CN216299050U - 尺寸量测专用治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及测量夹具技术领域，具体涉及尺寸量测专用治具，包括工作台，所述工作台顶面的一侧设置有两个能改变其位置的定位销，所述工作台顶面与所述定位销相对的一侧设置有可滑动的滑块，所述滑块可在其滑行路径的任意位置锁停。本实用新型中，本装置的量程范围较广，不同尺径大小的工件均能通过本装置得到精准的测量，而且安装与拆卸都较为简便，大大节省了测量耗时，对整个工序的效率提升较为明显。

Description

尺寸量测专用治具

技术领域

本实用新型涉及测量夹具技术领域，具体涉及尺寸量测专用治具。

背景技术

目前在对圆形工件的尺寸进行测量时，一般通过胶结或制作特殊的固定治具将其固定，以确保测量时的精度，但在对不同尺寸的硅晶圆进行测量时，对这种特殊硅材尚没有专用的测量治具，即便有相应的测量治具，不同硅晶圆相互间也无法通用，在测量时需频繁拆卸，不仅耗时耗力，也会因人为原因造成测量精度的降低。

实用新型内容

为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供尺寸量测专用治具，相较于硅晶圆测量所用的传统治具，本装置能够确保多种型号以及尺寸的工件均能在本装置的量程范围内得到精准测量，且安装与拆卸都较为简便，使用快捷。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

尺寸量测专用治具，包括工作台，所述工作台顶面的一侧设置有两个能改变其位置的定位销，所述工作台顶面与所述定位销相对的一侧设置有可滑动的滑块，所述滑块可在其滑行路径的任意位置锁停。

进一步在于，所述工作台顶面的中部开设有滑槽，所述滑槽自所述工作台的中部向其侧边延伸。

进一步在于，所述工作台顶面的一侧关于所述滑槽开设有镜像对称的六个定位孔，其中，同一侧的三个所述定位孔等距排列，所述工作台的顶面对应所述定位孔的位置还设置有防滑环，所述定位销与所述定位孔活动连接，且所述定位销的端部还套设有尼龙套。

进一步在于，所述工作台的一侧壁设置有两个等距排列的固定板，所述固定板呈L型结构，其一端通过螺栓一与所述工作台连接，另一端通过螺栓二与水平地面连接。

进一步在于，所述滑槽内设置有与其线性方向相同的定位板，所述定位板通过限位销与所述滑槽的底面相连，所述定位板的顶面中部设置有滑轨，所述滑轨通过其中部呈线性排列的多个螺栓三与所述定位板相连，所述滑轨的两侧均开设有限位槽。

进一步在于，所述滑块呈矩形块状结构，其顶面的一侧设置有所述定位销，其一侧壁的中部开设有锥形槽，所述锥形槽开口端位置的环壁开设有螺纹，所述滑块的底面设置有两个镜像对称的限位块，所述限位块的突起端与所述限位槽相契合，二者滑动套接，所述限位块与所述滑块为一体式结构，所述滑块的底面还开设有夹紧槽，所述夹紧槽内设置有与其形状大小相同的夹紧块，所述夹紧块的顶面中部还开设有矩形槽。

进一步在于，所述夹紧块的底面与所述滑块的底面平行，且所述夹紧槽与所述锥形槽连通。

进一步在于，所述滑块的底面与所述滑轨的顶面之间间隙配合设置。

进一步在于，所述锥形槽内设置有锁紧柱，所述锁紧柱的一端连接有锥型块，所述锁紧柱的环壁中部套设有螺纹套，所述螺纹套与所述螺纹旋合连接。

进一步在于，当所述锥型块与所述夹紧块互不接触时，所述滑块可沿着所述滑轨自由滑动。

本实用新型的有益效果：

1、本装置的量程范围较广，不同尺径大小的工件均能通过本装置得到精准的测量，而且安装与拆卸都较为简便，大大节省了测量耗时，对整个工序的效率提升较为明显。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本实用新型中固定板的结构示意图；

图4是本实用新型的剖面结构示意图；

图5是图4中B处的局部放大图；

图6是本实用新型中定位板与滑轨的结构示意图；

图7是本实用新型中滑块的底面结构示意图；

图8是本实用新型中夹紧块与锁紧柱的结构示意图。

图中：1、工作台；11、滑槽；12、支腿；13、定位孔；14、防滑环；2、定位销；21、尼龙套；3、固定板；31、螺栓一；32、螺栓二；4、定位板；41、滑轨；42、限位销；43、螺栓三；44、限位槽；5、滑块；51、锥形槽；52、螺纹；53、限位块；54、夹紧槽；55、夹紧块；56、矩形槽；6、锁紧柱；61、锥型块；62、螺纹套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示为本实用新型中尺寸量测专用治具的整体结构示意图，目前在对硅晶圆的尺寸进行测量时，受限于硅晶圆的材质，目前大多使用胶结或特用夹具对其进行固定，然后再进行测量，但胶结方式测量后的清理较为麻烦，会对后续的工序造成障碍，而特用夹具的适用性较差，固定起来也较为繁琐，使用不便，基于对上述问题的考量，本领域技术人员经过长期的摸索以及试验，创设性地研发出本款硅晶圆尺寸量测专用治具，相较于传统的测量治具，本装置的量程范围较广，不同尺径大小的工件均能通过本装置得到精准的测量，而且安装与拆卸都较为简便，大大节省了测量耗时，对整个工序的效率提升较为明显。

如图1和图2所示，尺寸量测专用治具，包括工作台1，工作台1顶面的中部开设有滑槽11，滑槽11自工作台1的中部向其侧边延伸，工作台1底面的四个端角均设置有起支撑作用的支腿12，工作台1顶面的一侧设置有两个能改变其位置的定位销2，工作台1顶面与定位销2相对的一侧设置有可滑动的滑块5，滑块5在滑槽11内滑动且其可在滑行轨迹的任意位置锁停，且滑块5顶面的一侧同样设置有定位销2，在使用时，根据将要测量的硅晶圆的大概尺寸确定好两个定位销2在工作台1顶面的位置，然后将硅晶圆环壁的一侧与这两个定位销2 抵触，此时硅晶圆位于滑槽11的中间位置，沿着滑槽11滑动滑块5直至单个定位销2与硅晶圆环壁的另一侧相抵，并锁紧滑块5的位置，三个定位销2便将硅晶圆的位置固定住，此时可以进行测量，在测量结束后，滑动滑块5便可将硅晶圆取下，整个过程方便快捷，极大缩短了测量耗时，有较高的应用价值。

如图2所示，工作台1顶面的一侧关于滑槽11开设有镜像对称的六个定位孔13，其中，同一侧的三个定位孔13等距排列，根据测量的实际使用需求，还可将三个定位孔13抛物线排列，更加契合硅晶圆的形状，工作台1的顶面对应定位孔13的位置还设置有防滑环14，防滑环14可在定位销2插入后增大其摩擦力，在本实施例中，定位销2与定位孔13旋合连接，当然，插拔式的连接方式同样可实现定位销2的固定，且定位销2的端部还套设有尼龙套21，尼龙套 21将定位销2的端部包裹住，避免定位销2的端部与硅晶圆环壁抵触时，划伤硅晶圆，给硅晶圆带来瑕疵。

如图3所示，在本实施例中，工作台1的一侧壁设置有两个等距排列的固定板3，固定板3呈L型结构，其一端通过螺栓一31与工作台1连接，另一端通过螺栓二32与水平地面连接，从而确定工作台1的位置。

如图4和图6所示，滑槽11内设置有与其线性方向相同的定位板4，定位板4通过限位销42与滑槽11的底面相连，定位板4的顶面中部设置有滑轨41，滑轨41通过其中部呈线性排列的多个螺栓三43与定位板4相连，滑轨41的两侧均开设有限位槽44，在本实施例中，定位板4的顶面中部开设有与滑轨41契合的卡槽，滑轨41与卡槽卡接后再通过螺栓三43与定位板4固定。

如图7所示，滑块5呈矩形块状结构，其一侧壁的中部开设有锥形槽51，锥形槽51开口端位置的环壁开设有螺纹52，滑块5的底面设置有两个镜像对称的限位块53，限位块53的突起端与限位槽44相契合，二者滑动套接，限位块53与滑块5为一体式结构，滑块5的底面还开设有夹紧槽54，夹紧槽54内设置有与其形状大小相同的夹紧块55，夹紧块55的顶面中部还开设有矩形槽56，夹紧块55的两端可通过胶结或螺丝固定于夹紧槽54的内腔顶面连接，夹紧块 55的制成材料可为具有一定伸缩能力的弹性材料，夹紧块55的底面与滑块5的底面平行，而滑块5的底面与滑轨41的顶面之间间隙配合设置，当滑块5正常滑行时，夹紧块55与滑轨41的顶面同样不接触，保证滑动过程的流畅性，且夹紧槽54与锥形槽51连通，即锥形槽51的锥形部分位于夹紧槽54的上方。

如图5和图8所示，锥形槽51内设置有锁紧柱6，锁紧柱6的一端连接有锥型块61，锁紧柱6的环壁中部套设有螺纹套62，螺纹套62与螺纹52旋合连接，在滑动滑块5时，锥型块61处于锥形槽51的锥形部分内，锥型块61与夹紧块55互不接触，当需要锁停滑块5时，旋转锁紧柱6伸出锥形槽51的一端，由于螺纹套62与锥形槽51内壁的螺纹52旋合连接，锁紧柱6沿着锥形槽51 向着其内部移动，当锥型块61穿过矩形槽56后，锁紧柱6的环壁因为其尺寸较大与矩形槽56的底面抵触，夹紧块55在锁紧柱6的张紧作用下与下方的滑轨41顶面抵触，在摩擦力的作用下夹紧块55连同滑块5被锁停在滑轨41上，从而实现滑块5在滑轨41的任意位置锁停，这种方式可提高该装置的测量自由度，使用较为方便。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.尺寸量测专用治具，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)顶面的一侧设置有两个能改变其位置的定位销(2)，所述工作台(1)顶面与所述定位销(2)相对的一侧设置有可滑动的滑块(5)，所述滑块(5)可在其滑行路径的任意位置锁停。

2.根据权利要求1所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述工作台(1)顶面的中部开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)自所述工作台(1)的中部向其侧边延伸。

3.根据权利要求2所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述工作台(1)顶面的一侧关于所述滑槽(11)开设有镜像对称的六个定位孔(13)，其中，同一侧的三个所述定位孔(13)等距排列，所述工作台(1)的顶面对应所述定位孔(13)的位置还设置有防滑环(14)，所述定位销(2)与所述定位孔(13)活动连接，且所述定位销(2)的端部还套设有尼龙套(21)。

4.根据权利要求1所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述工作台(1)的一侧壁设置有两个等距排列的固定板(3)，所述固定板(3)呈L型结构，其一端通过螺栓一(31)与所述工作台(1)连接，另一端通过螺栓二(32)与水平地面连接。

5.根据权利要求3所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述滑槽(11)内设置有与其线性方向相同的定位板(4)，所述定位板(4)通过限位销(42)与所述滑槽(11)的底面相连，所述定位板(4)的顶面中部设置有滑轨(41)，所述滑轨(41)通过其中部呈线性排列的多个螺栓三(43)与所述定位板(4)相连，所述滑轨(41)的两侧均开设有限位槽(44)。

6.根据权利要求5所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述滑块(5) 呈矩形块状结构，其顶面的一侧设置有所述定位销(2)，其一侧壁的中部开设有锥形槽(51)，所述锥形槽(51)开口端位置的环壁开设有螺纹(52)，所述滑块(5)的底面设置有两个镜像对称的限位块(53)，所述限位块(53)的突起端与所述限位槽(44)相契合，二者滑动套接，所述限位块(53)与所述滑块(5)为一体式结构，所述滑块(5)的底面还开设有夹紧槽(54)，所述夹紧槽(54)内设置有与其形状大小相同的夹紧块(55)，所述夹紧块(55)的顶面中部还开设有矩形槽(56)。

7.根据权利要求6所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述夹紧块(55)的底面与所述滑块(5)的底面平行，且所述夹紧槽(54)与所述锥形槽(51)连通。

8.根据权利要求6所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述滑块(5)的底面与所述滑轨(41)的顶面之间间隙配合设置。

9.根据权利要求6或7所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，所述锥形槽(51)内设置有锁紧柱(6)，所述锁紧柱(6)的一端连接有锥型块(61)，所述锁紧柱(6)的环壁中部套设有螺纹套(62)，所述螺纹套(62)与所述螺纹(52)旋合连接。

10.根据权利要求9所述的尺寸量测专用治具,其特征在于，当所述锥型块(61)与所述夹紧块(55)互不接触时，所述滑块(5)可沿着所述滑轨(41)自由滑动。

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