CN216210471U - 一种用于复合网版曝光的上光源曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体，所述机体的内部设置有曝光室，所述曝光室的后侧内壁设置有导热组件，所述机体的后侧设置有散热组件，所述曝光室的下方设置有蓄水室和吸尘室，所述蓄水室的内部固定安装有水泵。该一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，在进行日常使用的过程中，通过水泵将蓄水室中的冷却水导入导热曲管中，导热曲管利用铜管的高效热传导性将热量吸收，并传递给冷却水，再通过连接管导入散热器中，通过散热器的散热片将热量散发出来，利用散热扇加速热量驱散，再回收到蓄水室中重新利用，降低了曝光机内部温度，保护电子器件、线路等，提高了曝光机的使用寿命。

Description

一种用于复合网版曝光的上光源曝光机

技术领域

本实用新型涉及复合网版加工技术领域，具体为一种用于复合网版曝光的上光源曝光机。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备，曝光机是20世纪60年初扫描电子显微镜基础发展而来的一种新光刻技术,在70年代后广泛应用于半导体电路板生产制造，曝光机即电子串曝光机,是集电子光学、机械、真空、电气、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形，根据电路板的线路的粗细来决定上下光源的曝光能量,能量不足电路板无法曝光,要是能量过高电路板就会过曝,所以在曝光电路板时,必须先测试电路板所需的能量,从而进行电路板的曝光生产。

现有的用于复合网版曝光的上光源曝光机不具备散热功能，长时间的曝光和光源等电子器件工作产生热量，导致曝光机内部温度过高，电路极易发生短路，降低了曝光机的使用寿命，存在严重的安全隐患，而且机体内部容易混入灰尘等杂质，影响曝光效果，降低了产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，以解决上述背景技术中提出的现有的用于复合网版曝光的上光源曝光机不具备散热功能，长时间的曝光和光源等电子器件工作产生热量，导致曝光机内部温度过高，电路极易发生短路，降低了曝光机的使用寿命，存在严重的安全隐患，而且机体内部容易混入灰尘等杂质，影响曝光效果，降低了产品的质量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体，所述机体的内部设置有曝光室，所述曝光室的后侧内壁设置有导热组件，所述机体的后侧设置有散热组件，所述曝光室的下方设置有蓄水室和吸尘室，所述蓄水室的内部固定安装有水泵，所述吸尘室的内部设置有吸尘组件。

优选的，所述导热组件包括固定安装在曝光室后侧内壁的支座，所述支座的四个边角处通过螺丝与曝光室固定安装，所述支座的前侧固定安装有导热曲管，所述导热曲管的一端固定安装有进水管，所述进水管贯穿曝光室的底部与水泵固定连接。

优选的，所述散热组件包括固定安装在机体后侧的散热器，所述散热器的表面固定安装有散热扇，所述散热器的一端固定安装有回流管，所述回流管的底端贯穿机体与蓄水室相通。

优选的，所述吸尘组件包括固定安装在吸尘室内部的吸风机，所述吸风机的一端固定安装有吸尘管，所述吸尘管的顶端贯穿吸尘室的顶部固定安装有吸嘴，所述吸风机的一端贯穿机体的一侧设置有排风口。

优选的，所述曝光室的内部顶端固定安装有上光源，所述曝光室的内部底端固定安装有曝光支架，所述曝光室对应的机体前侧活动安装有柜门，所述柜门的一侧表面固定安装有控制开关。

优选的，所述导热组件与散热组件之间通过连接管固定连接，所述导热曲管的另一端与连接管的一端固定连接，所述散热器的另一端与连接管的另一端固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，在进行日常使用的过程中，通过水泵将蓄水室中的冷却水导入导热曲管中，导热曲管利用铜管的高效热传导性将热量吸收，并传递给冷却水，再通过连接管导入散热器中，通过散热器的散热片将热量散发出来，利用散热扇加速热量驱散，再回收到蓄水室中重新利用，降低了曝光机内部温度，保护电子器件、线路等，提高了曝光机的使用寿命。

该一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，在进行日常使用的过程中，通过启动吸风机，通过吸嘴吸入曝光机内部落进去的灰尘等杂质，通过排风口排出，避免了曝光机内部落有灰尘而影响曝光效果，提高了产品的质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型的曝光室下方部分结构示意图。

图中：1、机体；2、曝光室；3、导热组件；4、支座；5、螺丝；6、导热曲管；7、进水管；8、散热组件；9、散热器；10、散热扇；11、回流管；12、连接管；13、蓄水室；14、吸尘室；15、水泵；16、吸尘组件；17、吸风机；18、吸尘管；19、吸嘴；20、排风口；21、上光源；22、曝光支架；23、柜门；24、控制开关。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体1，机体1的内部设置有曝光室2，曝光室2的后侧内壁设置有导热组件3，机体1的后侧设置有散热组件8，曝光室2的下方设置有蓄水室13和吸尘室14，蓄水室13的内部固定安装有水泵15，该水泵15的型号可为HSP11050，水泵15的输入端通过导线与控制开关24的输出端电性连接，启动水泵15，叶轮高速旋转，其中的液体随着叶片一起旋转，在离心力的作用下，飞离叶轮向外射出，射出的液体在泵壳扩散室内速度逐渐变慢，压力逐渐增加，然后从泵出口，排出管流出，此时，在叶片中心处由于液体被甩向周围而形成既没有空气又没有液体的真空低压区，液池中的液体在池面大气压的作用下，经吸入管流入泵内，液体就是这样连续不断地从液池中被抽吸上来又连续不断地从排出管流出，吸尘室14的内部设置有吸尘组件16，导热组件3包括固定安装在曝光室2后侧内壁的支座4，支座4的四个边角处通过螺丝5与曝光室2固定安装，支座4的前侧固定安装有导热曲管6，导热曲管6的一端固定安装有进水管7，进水管7贯穿曝光室2的底部与水泵15固定连接，启动水泵15，通过进水管7将蓄水室13中的冷却水导入导热曲管6处，导热曲管6利用铜管的高效热传导性将热量吸收，传递给冷却水，并通过连接管12导入散热器9中，散热组件8包括固定安装在机体1后侧的散热器9，散热器9的表面固定安装有散热扇10，该散热扇10的型号可为YWF4D-200，散热器9的一端固定安装有回流管11，回流管11的底端贯穿机体1与蓄水室13相通，通过散热器9上特殊的散热片将热量散发出来，通过散热扇10加速热量驱散，再通过回流管11回收到蓄水室13中重新利用，降低了曝光机内部温度，保护电子器件、线路等，提高了曝光机的使用寿命。

吸尘组件16包括固定安装在吸尘室14内部的吸风机17，该吸风机17的型号可为JM-550W，吸风机17通过电动机转动，带动风叶高速旋转，空气进入吸风机17并产生一定的压力后，从风嘴吹出，吸风机17的一端固定安装有吸尘管18，吸尘管18的顶端贯穿吸尘室14的顶部固定安装有吸嘴19，吸风机17的一端贯穿机体1的一侧设置有排风口20，通过启动吸风机17，通过吸嘴19吸入曝光室2中落进去的灰尘等杂质，通过排风口20排出，避免了曝光机内部落有灰尘而影响曝光效果，提高了产品的质量，曝光室2的内部顶端固定安装有上光源21，曝光室2的内部底端固定安装有曝光支架22，曝光室2对应的机体1前侧活动安装有柜门23，柜门23的一侧表面固定安装有控制开关24，通过控制开关24可方便通过人工控制器件进行协调运行，避免造成能源浪费和器件长时间闲置运行导致故障，导热组件3与散热组件8之间通过连接管12固定连接，导热曲管6的另一端与连接管12的一端固定连接，散热器9的另一端与连接管12的另一端固定连接。

工作原理：在使用该上光源曝光机的过程中，通过启动水泵15，通过进水管7将蓄水室13中的冷却水导入导热曲管6处，导热曲管6利用铜管的高效热传导性将热量吸收，传递给冷却水，并通过连接管12导入散热器9中，通过散热器9上特殊的散热片将热量散发出来，通过散热扇10加速热量驱散，再通过回流管11回收到蓄水室13中重新利用，降低了曝光机内部温度，保护电子器件、线路等，提高了曝光机的使用寿命，通过启动吸风机17，通过吸嘴19吸入曝光室2中落进去的灰尘等杂质，通过排风口20排出，避免了曝光机内部落有灰尘而影响曝光效果，提高了产品的质量。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内部设置有曝光室(2)，所述曝光室(2)的后侧内壁设置有导热组件(3)，所述机体(1)的后侧设置有散热组件(8)，所述曝光室(2)的下方设置有蓄水室(13)和吸尘室(14)，所述蓄水室(13)的内部固定安装有水泵(15)，所述吸尘室(14)的内部设置有吸尘组件(16)。

2.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述导热组件(3)包括固定安装在曝光室(2)后侧内壁的支座(4)，所述支座(4)的四个边角处通过螺丝(5)与曝光室(2)固定安装，所述支座(4)的前侧固定安装有导热曲管(6)，所述导热曲管(6)的一端固定安装有进水管(7)，所述进水管(7)贯穿曝光室(2)的底部与水泵(15)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述散热组件(8)包括固定安装在机体(1)后侧的散热器(9)，所述散热器(9)的表面固定安装有散热扇(10)，所述散热器(9)的一端固定安装有回流管(11)，所述回流管(11)的底端贯穿机体(1)与蓄水室(13)相通。

4.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述吸尘组件(16)包括固定安装在吸尘室(14)内部的吸风机(17)，所述吸风机(17)的一端固定安装有吸尘管(18)，所述吸尘管(18)的顶端贯穿吸尘室(14)的顶部固定安装有吸嘴(19)，所述吸风机(17)的一端贯穿机体(1)的一侧设置有排风口(20)。

5.根据权利要求1所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述曝光室(2)的内部顶端固定安装有上光源(21)，所述曝光室(2)的内部底端固定安装有曝光支架(22)，所述曝光室(2)对应的机体(1)前侧活动安装有柜门(23)，所述柜门(23)的一侧表面固定安装有控制开关(24)。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种用于复合网版曝光的上光源曝光机，其特征在于：所述导热组件(3)与散热组件(8)之间通过连接管(12)固定连接，所述导热曲管(6)的另一端与连接管(12)的一端固定连接，所述散热器(9)的另一端与连接管(12)的另一端固定连接。

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