CN220602453U - 一种掩膜板变形检测辅助装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供了一种掩膜板变形检测辅助装置，所述装置包括透光载台、传动机构、摄像机以及控制系统；所述透光载台包括载台本体、透光板和阵列光源，所述透光板设置在所述载台本体中部，所述阵列光源均匀分布在所述透光板的下方；掩膜板放置于所述透光板上；所述传动机构设置在所述载台本体的上，所述摄像机位于所述透光板的上方，且所述摄像机的一侧固定在所述传动机构的活动端，所述传动机构用于控制所述摄像机沿所述透光板上方的掩膜板前后左右移动；所述摄像机、传动机构与控制系统电连接。本实用新型结构设计合理，可以更为准确快速的对掩膜板进行检测，辅助控制系统判定其变形情况。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种掩膜板变形检测辅助装置。
【背景技术】
OLED显示面板制程中通常用金属掩模板蒸镀方式在衬底基板上形成有机功能层，金属掩模板由框和掩膜组成。掩膜是一张孔隙率很高的布满小孔的薄膜，在使用时其承受着边缘的双轴拉伸载荷以及第三轴的分布载荷，容易发生变形。掩膜板变形会导致生产出的面板出现混色、亮度不均匀等现象，影响良品率。
针对掩膜板上单个像素点变形的判断，使用人工识别就可以得到很好的效果。但是一款普通手机产线使用掩膜板就可能有以亿计的像素点，所以需要使用计算机对掩膜板的变形进行检测。
现有只在将掩膜装配上框的时候通过张网机进行像素拉伸变形的检测，结构设计不够合理，无法实现辅助检测系统快速准确的对掩膜板进行检测。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种掩膜板变形检测辅助装置，其结构设计合理，可以更为准确快速的对掩膜板进行检测，辅助控制系统判定其变形情况。
本实用新型是这样实现的：
一种掩膜板变形检测辅助装置，所述装置包括透光载台、传动机构、摄像机以及控制系统；
所述透光载台包括载台本体、透光板和阵列光源，所述透光板设置在所述载台本体中部，所述阵列光源均匀分布在所述透光板的下方；掩膜板放置于所述透光板上；
所述传动机构设置在所述载台本体的上，所述摄像机位于所述透光板的上方，且所述摄像机的一侧固定在所述传动机构的活动端，所述传动机构用于控制所述摄像机沿所述透光板上方的掩膜板前后左右移动；所述摄像机、传动机构与控制系统电连接。
进一步的，所述阵列光源包括多个竖直光源，且多个竖直光源成阵列形式排列。
进一步的，所述摄像机为高速摄像机。
进一步的，所述传动机构包括X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件包括第一滑轨、第一电机、第一螺杆以及第一滑块，所述第一滑轨横向设置在所述载台本体的边缘，所述第一电机设置在所述第一滑轨的一端，所述第一滑块与所述第一滑轨滑动设置，所述第一螺杆穿设在所述第一滑块上，且所述第一螺杆与所述第一滑块螺纹连接，所述第一螺杆的一端与所述第一电机相连；
所述Y轴移动组件包括第二滑轨、第二电机、第二螺杆、第二滑块以及滑轮，所述第二滑轨纵向设置在所述载台本体上，且所述第二滑轨的一端底部设置在在所述第一滑块上方，另一端底部设置有滑轮；所述第二电机设置在所述第二滑轨的一端，所述第二滑块与所述第二滑轨滑动设置，所述第二螺杆穿设在所述第二滑块上，且所述第二螺杆与所述第二滑块螺纹连接，所述第二螺杆的一端与所述第二电机相连；所述摄像机设置在所述第二滑块的侧面，且位于第二滑轨外侧。
本实用新型的优点在于：
本实用新型将掩膜板放在载台本体中间的透光板处，使用摄像机收集由底部阵列光源发出的光来形成掩膜中像素孔洞的图像，采用的高速摄像机能够减少曝光时间加快检测速度，使用多个竖直光源组成阵列光源能够获得更精确的孔洞图像；使用传动机构调节摄像机沿XY轴方向移动，进而对整个掩膜板进行一部分一部分地扫描，能够捕捉所有像素孔洞的图像。总之，本实用新型结构设计合理，可以更为准确快速的对掩膜板进行检测，辅助控制系统判定其变形情况。
【附图说明】
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型一种掩膜板变形检测辅助装置的示意图。
图2是本实用新型一种掩膜板变形检测辅助装置的掩模板、透光板和阵列光源的配合示意图。
【具体实施方式】
下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1至图2所示，本实用新型的一种掩膜板变形检测辅助装置，所述装置包括透光载台1、传动机构2、摄像机3以及控制系统(图未示)；
所述透光载台1包括载台本体11、透光板12和阵列光源13，所述透光板设12置在所述载台本体11中部，所述阵列光源13均匀分布在所述透光板12的下方；掩膜板10放置于所述透光板12上；
所述传动机构2设置在所述载台本体11的上，所述摄像机3位于所述透光板12的上方，且所述摄像机3的一侧固定在所述传动机构2的活动端，所述传动机构2用于控制所述摄像机3沿所述透光板12上方的掩膜板10前后左右移动；所述摄像机3、传动机构2与控制系统电连接。
在具体实施中，优选的一实施例：所述阵列光源13包括多个竖直光源，且多个竖直光源成阵列形式排列。
在具体实施中，优选的一实施例：所述摄像机3为高速摄像机。
在具体实施中，优选的一实施例：所述传动机构2包括X轴移动组件21和Y轴移动组件22，所述X轴移动组件21包括第一滑轨211、第一电机212、第一螺杆213以及第一滑块214，所述第一滑轨211横向设置在所述载台本体11的边缘，所述第一电机212设置在所述第一滑轨211的一端，所述第一滑块214与所述第一滑轨211滑动设置，所述第一螺杆213穿设在所述第一滑块214上，且所述第一螺杆213与所述第一滑块214螺纹连接，所述第一螺杆213的一端与所述第一电机212相连；
所述Y轴移动组件22包括第二滑轨221、第二电机222、第二螺杆223、第二滑块224以及滑轮225，所述第二滑轨221纵向设置在所述载台本体11上，且所述第二滑轨221的一端底部设置在在所述第一滑块214上方，另一端底部设置有滑轮225；所述第二电机222设置在所述第二滑轨221的一端，所述第二滑块224与所述第二滑轨221滑动设置，所述第二螺杆223穿设在所述第二滑块224上，且所述第二螺杆223与所述第二滑块224螺纹连接，所述第二螺杆223的一端与所述第二电机222相连；所述摄像机3设置在所述第二滑块224的侧面，且位于第二滑轨221外侧。
其使用过程如下：
将掩膜板10放在载台本体11中间的透光板12处，使用摄像机3收集由底部阵列光源13发出的光来形成掩膜中像素孔洞的图像。使用传动机构2调节摄像机3沿XY轴方向移动，进而对整个掩膜板10进行一部分一部分地扫描以捕捉所有像素孔洞的图像；然后将拍到的照片传送到控制系统，由控制系统进行计算和判断。
由于像素数量大，光源发光强度高，本实用新型采用高速摄像机以减少曝光时间加快检测速度。
对于光源，因为光源距离掩膜的孔洞有一段距离，如果采用单一点光源，光源到边缘孔洞的角度会使得摄像机捕捉到的图像不够准确，所以可以使用多个竖直光源组成阵列以获得更精确的孔洞图像。
对于测试环境，由于在生产中，掩膜板放置于蒸镀机中，其工作环境比较特殊，如：其真空度较高、掩膜受磁力影响、温度也高于室温。因此，根据检测的实际情况可以通过密封箱等额外设备来保证检测时掩膜板的环境与实际生产时的环境相近。
在本实用新型的另一个实施例中，假设一百万像素级别的掩膜板。将其面积均匀分割成一万份，则摄像机移动时横向有一百个点位，纵向有一百个点位。通过摄像机一次拍摄这一万张图片，每张图片上存在一百个像素点。
将拍摄的一万张图片转化为灰度图。掩膜无孔部分完全不透光，灰度值很高；掩膜孔洞部分完全透光，图片上显示为白色，灰度值很低。很容易通过阈值将灰度图转变为二值图。在二值图上，很容易通过图片黑白像素点的分界提取掩膜孔洞的轮廓；通过图片黑色像素点的数量得到掩膜孔洞的面积。
由以上步骤，可以得到掩膜板上所有像素孔洞的位置、周长、面积等，将这些信息与掩膜板的设计图或未进行生产时的结果进行对比，用于判断一张掩膜板是否存在过量的变形，以避免使用不良的掩膜板影响产品的良率。
综上，本实用新型将掩膜板放在载台本体中间的透光板处，使用摄像机收集由底部阵列光源发出的光来形成掩膜中像素孔洞的图像，采用的高速摄像机能够减少曝光时间加快检测速度，使用多个竖直光源组成阵列光源能够获得更精确的孔洞图像；使用传动机构调节摄像机沿XY轴方向移动，进而对整个掩膜板进行一部分一部分地扫描，能够捕捉所有像素孔洞的图像。总之，本实用新型结构设计合理，可以更为准确快速的对掩膜板进行检测，辅助控制系统判定其变形情况。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解，我们所描述的具体的实施例只是说明性的，而不是用于对本实用新型的范围的限定，熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化，都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。
Claims (4)
1.一种掩膜板变形检测辅助装置，其特征在于：所述装置包括透光载台、传动机构、摄像机以及控制系统；
所述透光载台包括载台本体、透光板和阵列光源，所述透光板设置在所述载台本体中部，所述阵列光源均匀分布在所述透光板的下方；掩膜板放置于所述透光板上；
所述传动机构设置在所述载台本体的上，所述摄像机位于所述透光板的上方，且所述摄像机的一侧固定在所述传动机构的活动端，所述传动机构用于控制所述摄像机沿所述透光板上方的掩膜板前后左右移动；所述摄像机、传动机构与控制系统电连接。
2.如权利要求1所述的一种掩膜板变形检测辅助装置，其特征在于：所述阵列光源包括多个竖直光源，且多个竖直光源成阵列形式排列。
3.如权利要求1所述的一种掩膜板变形检测辅助装置，其特征在于：所述摄像机为高速摄像机。
4.如权利要求1所述的一种掩膜板变形检测辅助装置，其特征在于：所述传动机构包括X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件包括第一滑轨、第一电机、第一螺杆以及第一滑块，所述第一滑轨横向设置在所述载台本体的边缘，所述第一电机设置在所述第一滑轨的一端，所述第一滑块与所述第一滑轨滑动设置，所述第一螺杆穿设在所述第一滑块上，且所述第一螺杆与所述第一滑块螺纹连接，所述第一螺杆的一端与所述第一电机相连；
所述Y轴移动组件包括第二滑轨、第二电机、第二螺杆、第二滑块以及滑轮，所述第二滑轨纵向设置在所述载台本体上，且所述第二滑轨的一端底部设置在所述第一滑块上方，另一端底部设置有滑轮；所述第二电机设置在所述第二滑轨的一端，所述第二滑块与所述第二滑轨滑动设置，所述第二螺杆穿设在所述第二滑块上，且所述第二螺杆与所述第二滑块螺纹连接，所述第二螺杆的一端与所述第二电机相连；所述摄像机设置在所述第二滑块的侧面，且位于第二滑轨外侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322077758.2U CN220602453U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种掩膜板变形检测辅助装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322077758.2U CN220602453U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种掩膜板变形检测辅助装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220602453U true CN220602453U (zh) | 2024-03-15 |
Family
ID=90172517
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322077758.2U Active CN220602453U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种掩膜板变形检测辅助装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN220602453U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118032264A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-05-14 | 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 | 一种适用于高速风洞高温高速下的变形测量方法及装置 |
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2023
- 2023-08-03 CN CN202322077758.2U patent/CN220602453U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118032264A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-05-14 | 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 | 一种适用于高速风洞高温高速下的变形测量方法及装置 |
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