CN216284962U - 一种用于微型芯片检测的显微成像装置 - Google Patents

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CN216284962U CN202122818179.XU CN202122818179U CN216284962U CN 216284962 U CN216284962 U CN 216284962U CN 202122818179 U CN202122818179 U CN 202122818179U CN 216284962 U CN216284962 U CN 216284962U
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王旭东
刘勇
王兴国
樊晓屏
邓皓
张震华
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Abstract

本实用新型公开了一种用于微型芯片检测的显微成像装置,包括水平台座和存储计算机,水平台座竖向固定有竖杆,竖杆顶部设有升降驱动装置,升降驱动装置上横向设有升降联动杆,升降驱动装置用于驱动升降联动杆升降运动,竖杆中部升降安装有光源升降横杆。升降联动杆端部设有显微成像组件,光源升降横杆端部设有与显微成像组件相对应的环形光源;水平台座上设有夹具,存储计算机与显微成像组件连接。本实用新型通过显微成像组件的相机、远心镜头组合对集成有多个微型芯片的样本集合条进行对焦显微成像拍摄并将显微成像图像传输至存储计算机中存储,检测人员通过存储计算机对显微成像图像进行查询和检测,降低了检测难度,提高了检测效率。

Description

一种用于微型芯片检测的显微成像装置
技术领域
本实用新型涉及微型芯片检测领域,尤其涉及一种用于微型芯片检测的显微成像装置。
背景技术
随着现代工业的发展,集成电路不仅在规模上越来越大,而且在精细程度方面的要求不断提高。其中,芯片作为大规模集成电路不可或缺的一部分,功能日益强大的同时,它在系统中的任务也正在向多元化和复杂化发展,微型芯片便是信息化时代十分重要的一类特种芯片。与传统的CPU、单片机和FPGA等大规模大面积芯片不同,微型芯片十分细小,其横截面积往往只有数十平方毫米或者更小,但在实际工业生产和科学研究中,微型芯片又有着至关重要的作用。在一些体积狭小的空间或者不需要太强算力的嵌入式结构中,由于受到工艺、成本、散热和能耗的限制,有且仅有微型芯片可以满足工程的需要。然而,正因为微型芯片面积狭小,一般来讲其表面的信息和字符肉眼是很不便于观测,所以在其生产过程和后续可能发生的检修流程中,确认该类芯片上所刻写的序列号十分困难,这就给微型芯片的质量检测带来了技术困难,给生产过程的批次控制、良品筛选和之后的故障排除也带来了很大的困扰。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足之处,本实用新型的目的在于提供一种用于微型芯片检测的显微成像装置,通过显微成像组件的相机、远心镜头组合对集成有多个微型芯片的样本集合条进行对焦显微成像拍摄并将显微成像图像传输至存储计算机中存储,检测人员通过存储计算机对显微成像图像进行查询和检测,降低了检测难度,提高了检测效率,可以批量化、标准化地实现微型芯片检测作业。
本实用新型的目的通过下述技术方案实现:
一种用于微型芯片检测的显微成像装置,包括水平台座和存储计算机,水平台座竖向固定有竖杆,所述竖杆顶部设有升降驱动装置,升降驱动装置上横向设有升降联动杆,升降驱动装置用于驱动升降联动杆升降运动,所述竖杆中部升降安装有光源升降横杆。所述升降联动杆端部设有显微成像组件,所述光源升降横杆端部设有与显微成像组件相对应的环形光源;所述水平台座上设有夹具,所述存储计算机与显微成像组件连接。
为了更好地实现本实用新型,所述显微成像组件包括相机和与相机相对应的远心镜头,相机安装于升降联动杆上,所述显微成像组件的相机与存储计算机通过数据线连接。
优选地,所述环形光源整体呈圆环形状且中部具有圆孔,所述远心镜头与环形光源中心的圆孔相对应。
本实用新型优选的第二种技术方案:所述水平台座上安装有微动平台,所述夹具安装于微动平台上。
优选地,本实用新型还包括样本集合条,样本集合条上集合安装有若干个微型芯片,所述样本集合条通过夹具定位装配。
优选地,所述数据线为USB通信数据线,所述相机为面阵COMS相机。
优选地,所述升降驱动装置为升降直线电机或升降步进电机。
本实用新型较现有技术相比,具有以下优点及有益效果:
(1)本实用新型通过显微成像组件的相机、远心镜头组合对集成有多个微型芯片的样本集合条进行对焦显微成像拍摄并将显微成像图像传输至存储计算机中存储,检测人员通过存储计算机对显微成像图像进行查询和检测,降低了检测难度,提高了检测效率,可以批量化、标准化地实现微型芯片检测作业。
(2)本实用新型通过升降驱动装置升降移动显微成像组件,通过光源升降横杆升降移动及定位环形光源,环形光源可对显微成像拍摄进行照明作业,微动平台能带动样本集合条移动,便于精确对焦或单个微型芯片对焦作业,提高了显微成像图像质量与检测质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为实施例中样本集合条的布设示意图。
其中,附图中的附图标记所对应的名称为:
1-水平台座,2-竖杆,3-升降驱动装置,31-升降联动杆,4-显微成像组件,41-相机,42-远心镜头,5-环形光源,51-光源升降横杆,6-微动平台,7-样本集合条,8-存储计算机,9-数据线,10-夹具。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明:
实施例
如图1、图2所示,一种用于微型芯片检测的显微成像装置,包括水平台座1、样本集合条7和存储计算机8(可以为存储器,本实用新型选择计算机来进行存储以便于对微型芯片所拍摄的显微照片进行查看与质量检测),水平台座1竖向固定有竖杆2(参见图1,竖杆2设置于水平台座1左侧),竖杆2顶部设有升降驱动装置3(本实用新型升降驱动装置3优选为升降直线电机或升降步进电机,当然也可以为其他驱动装置,升降驱动装置3驱动横向设置的升降联动杆31升降运动进而实现安装于升降联动杆31上的显微成像组件4升降运动以便于对焦作业),升降驱动装置3上横向设有升降联动杆31,升降驱动装置3用于驱动升降联动杆31升降运动,升降联动杆31端部设有显微成像组件4。竖杆2中部升降安装有光源升降横杆51,光源升降横杆51端部设有与显微成像组件4相对应的环形光源5,环形光源5为显微成像组件4的显微拍照进行灯光照明(环形光源5朝向样本集合条7一面为照射光面)。水平台座1上设有夹具10(参见图1,本实施例水平台座1上安装有微动平台6,夹具10安装于微动平台6上,即本实施例在水平台座1上可以设有微动平台6,当设有微动平台6时,夹具10就安装于微动平台6上),存储计算机8与显微成像组件4连接。
本实施例样本集合条7上集合安装有若干个微型芯片,参见图2,样本集合条7上共计安装有32个微型芯片,样本集合条7在每个安装位置处进行标号,32个微型芯片就对应32个位置标号,样本集合条7通过夹具10定位装配(参见图1,本实施例水平台座1上设有微动平台6,样本集合条7通过夹具10定位安装于微动平台6上,微动平台6可以带动样本集合条7进行X、Y方向的运动,以更便于对焦作业,这样样本集合条7集成有32个微型芯片,显微成像组件4可以批量化进行32个微型芯片的显微拍照作业)。
显微成像组件4包括相机41和与相机41相对应的远心镜头42(参见图1,相机41、远心镜头42均朝向样本集合条7方向设置),相机41安装于升降联动杆31上,显微成像组件4的相机41与存储计算机8通过数据线9连接。
优选地,环形光源5整体呈圆环形状且中部具有圆孔,远心镜头42与环形光源5中心的圆孔相对应。本实施例数据线9优选为USB通信数据线(比如本实施例数据线9采用USB3.0数据线),相机41为面阵COMS相机。
将一批次32个微型芯片配合装配于样本集合条7上,然后将样本集合条7通过夹具10定位安装于微动平台6(本实用新型可以不使用微动平台6,微动平台6可以带动样本集合条7在水平面上进行前后左右移动,以便于显微成像组件4进行对焦作业)。升降光源升降横杆51并调节环形光源5的高度,启动升降驱动装置3升降调节显微成像组件4的高度,在显微成像组件4、环形光源5的调节下进行对焦作业和灯光调节作业,布设完毕后,显微成像组件4升降并清晰限位成像拍摄样本集合条7上的各个微型芯片(微动平台6可以带动样本集合条7移动)并将高清显微照片传输给存储计算机8存储,通过存储计算机8进行查询和质量检测,大大降低了检测难度,提高了检测效率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于微型芯片检测的显微成像装置,包括水平台座(1),水平台座(1)竖向固定有竖杆(2),所述竖杆(2)顶部设有升降驱动装置(3),升降驱动装置(3)上横向设有升降联动杆(31),升降驱动装置(3)用于驱动升降联动杆(31)升降运动,所述竖杆(2)中部升降安装有光源升降横杆(51),其特征在于:还包括存储计算机(8),所述升降联动杆(31)端部设有显微成像组件(4),所述光源升降横杆(51)端部设有与显微成像组件(4)相对应的环形光源(5);所述水平台座(1)上设有夹具(10),所述存储计算机(8)与显微成像组件(4)连接。
2.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:所述显微成像组件(4)包括相机(41)和与相机(41)相对应的远心镜头(42),相机(41)安装于升降联动杆(31)上,所述显微成像组件(4)的相机(41)与存储计算机(8)通过数据线(9)连接。
3.按照权利要求2所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:所述环形光源(5)整体呈圆环形状且中部具有圆孔,所述远心镜头(42)与环形光源(5)中心的圆孔相对应。
4.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:所述水平台座(1)上安装有微动平台(6),所述夹具(10)安装于微动平台(6)上。
5.按照权利要求4所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:还包括样本集合条(7),样本集合条(7)上集合安装有若干个微型芯片,所述样本集合条(7)通过夹具(10)定位装配。
6.按照权利要求2所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:所述数据线(9)为USB通信数据线,所述相机(41)为面阵COMS相机。
7.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置,其特征在于:所述升降驱动装置(3)为升降直线电机或升降步进电机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114062393A (zh) * 2021-11-17 2022-02-18 宜宾显微智能科技有限公司 一种基于深度学习显微字符识别与缺陷检测系统及方法

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