节旋钮与插销形成第二平面,所述第一平面与第二平面相互平行或重合;或者所述第一平面与第二平面相互垂直。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,在所述插销的两端分别设有环形卡槽,在每个所述环形卡槽上套设有防止所述插销脱落的卡环。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,在所述插销上套设有圆环状的摩擦垫片,所述摩擦垫片设置在所述底座与连接片的接触面之间。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述底座包括相互垂直设置的安装块和枢接块,所述安装块固定安装在所述箱体上,所述枢接块固定设置在所述安装块上;所述第一插销孔以及所述第一插销调节孔分别设置在所述枢接块上。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述连接片包括固定支架和枢接支架;所述固定支架和枢接支架结合后的外形构造为呈水平朝向开口的“凹”字。
一实施例,所述真空箱门铰链装置中,所述第一插销孔和/或第二插销孔的横截面为圆形或跑道形。
本实用新型还提供另一技术方案:
一种真空箱,包括:箱体、门板、密封胶条、门锁装置、真空泵以及上述的真空箱门铰链装置;所述箱体包括一敞开口,所述密封胶条设置在所述门板后通过所述铰链装置安装在所述箱体的敞开口处,且所述密封胶条适配密封所述敞开口的边缘;所述真空箱门铰链装置设置所述箱体与所述门板之间;所述真空箱门铰链装置的底座固定设置在真空箱的箱体上,所述真空箱门铰链装置的连接片设置在真空箱的门板上。
本实用新型提供的真空箱门铰链装置,其底座上设有带内螺纹的第一插销调节孔,在第一插销调节孔适配螺接有第一插销调节旋钮,改变第一插销调节旋钮在第一插销调节孔的相对深度,并抵顶插销以适配改变插销相对第一插销孔的活动间隙大小,进而调整真空箱的门板与箱体之间的距离;在门板锁紧过程中,由于第一插销调节旋钮对插销相对第一插销孔的离间距离可以进行调节,使得门板与箱体之间的密封胶条在密封不严时,可以通过手动调节第一插销调节旋钮,确保门板对应密封胶条保持一个相对一致的初始基准面,这样门板在关闭后,就可以保持相对较好的密封效果。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中,用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中:
图1A、1B为本实用新型实施例提供的真空箱的外形结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的真空箱的内腔结构示意图;
图3为图1B中A部分放大示意图;
图4为本实用新型实施例提供的铰链装置结构示意图;
图5为本实用新型实施例提供的铰链装置局部分解结构示意图;
图6为本实用新型实施例提供的铰链装置分解示意图;
图7为图6中连接片的结构示意图;
图8为图6中底座部分的分解示意图;
图9为图6中第一插销调节旋钮的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型的较佳实施例作进一步详细说明。
如图1A、1B、2和3所示,在实验室,尤其是化学、医学、生物科学等实验室,以及生产车间中,真空箱50是一个常用设备,经常被用于真空保存、真空干燥等。为了使真空箱50的内腔21达到真空态,真空箱50的整体是密封的,尤其是真空箱50的箱体20与门板30之间的锁紧接触面或者关合接触面,则是真空箱50的重点密封对象,一般而言,都在在门板30上、且位于关合接触面位置安装有密封胶条40,密封胶条10的规格尺寸、形状等,与所述内腔21的腔口适配,以确保密封效果优良,并防止漏气现象。
上述真空箱50,包括箱体20、门板30、密封胶条40、铰链装置60、真空泵(图中未示出)以及真空箱门锁装置10。
本实用新型中,箱体20的外形构造为立方体结构,正侧面设有一敞开口22,也是方形构造;箱体20的其他五个侧面,如左侧面、右侧面、后侧面、上侧面、下侧面均由板材密封封合。真空泵则可以安装在箱体20的内部某个空间。
门板30的外形构造与敞开口22的外形构造相似,为方形构造;而密封胶条40为方形环状构造,采用具有一定弹性的橡胶、硅胶等材质制得,其规格尺寸等于或略大于敞开口22的规格尺寸,使述密封胶条40适配密封敞开口22的边缘;这样可以在门板30与箱体20上的敞开口22关合时,密封胶条40可以对门板30与敞开口22的间隙起到密封作用,确保真空箱50内部,也就是真空腔21处于密封状态。
门板30与箱体20之间,通过铰链装置60活动连接,且铰链装置60至少两个以上,这样可以确保连接稳定,避免出现因门板自身重量在旋转扭力作用下而出现门板位移偏差。
上述真空箱门锁装置10设置箱体20与门板30之间,该真空箱门锁装置10在真空箱50内,用于在真空腔21内实现真空密封后锁紧。
为了使真空箱50的门板30通过密封胶条与箱体20之间,在门板30手动合上后,由于密封胶条40的伸缩性,门板30对应的初始基准面一般低于密封胶条的原值,即有一定的密封下压距离。但是,真空箱50在使用一段时间以后,门板30对应密封胶条40的初始基准面,会因磨损等原因,在门板30关闭后其基准面未达到初始位置,导致真空吸附效果不好,漏真空;或者如果当密封胶条40的相应位置厚度发生变化,门板30对应密封胶条40的初始基准面就会发生变化,此时出现门板30与箱体20之间关闭不严或者关闭不上等后果,也会导致漏真空。
如图1、4、5和6所示,本实用新型提供的真空箱门铰链装置60,共有两个,分别安装在真空箱50的门板30和箱体20上,且沿垂直方向同侧安装。每个铰链装置60包括底座620、连接片610和插销630。底座620开设有第一插销孔6223,在连接片610上开设有第二插销孔6123,插销630穿过第一插销孔6223和第二插销孔6123后将底座620与连接片610连接起来,底座620与连接片610可绕插销630的轴线相对转动。底座620固定设置在真空箱50的箱体20上,连接片610设置在真空箱50的门板30上;底座620上开设有带内螺纹的第一插销调节孔6221,在第一插销调节孔6221适配螺接有第一插销调节旋钮601;该第一插销调节旋钮601与插销630垂直并抵顶设置。第一插销孔6223的孔径为插销630外径的1.1-1.5倍,甚至是2倍。通过改变第一插销调节旋钮601在第一插销调节孔6221的相对深度,并抵顶插销630以适配改变插销630相对第一插销孔6223的活动间隙大小,进而调整真空箱50的门板30与箱体20之间的距离。这样,在每次真空箱50锁紧过程中,由于第一插销调节旋钮601对插销630相对第一插销孔6223的离间距离可以进行调节,使得门板30与箱体20之间的密封胶条40在出现密封不严时,就可以通过手动调节第一插销调节旋钮601后确保门板30对应密封胶条40保持一个相对一致的初始基准面,使门板30在关闭后,可以保持相对较好的密封效果。
如图8所示,要想在第一插销孔6223内调整插销630的相对间隙空隙,则需要确保第一插销孔6223的孔径略大于插销630的外径,便于插销630在第一插销孔6223内实现宽松穿套设置连接;这样可以调整螺接在第一插销调节孔6221内的第一插销调节旋钮601,使其通过抵顶插销630沿Y轴方向,适应性地调整插销630在Y轴向上与第一插销孔6223的孔壁之间的间隙距离,进而通过插销630及连接片610带动门板20相对Y轴向移动,从而调整门板30与箱体20之间的间隙距离,使门板30与箱体20之间的密封胶条40在出现密封不严时,通过手动调节第一插销调节旋钮601后确保门板30对应密封胶条40保持一个相对一致的初始基准面,使门板30在关闭后,保持相对较好的密封效果。
较好地,由于插销630在底座620和连接片610之间主要是其枢轴旋转连接作用,故插销630的外形构造为圆柱状;又由于插销630在第一插销孔6223的调节方向是沿Y轴向移动调整。因此,第一插销孔6223横截面的外形构造为跑道状环形构造,且沿Y轴向延伸设置,且第一插销孔6223在Y轴向两端的圆滑半径为插销630外径的1.1倍。第一插销孔6223在X轴向的间隔距离为插销630外径的1.1倍。这样设计,既可以确保插销630在第一插销孔6223移动,又能尽可能降低插销630在第一插销孔6223内因间隙空间过大使门板30余箱体20之间出现松垮密封不严的现象。
当然,在其他实施例中,第一插销孔6223的横截面也可以是圆形或椭圆形。
较好地,如图6和8所示,上述底座620包括相互垂直设置的安装块621和枢接块622。安装块621沿X轴向设置,安装块62通过螺纹穿过固定孔6211固定安装在箱体20上,而枢接块622沿Y轴向固定设置在安装块621上。安装块621和枢接块622之间可以是焊接固定,或者安装块621和枢接块622是一体机加工成型得到。本实施例中,优选后者。这样设计的效果,就是因为门板30具有一定的厚度,需要适应性的抬高门板30相对箱体20在Y轴向上的高度,同时又给插销60在第一插销孔6223提供一个可调节的间隙距离。相应地,上述的第一插销孔6223以及第一插销调节孔6221也分别设置在枢接块622上,且第一插销孔6223沿Z轴向设置。
如图5、6和8所示,第一插销调节孔6221的数量为两个以上;相应地,第一插销调节旋钮601的数量与第一插销调节孔6221的数量一致。在本实施例中,第一插销调节孔6221及第一插销调节旋钮601的数量均为两个。通过两个第一插销调节旋钮601的调节,可以使插销630在第一插销调节孔6221内沿Z轴向保持一个相对垂直的状态,从而使门板30与箱体20之间的密封胶条40保持一个相对一致的初始基准面,使门板30在关闭后,保持相对较好的密封效果。
在另一实施例中,有时候为了提升门板30与箱体20之间有一个较大的间隙调节空间,以便更好的修正门板30相对密封胶条40保持一个相对一致的初始基准面,如果还是通过第一插销调节孔6221及第一插销调节旋钮601来调节,可能调节范围有限,这时就需要通过其他技术方案来实现,具体如下:
如图7所示,在连接片611上设有带内螺纹的第二插销调节孔6121,在第二插销调节孔6121中适配螺接有第二插销调节旋钮604;第二插销调节旋钮604与插销630垂直并抵顶设置。第二插销调节孔6121及第二插销调节旋钮604所起的作用,与第一插销调节孔6221及第一插销调节旋钮601所起的作用是一致的,在此不再赘述。
相应地,要想在第二插销孔6123内调整插销630的相对间隙空隙,则需要确保第二插销孔6123的孔径略大于插销630的外径,便于插销630在第二插销孔6123内实现宽松穿套设置连接。第二插销孔6123横截面的外形构造为跑道状环形构造,与第一插销孔6223设置相一致,且设置方向也是一致的。第二插销孔6123两端的圆滑半径为插销630外径的1.1倍。第二插销孔6123间隔距离为插销630外径的1.1倍。这样设计,既可以确保插销630在第二插销孔6123移动,又能尽可能降低插销630在第二插销孔6123内因间隙空间过大使门板30余箱体20之间出现松垮密封不严的现象。
如图7所示,第二插销调节孔6121的数量为两个以上;相应地,第二插销调节旋钮604的数量与第二插销调节孔6121的数量相一致。在本实施例中,优选,第二插销调节孔6121及第二插销调节旋钮604的数量均为两个,所起的作用,与第一插销调节孔6221及第一插销调节旋钮601一样,在此不再赘述。
较好实施例,如图6和7所示,连接片610为了与底座相适配安装,又鉴于底座620包括安装块621和枢接块622。因此,连接片610包括固定支架611和枢接支架612;固定支架611和枢接支架结612合后的外形构造为呈水平朝向开口的“凹”字;其中,固定支架611设有安装孔6111,螺丝穿过安装孔6111后可以将固定支架安装在门板30上;枢接支架结612为两个,两者之间设有开口613,开口613用于适配卡入纳接底座620上的枢接块622。开口613的宽度和深度与枢接块622的外形尺寸相适配。
一实施例中,为了平衡,由于真空箱的门板30为金属制作得到,且门板30尺寸较大,自身重量将会在插销630上形成一个沿垂直平面的逆时针或顺时针方向的扭力;这种扭力体现在第一插销调节旋钮、第二插销调节旋钮分别与插销形成的扭力上。因此,为消除或降低这种旋转扭力,通过如下技术方案来实现:
根据几何学原理,如图4至8所示,第一插销调节旋钮601与插销630形成第一平面(图中未示出),即Y轴向与Z轴向形成的平面;第二插销调节旋钮604与插销630形成第二平面(图中未示出),也是Y轴向与Z轴向形成的平面;此时,第一平面与第二平面相互平行或重合;这样可以消除或降低旋转扭力。
在其他实施例中,第一插销调节旋钮601与插销630形成第一平面(图中未示出),即Y轴向与Z轴向形成的平面;第二插销调节旋钮604与插销630形成第二平面(图中未示出),也是X轴向与Z轴向形成的平面;此时,第一平面与第二平面相互垂直;这样也可以消除或降低旋转扭力。
较好的,如图6所示,在插销630的两端分别设有环形卡槽631,在每个环形卡槽631上套设有防止插销脱落的卡环602。具体地,当插销630将底座620与连接片610枢接起来后,两个卡环602分别卡入插销630两端的环形卡槽631内,以防止插销630从底座620与连接片610中脱落。卡环602为C形卡环,具有一定的刚性和弹性。
又一实施例中,如图5所示,在插销630上套设有圆环状的摩擦垫片603,摩擦垫片603设置在底座620与连接片610的接触面之间。由于真空箱50的门板30为金属制作得到,且门板30尺寸较大,又是采用侧边枢接;这样,门板30将会有一个向下的重力,这个重力将会施加到插销630上,并在底座620与连接片610下端的接触面之间形成摩擦力,久而久之,则会损坏底座620和/或连接片610,因此,增加一个摩擦垫片603,可以有效保护底座620与连接片610,防止二者因开/关门板30锁产生的摩擦力而损坏。
一个较好的实施例中,如图5、6、8、9所示,第一插销调节旋钮601的一端抵插销630表面,另一端,也就是外露调节端设有向内凹陷的套孔6011,该套孔6011的横截面为正多边形,如,三角形、四边形、五边形或六边形。套孔6011的作用是用于套插调节工具,如,六角螺丝刀等,且插调节工具的横截面与套孔6011的横截面相适配;本实施例中,套孔6011的横截面为正六边形,也就是常见的六角套孔。当需要调门板30与箱体20之间的相对间隙距离,如,加大离间距离时,则将第一插销调节旋钮601从套孔6011往外适当拧出,使插销630与第一插销孔6223之间的距离适当增大;达到增大门板30与箱体20之间的相对间隙距离的效果;如,需要减小离间距离时,则将第一插销调节旋钮601从套孔6011往里外适当拧紧,使插销630与第一插销孔6223之间的距离适当减小;达到减小门板30与箱体20之间的相对间隙距离的效果。
进一步地,为了精确调节门板30与箱体20之间的相对间隙距离,如图5、6、8、9所示,在底座620的第一插销调节孔6221的外周设有精确的角度刻度线6222,以及在第一插销调节旋钮601的套孔6011的外边缘处设有刻度标识点6012。假设,角度刻度线6222有360条,且相邻角度刻度线6222的夹角相等,即1°;当第一插销调节旋钮601旋转后,其刻度标识点6012对应某一个角度刻度线6222时,则可以读出第一插销调节旋钮601在某一圈内的相对旋转角度。
或者,在其他实施例中,在底座620的第一插销调节孔6221的外周设有几个小圆点6222,每个小圆点6222以第一插销调节孔6221的中心为圆心形成同心圆分布,相邻小圆点6222与圆心形成的夹角相等,如,小圆点6222数量为五个,则五个小圆点6222分别与圆心形成的夹角为72°。当第一插销调节旋钮601旋转后,其刻度标识点6012从一个小圆点6222转到另一个小圆点6222时,则可以读出第一插销调节旋钮601在某一圈内的相对旋转角度为72°的倍数,如,1,2,……,5倍,同一圈内旋转,最多为5倍,也就是360°。
当然,第一插销调节孔6221的外周设置的小圆点或角度刻度线6222越多,第一插销调节旋钮601旋转调整的精度就越高,越容易使门板30与箱体20之间的相对间隙距离达到相应的调整效果,使得门板30与箱体20之间的密封胶条40在密封不严时,可以通过微调保持一个相对一致的初始基准面,这样门板30在关闭后,都可以保持相对较好的密封效果。
相应地,如图7所示,在连接片610的第二插销调节孔6121外周也设有角度刻度线或小圆点6122,在第二插销调节旋钮604上也设有刻度标识点。第二插销调节旋钮604与第一插销调节旋钮601的外形构造、相应刻度标识点等相一致,第二插销调节孔6121外周的角度刻度线或小圆点6122设置也与第一插销调节孔6221的外周圆点或角度刻度线6222的设置相一致;这样,第二插销调节旋钮604相对第二插销调节孔6121旋转精度的调节,在此不再赘述。
应当理解的是,上述针对本实用新型较佳实施例的表述较为详细,并不能因此而认为是对本实用新型专利保护范围的限制,本实用新型的专利保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种真空箱门铰链装置,其特征在于,所述真空箱门铰链装置包括底座、连接片和插销;所述底座开设有第一插销孔,在所述连接片上开设有第二插销孔,所述插销穿过所述第一插销孔和第二插销孔后将所述底座与连接片连接起来,所述底座与连接片可绕所述插销相对转动;所述底座固定设置在真空箱的箱体上,所述连接片设置在真空箱的门板上;在所述底座上开设有带内螺纹的第一插销调节孔,在所述第一插销调节孔适配螺接有第一插销调节旋钮;该第一插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置;所述第一插销孔和第二插销孔的孔径分别为所述插销外径的1.1-2倍;
改变所述第一插销调节旋钮在所述第一插销调节孔的相对深度,并抵顶所述插销以适配改变所述插销相对第一插销孔的活动间隙大小,进而调整真空箱的门板与箱体之间的距离。
2.根据权利要求1所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,所述第一插销调节孔的数量为两个以上;所述第一插销调节旋钮的数量与所述第一插销调节孔的数量一致。
3.根据权利要求1所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,在所述连接片上设有带内螺纹的第二插销调节孔,在所述第二插销调节孔适配螺接有第二插销调节旋钮;该第二插销调节旋钮与所述插销垂直并抵顶设置。
4.根据权利要求3所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,所述第二插销调节孔的数量为两个以上;所述第二插销调节旋钮的数量与所述第二插销调节孔的数量一致。
5.根据权利要求3所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,所述第一插销调节旋钮与插销形成第一平面,所述第二插销调节旋钮与插销形成第二平面,所述第一平面与第二平面相互平行或重合,或者所述第一平面与第二平面相互垂直。
6.根据权利要求1所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,在所述插销的两端分别设有环形卡槽,在每个所述环形卡槽上套设有防止所述插销脱落的卡环。
7.根据权利要求1所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,在所述插销上套设有圆环状的摩擦垫片,所述摩擦垫片设置在所述底座与连接片的接触面之间。
8.根据权利要求1至7任一所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,所述底座包括相互垂直设置的安装块和枢接块,所述安装块固定安装在所述箱体上,所述枢接块固定设置在所述安装块上;所述第一插销孔以及所述第一插销调节孔分别设置在所述枢接块上。
9.根据权利要求8所述的真空箱门铰链装置,其特征在于,所述连接片包括固定支架和枢接支架;所述固定支架和枢接支架结合后的外形构造为呈水平朝向开口的“凹”字。
10.一种真空箱,其特征在于,包括:箱体、门板、密封胶条、门锁装置、真空泵以及权利要求1至9任一所述的真空箱门铰链装置;所述箱体包括一敞开口,所述密封胶条设置在所述门板后通过所述铰链装置安装在所述箱体的敞开口处,且所述密封胶条适配密封所述敞开口的边缘;所述真空箱门铰链装置设置所述箱体与所述门板之间;所述真空箱门铰链装置的底座固定设置在真空箱的箱体上,所述真空箱门铰链装置的连接片设置在真空箱的门板上。
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CN202120605062.0U CN216305680U (zh) | 2021-03-25 | 2021-03-25 | 真空箱门铰链装置及真空箱 |
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- 2021-03-25 CN CN202120605062.0U patent/CN216305680U/zh active Active
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CN114396747A (zh) * | 2021-03-25 | 2022-04-26 | 青岛惠科微电子有限公司 | 真空箱门及真空箱 |
CN114396747B (zh) * | 2021-03-25 | 2024-01-30 | 青岛惠科微电子有限公司 | 真空箱门及真空箱 |
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GR01 | Patent grant | ||
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