CN216213252U - 一种离子植入机维修保养环境保护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种离子植入机维修保养环境保护装置，包括：封闭式工作仓，封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接；负压接口，设置在封闭式工作仓的顶部，负压接口与外部的负压发生设备相连接；滑杆，水平设置在封闭式工作仓的内部上方；多个第一负压吸风盘，分别经滑块与滑杆滑动连接，相邻两个第一负压吸风盘之间通过伸缩风管相连通；总管，设置在封闭式工作仓内，总管与负压接口相连通，且总管还与伸缩风管相连通；竖管，一端与总管相连通，竖管的另一端设置在封闭式工作仓的侧壁上，且竖管上设有至少一个外接口，外接口通过软管与第二负压吸风盘相连接。本实用新型避免了废气的逸散和对环境的污染，提高了废气的抽吸效率。

Description

一种离子植入机维修保养环境保护装置

技术领域

本实用新型涉及离子植入机技术领域，尤其涉及一种离子植入机维修保养环境保护装置。

背景技术

现有技术中，离子植入机需要定期进行维修保养，由于离子植入机在工作中，容易产生较多的废气，因此，在维修保养时候，也需要对环境进行隔离保护。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种密封效果好、避免了废气逸散、抽吸效率高的离子植入机维修保养环境保护装置。

一种离子植入机维修保养环境保护装置，包括：

封闭式工作仓，所述封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接；

负压接口，设置在所述封闭式工作仓的顶部，所述负压接口与外部的负压发生设备相连接；

滑杆，水平设置在所述封闭式工作仓的内部上方；

多个第一负压吸风盘，分别经滑块与所述滑杆滑动连接，相邻两个所述第一负压吸风盘之间通过伸缩风管相连通；

总管，设置在所述封闭式工作仓内，所述总管与所述负压接口相连通，且所述总管还与所述伸缩风管相连通；

竖管，一端与所述总管相连通，所述竖管的另一端设置在所述封闭式工作仓的侧壁上，且所述竖管上设有至少一个外接口，所述外接口通过软管与第二负压吸风盘相连接。

在其中一个实施例中，所述第一负压吸风盘和第二负压吸风盘均包括吸风盘本体，所述吸风盘本体的至少一侧侧壁上设有通风口，所述吸风盘本体的底部设有与所述通风口相连通的喇叭形扩风罩。

在其中一个实施例中，所述喇叭形扩风罩内设有过滤网。

在其中一个实施例中，所述滑杆的两端分别设有限位块。

在其中一个实施例中，所述封闭式工作仓的两侧分别设有门体。

在其中一个实施例中，所述封闭式工作仓的上部设有透明观察窗。

上述离子植入机维修保养环境保护装置，通过负压发生设备产生负压，经第一负压吸风盘将封闭式工作仓内的废气抽出，其避免了废气的逸散和对环境的污染，并且，第一负压吸风盘可以经滑块沿着滑杆水平滑动，使多个第一负压吸风盘能在废气集中产生部位进行聚集，从而可以提高废气的抽吸效率，同时，还可以通过软管和第二负压吸风盘有针对性地对特定区域进行抽吸，从而提高了其实用性和适用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的离子植入机维修保养环境保护装置的使用状态图；

图2是本实用新型的离子植入机维修保养环境保护装置的内部结构示意图；

图3是本实用新型的第一负压吸风盘或第二负压吸风盘的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1-3所示，本实用新型一实施例提供一种离子植入机维修保养环境保护装置，包括：

封闭式工作仓1，所述封闭式工作仓1与离子植入机2的后部密封连接；

负压接口3，设置在所述封闭式工作仓1的顶部，所述负压接口3与外部的负压发生设备相连接；

滑杆4，水平设置在所述封闭式工作仓1的内部上方；

多个第一负压吸风盘5，分别经滑块6与所述滑杆4滑动连接，相邻两个所述第一负压吸风盘5之间通过伸缩风管7相连通；

总管8，设置在所述封闭式工作仓1内，所述总管8与所述负压接口3相连通，且所述总管8还与所述伸缩风管7相连通；

竖管9，一端与所述总管8相连通，所述竖管9的另一端设置在所述封闭式工作仓1的侧壁上，且所述竖管9上设有至少一个外接口10，所述外接口10通过软管11与第二负压吸风盘12相连接。

上述离子植入机维修保养环境保护装置，通过负压发生设备产生负压，经第一负压吸风盘5将封闭式工作仓1内的废气抽出，其避免了废气的逸散和对环境的污染，并且，第一负压吸风盘5可以经滑块6沿着滑杆4水平滑动，使多个第一负压吸风盘5能在废气集中产生部位进行聚集，从而可以提高废气的抽吸效率，同时，还可以通过软管11和第二负压吸风盘12有针对性地对特定区域进行抽吸，从而提高了其实用性和适用范围。

在本实用新型一实施例中，所述第一负压吸风盘5和第二负压吸风盘12均包括吸风盘本体51，所述吸风盘本体51的至少一侧侧壁上设有通风口52，所述吸风盘本体51的底部设有与所述通风口52相连通的喇叭形扩风罩53。本实施例中，通过喇叭形扩风罩53能够扩大废气的抽吸面积，提高抽吸效率。

可选地，所述喇叭形扩风罩53内设有过滤网54。如此，可以通过滤网54对废气进行过滤。

在本实用新型一实施例中，所述滑杆4的两端分别设有限位块41。如此，可以对滑块6的滑动位置进行限位，提高安全性。

在本实用新型一实施例中，为了方便操作人员进入封闭式工作仓1，所述封闭式工作仓1的两侧分别设有门体101。

可选地，为了方便观察内部情况，所述封闭式工作仓1的上部设有透明观察窗102。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，包括：

封闭式工作仓，所述封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接；

负压接口，设置在所述封闭式工作仓的顶部，所述负压接口与外部的负压发生设备相连接；

滑杆，水平设置在所述封闭式工作仓的内部上方；

多个第一负压吸风盘，分别经滑块与所述滑杆滑动连接，相邻两个所述第一负压吸风盘之间通过伸缩风管相连通；

总管，设置在所述封闭式工作仓内，所述总管与所述负压接口相连通，且所述总管还与所述伸缩风管相连通；

竖管，一端与所述总管相连通，所述竖管的另一端设置在所述封闭式工作仓的侧壁上，且所述竖管上设有至少一个外接口，所述外接口通过软管与第二负压吸风盘相连接。

2.如权利要求1所述的离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述第一负压吸风盘和第二负压吸风盘均包括吸风盘本体，所述吸风盘本体的至少一侧侧壁上设有通风口，所述吸风盘本体的底部设有与所述通风口相连通的喇叭形扩风罩。

3.如权利要求2所述的离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述喇叭形扩风罩内设有过滤网。

4.如权利要求1所述的离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述滑杆的两端分别设有限位块。

5.如权利要求4所述的离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述封闭式工作仓的两侧分别设有门体。

6.如权利要求5所述的离子植入机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述封闭式工作仓的上部设有透明观察窗。

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