CN216209360U - 一种探针卡、电压调节装置、探针台以及测试系统 - Google Patents

Abstract

一种探针卡、电压调节装置、探针台以及测试系统，由于电路板具有第一电压输出接口以及第二电压输出接口；第一探针的第一端与第一电压输出接口电连接，第二端用于输出第一电压；第二探针的第一端与第二电压输出接口电连接，第二端用于输出第二电压；第一电压调节模块的第一端电连接于第一探针的第一端与第一电压输出接口之间，第二端电连接于第二探针的第一端与第二电压输出接口之间；第一电压调节模块用于降低第一探针的第二端与第二探针的第二端之间的电压差的变化速度。可见，第一探针的第二端与第二探针的第二端之间的电压差的变化速度变慢，半导体器件与第一探针与第二探针连通的瞬间，电压小，空气未导通，不会出现电弧。

Description

一种探针卡、电压调节装置、探针台以及测试系统

技术领域

本申请涉及后端检测技术领域，具体涉及一种探针卡、电压调节装置、探针台以及测试系统。

背景技术

在半导体领域中，部分半导体器件在市场上所需要的耐电压越来越高，例如IGBT、MOSFET、Transistor、DIODE等，同时这些半导体器件的漏电也需要越来越小，电压部分以前是600V～800V，现在已经最高要求耐电压2000V以上。

在后端检测中，在以前600～800V的测试电压以下，量测高压半导体器件与测试探针之间不会产生电弧现象，最近因为市场需求以及新的半导体器件耐电压越来越高。如碳化硅等新的半导体材料的出现，模块的耐受电压测试也遭受挑战，其中在耐压超过1000V左右以上，测试探针之间伴随量测时后产生瞬间空气导通，也就是电弧。

上述情形让超高耐压的半导体器件量测遭受到不小的挑战，也就是半导体器件耐压测试中，空气先导通，导致无法量测的情形，或者量测不准的情况发生。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是高压半导体器件耐压测试过程中出现电弧的技术问题。

根据本申请的第一方面，一种实施例中提供一种探针卡，包括电路板、第一探针、第二探针以及第一电压调节模块；

电路板具有第一电压输出接口以及第二电压输出接口；

第一探针的第一端与第一电压输出接口电连接，第一探针的第二端用于输出第一电压；

第二探针的第一端与第二电压输出接口电连接，第二探针的第二端用于输出第二电压；

第一电压调节模块的第一端与第一电压输出接口电连接，第一电压调节模块的第二端与第二电压输出接口电连接；第一电压调节模块用于降低第一探针的第二端与第二探针的第二端之间的电压差的变化速度。

在一种可能的实现方式中，第一电压调节模块包括第一电阻与第一电容，第一电阻的第一端与第一电压调节模块的第一端电连接，第一电阻的第二端与第一电容的第一端电连接，第一电容的第二端与第一电压调节模块的第二端电连接。

在一种可能的实现方式中，第一电压调节模块还包括开关模块，开关模块用于通过自身的通断，控制第一电压调节模块工作或停止工作。

在一种可能的实现方式中，开关模块包括继电器或开关或可拆卸的保险丝或MOS管，开关模块、第一电阻以及第一电容之间串联。

在一种可能的实现方式中，电路板的第一电压输出接口与第二电压输出接口通过第一线缆以及第二线缆分别与第一探针以及第二探针电连接；

第一电压调节模块的第一端通过第三线缆电连接于第一电压输出接口与第一探针之间；第一电压调节模块的第二端通过第四线缆电连接于第二电压输出接口与第二探针之间。

在一种可能的实现方式中，第一电压调节模块还包括第一壳体，第一壳体具有腔体，第一电容与第一电阻设于腔体，第一壳体为电绝缘；

第一壳体上设置有第一接口、第二接口、第三接口以及第四接口；第一接口为第一电压调节模块的第一端；第二接口为第一电压调节模块的第二端；第三接口与第一接口电连接，第一探针的第一端具有第一探针接口，第三接口与第一探针接口电连接；第四接口与第二接口电连接，第二探针的第一端具有第二探针接口，第四接口与第二探针接口电连接。

在一种可能的实现方式中，第一电压输出接口与第一接口适配，第三接口与第一探针接口适配；第二电压输出接口与第二接口适配，第四接口与第二探针接口适配。

根据本申请的第二方面，一种实施例中提供一种电压调节装置，应用于探针卡的第一电压输出接口与第二电压输出接口之间，电压调节装置包括：壳体以及设在壳体上的第五接口以及第六接口；第五接口用于与探针卡的第一电压输出接口电连接，第六接口用于与探针卡的第二电压输出接口电连接；

电压调节装置还包括设在壳体内部的第二电压调节模块，第二电压调节模块的第一端与电压调节装置的第五接口电连接，第二电压调节模块的第二端与电压调节装置的第六接口电连接；第二电压调节模块用于降低电压调节装置的第五接口与第六接口之间的电压差的变化速度。

根据本申请的第三方面，一种实施例中提供一种探针台，包括：移动平台、多个探针座以及第一方面以及第一方面任一种可能的实现方式中所述的探针卡；

探针座用于固定探针卡的第一探针与第二探针，第一探针与第二探针分别可拆卸固定在一个探针座上；

移动平台用于将待测器件移动至预设位置，使待测器件与第一探针以及第二探针电连接。

根据本申请的第四方面，一种实施例中提供一种测试系统，包括测试机与第三方面所述的探针台；测试机与探针台的探针卡电连接，探针卡的电路板具有第一电压输入接口以及第二电压输入接口，测试机通过电路板的第一电压输入接口向电路板的第一电压输出接口输出第一电压，测试机通过电路板的第二电压输入接口向电路板的第二电压输出接口输出第二电压。

依据上述实施例的探针卡、电压调节装置、探针台以及测试系统，由于包括电路板、第一探针、第二探针以及第一电压调节模块；电路板具有第一电压输出接口以及第二电压输出接口；第一探针的第一端与第一电压输出接口电连接，第二端用于输出第一电压；第二探针的第一端与第二电压输出接口电连接，第二端用于输出第二电压；第一电压调节模块的第一端电连接于第一探针的第一端与第一电压输出接口之间，第二端电连接于第二探针的第一端与第二电压输出接口之间；第一电压调节模块用于降低第一探针的第二端与第二探针的第二端之间的电压差的变化速度。可见，第一探针的第二端与第二探针的第二端之间的电压差的变化速度变慢，半导体器件与第一探针与第二探针连通的瞬间，电压小，空气未导通，不会出现电弧。

附图说明

图1为现有技术的测试系统的结构示意图；

图2、图3与图4为一种实施例提供的探针卡的结构示意图；

图5为一种实施例中通过电压调节模块调节前后的输出电压示意图；

图6为另一种实施例提供的探针卡的结构示意图；

图7为一种实施例提供的探针台与测试系统的结构示意图；

图8为一种实施例提供的电压调节装置的结构示意图。

附图标记：1-探针台；10-探针卡；11-第一探针；12-第二探针；100-电路板； 101-第一电压输入接口；102-第二电压输入接口；110-第一电压输出接口；120- 第二电压输出接口；130-探针座；140-移动平台；20-测试机；21-第一电压输出端；22-第二电压输出端；300-第一电压调节模块；301-第一电阻；302-第一电容； 303-第一壳体；304-开关模块；311-第三接口；312-第四接口；321-第一接口；322- 第二接口；40-待测器件；41-第一测试电极；42-第二测试电极；50-电压调节装置；500-第二电压调节模块；501-第二电阻，502-第二电容；510-第二壳体；511- 第五接口；512-第六接口；513-第七接口；514-第八接口。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式，各实施例所涉及的操作步骤也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的组成和/或顺序。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

如图1所示，现有的测试系统，通过测试机20向探针台的探针卡10输出测试电压，探针卡10的电路板100上具有第一电压输入接口101以及第二电压输入接口102，具体可以是通过测试机20的第一电压输出端21向电路板100的第一电压输入接口101输出第一电压，通过测试机20的第二电压输出端22向电路板100的第二电压输入接口102输出第二电压。电路板100上设有印刷电路与电器件，通过印刷电路与电器件，将第一电压传输至第一电压输出接口110，将第二电压传输至第二电压输出接口120，随后传输至对应的第一探针11与第二探针12。第一探针11与第二探针12分别与待测器件40的第一测试电极41 以及第二测试电极42接触并电连接，实现在第一测试电极41以及第二测试电极42施加第一电压与第二电压(第二电压一般为零)。在超高压测试过程中，第一探针11与第二探针12之间，探针与测试电极之间，会有产生电弧的问题，电弧会影响测量的结果。

实施例一：

如图2所示，本实施例提供一种探针卡10，探针卡10包括电路板100、第一探针11、第二探针12以及第一电压调节模块300。；

上述电路板100具有第一电压输出接口110以及第二电压输出接口120；还具有第一电压输入接口101与第二电压输入接口102，第一电压输入接口101用于连接测试机20，获取第一电压，第二电压输入接口102用于连接测试机20，获取第二电压；第一电压输入接口101与第一电压输出接口110电连接，传输第一电压；第二电压输入接口102与第二电压输出接口120电连接，传输第二电压。

上述第一探针11的第一端与第一电压输出接口110电连接，第一探针11的第二端用于输出第一电压。

上述第二探针12的第一端与第二电压输出接口120电连接，第二探针12 的第二端用于输出第二电压。

上述第一电压调节模块300的第一端与第一电压输出接口110电连接，第一电压调节模块300的第二端与第二电压输出接口120电连接；第一电压调节模块300用于降低第一探针11的第二端与第二探针12的第二端之间的电压差的变化速度。结合图1，根据电路连接关系，也可以是，第一电压调节模块300 用于降低电路板100的第一电压输出接口110与第二电压输出接口120之间电压差的变化速度；还可以理解为，第一电压调节模块300用于降低测试机20的第一电压输出端21与第二电压输出端22间电压差的变化速度。

可见，第一探针11与第二探针12之间的电压差的变化速度变慢，待测器件40与两个探针连通的瞬间，电压小，且电压的变化速度小，空气未导通，不会出现电弧。需要说明的是，上述降低电压差的变化速率，指的是在电压从零升至设定电压的过程的变化速率，也就是升压过程的变化速率。

具体实现调节电压变化速率的方案有很多，一般都是基于电器件来实现，如图2所示，在一种可能的实现方式中，第一电压调节模块300可以包括第一电阻301与第一电容302，第一电阻301的第一端与第一电压调节模块300的第一端电连接，第一电阻301的第二端与第一电容302的第一端电连接，第一电容 302的第二端与第一电压调节模块300的第二端电连接。也可以认为，第一电阻 301的第一端为第一电压调节模块300的第一端，第一电容302的第二端为第一电压调节模块300的第二端。

第一电容302可以实现改变第一探针11与第二探针12之间的电压的变化速度，第一电阻301可以在测试机20断电后进行耗能，释放第一电容302存储的电量，在下次测试的时候，第一电容302重新储能，才能降低第一探针11与第二探针12之间的电压的变化速度。因此，第一电压调节模块300的第一端与第二端之间可以设置多个串并联的电容与电阻，实现上述电压调节功能，图2所示的第一电阻301与第一电容302的连接方式，为其中一种可能的实现方式。例如，还可以是包括多个多级并联的RC电路(即电容与电阻串联的电路)。具体的电容值与电阻值可以根据实际测试过程需要的电压调节的速率进行调整。

实施例二

如图2与图3所示，第一电压调节模块300与电路板100或探针的连接方式有很多种。

例如，如图2所示，第一电压调节模块300的第一端与第二端可以是直接与电路板100的第一电压输出接口110与第二电压输出接口120连接。

此时，可以分为是在现有探针卡的电路板100上增加第一电压调节模块300 的方式，或者是制造具有第一电压调节模块300的电路板100的方式，当采用现有的电路板100时，可以通过飞线焊接或线缆焊接等方式，将于第一电压调节模块300的第一端与第二端分别电路板100的第一电压输出接口110与第二电压输出接口120焊接。当采用制造具有第一电压调节模块300的电路板100 的方式时，第一电压调节模块300通过印刷电路与第一电压输出接口110与第二电压输出接口120电连接。

如图3所示，第一电压调节模块300也可以是独立于电路板100与探针，通过线缆电连接在电路板100与探针之间。例如，电路板100的第一电压输出接口110与第二电压输出接口120通过第一线缆以及第二线缆分别与第一探针 11以及第二探针12电连接；第一电压调节模块300的第一端通过第三线缆电连接于第一电压输出接口110与第一探针11之间，可以是连接在第一线缆上；第一电压调节模块300的第二端通过第四线缆电连接于第二电压输出接口120与第二探针12之间，可以是连接在第二线缆上。

基于半导体技术领域的知识产权封锁，很多设备(如测试机、探针台)并不允许购买方进行拆装与改造，因此，上述直接焊接的方式，并不能广泛适用。如图4所示，当第一电压调节模块300独立于电路板100与探针，为了使得更好的安装使用第一电压调节模块300，在一种可能的实现方式中，第一电压调节模块300还可以包括第一壳体303，第一壳体303具有腔体，第一电容302与第一电阻301设于腔体，第一壳体303为电绝缘。

上述第一壳体303上设置有第一接口321、第二接口322、第三接口311以及第四接口312；第一接口321为第一电压调节模块300的第一端；第二接口 322为第一电压调节模块300的第二端；第三接口311与第一接口321电连接，第一探针11的第一端具有第一探针接口，第三接口311与第一探针接口电连接；第四接口312与第二接口322电连接，第二探针12的第一端具有第二探针接口，第四接口312与第二探针接口电连接。为了更加便捷使用，第一电压输出接口110与第一接口321适配，第三接口311与第一探针接口适配；第二电压输出接口120与第二接口322适配，第四接口312与第二探针接口适配，也就是说，第一电压调节模块300上的接口分别对应电路板100与探针，因此，采用原有探针与电路板100连接用的线缆，即可将第一电压调节模块300与电路板100 以及探针连接。

虽然第一电压调节模块300与电路板100以及探针的连接方式可以为多种，但是第一电压调节模块300用于降低第一探针11的第二端与第二探针12的第二端之间的电压差的变化速度。如图5所示，实线部分为电路板100第一电压输出接口110输出的电压(也可以理解为测试机20产生的第一电压)，测试机 20的模拟输出信号为方波，但实际上，产生在第一电压输出接口110(一般情况下第二电压输出接口120电压为零)的电压在初期(如几十微秒内)为快速升高的趋势，并不是直接变为设定的输出电压。通过第一电压调节模块300，使得产生在探针的电压的变化率降低，如图5中的虚线部分，需要经过较长时间(如几百微秒)才能升高到设定电压。也就是说，第一探针11的电压变化速率降低，与待测器件40的测试电极接触导通时，第一探针11与第二探针12之间的电压差小，两探针之间的空气不会导通，电弧不会产生。

实施例三

由于在电路板100的第一电压输出接口110与第二电压输出端22接口中连接有第一电压调节模块300，是否对测试参数造成影响，需要进行验证，同时，在低压测试中，探针卡10并不需要第一电压调节模块300进行工作。如图6所示，在实施例一与实施例二的基础上，在本实施例中第一电压调节模块300还可以包括开关模块304，开关模块304用于通过自身的通断，控制第一电压调节模块300工作或停止工作。

通过开关模块304，分别在第一电压调节模块300工作与不工作的情况下，对同一待测器件40进行测试，对比测试数据，即可判断第一电压调节模块300 的使用，是否对测试参数(一般为最高输出电压值)造成影响。

例如，开关模块304包括继电器或开关或可拆卸的保险丝或MOS管，开关模块304、第一电阻301以及第一电容302三者之间串联。其中，继电器与MOS 管可以通过控制器等装置进行控制通断，实现自动化管理。在实际应用中，也可以是通过手动式的开关或保险丝等电器件来实现手动开关。控制器可以采用测试机20上的控制器或者新的控制器。

由此，具有本第一电压调节模块300的探针卡10，对低压测试或其他测试并不会造成影响，根据实际的需要启动第一电压调节模块300。

实施例四

如图7所示，本实施例提供一种探针台1，包括：移动平台140、多个探针座130以及上述实施例所述的探针卡10。

上述探针座130用于固定探针卡10的第一探针11与第二探针12，第一探针11与第二探针12分别可拆卸固定在一个探针座130上。

上述移动平台140用于将待测器件40移动至预设位置，使待测器件40与第一探针11以及第二探针12电连接。

采用上述探针台1进行超高压测试，可以防止测量过程中出现电弧的问题，提高测量的效率与测量准确率。

如图7所示，本实施例还提供一种测试系统，包括测试机20与上述探针台 1；测试机20与探针台1的探针卡10电连接，探针卡10的电路板100具有第一电压输入接口101以及第二电压输入接口102，测试机20通过电路板100的第一电压输入接口101向电路板100的第一电压输出接口110输出第一电压，测试机20通过电路板100的第二电压输入接口102向电路板100的第二电压输出接口120输出第二电压。

上述测试系统的技术效果与上述探针台1的技术效果相同，在此不在赘述。

实施例五

如图8所示，本实施例提供一种电压调节装置50，应用于探针卡的电路板 100的第一电压输出接口110与第二电压输出接口120之间，电压调节装置50 包括：第二壳体510以及设在第二壳体510上的第五接口511以及第六接口512；第五接口511用于与探针卡的第一电压输出接口110电连接，第六接口512用于与探针卡的第二电压输出接口120电连接。

上述电压调节装置50还包括设在第二壳体510内部的第二电压调节模块 500，第二电压调节模块500的第一端与电压调节装置50的第五接口511电连接，第二电压调节模块500的第六端与电压调节装置50的第六接口512电连接；第二电压调节模块500用于降低电压调节装置50的第五接口511与第六接口 512之间的电压差的变化速度。例如，上述第二电压调节模块500可以包括串联的第二电容502与第二电阻501。

此时，电压调节装置50为独立于探针卡10的装置，电压调节装置50还可以包括第七接口513以及第八接口514，第七接口513与第五接口511电连接，第八接口514与第六接口512电连接，第七接口513用于第一探针11电连接，第八接口514用于与第二探针12电连接。上述第五接口511至第八接口514，采用与探针卡10的电路板100以及探针适配的接口类型。

电压经过电压调节装置50调节后，第一探针11的电压变化速率降低(第六电压为零)，与待测器件40的测试电极接触导通时，第一探针11与第二探针 12之间的电压差小，两探针之间的空气不会导通，电弧不会产生。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种探针卡，其特征在于，包括电路板(100)、第一探针(11)、第二探针(12)以及第一电压调节模块(300)；

所述电路板(100)具有第一电压输出接口(110)以及第二电压输出接口(120)；

所述第一探针(11)的第一端与所述第一电压输出接口(110)电连接，所述第一探针(11)的第二端用于输出第一电压；

所述第二探针(12)的第一端与所述第二电压输出接口(120)电连接，所述第二探针(12)的第二端用于输出第二电压；

所述第一电压调节模块(300)的第一端与所述第一电压输出接口(110)电连接，所述第一电压调节模块(300)的第二端与所述第二电压输出接口(120)电连接；所述第一电压调节模块(300)用于降低所述第一探针(11)的第二端与所述第二探针(12)的第二端之间的电压差的变化速度。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述第一电压调节模块(300)包括第一电阻(301)与第一电容(302)，所述第一电阻(301)的第一端与所述第一电压调节模块(300)的第一端电连接，所述第一电阻(301)的第二端与所述第一电容(302)的第一端电连接，所述第一电容(302)的第二端与所述第一电压调节模块(300)的第二端电连接。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述第一电压调节模块(300)还包括开关模块(304)，所述开关模块(304)用于通过自身的通断，控制所述第一电压调节模块(300)工作或停止工作。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述开关模块(304)包括继电器或开关或可拆卸的保险丝或MOS管，所述开关模块(304)、第一电阻(301)以及第一电容(302)之间串联。

5.如权利要求1或2所述的探针卡，其特征在于，所述电路板(100)的所述第一电压输出接口(110)与所述第二电压输出接口(120)通过第一线缆以及第二线缆分别与所述第一探针(11)以及第二探针(12)电连接；

所述第一电压调节模块(300)的第一端通过第三线缆电连接于所述第一电压输出接口(110)与所述第一探针(11)之间；所述第一电压调节模块(300)的第二端通过第四线缆电连接于所述第二电压输出接口(120)与所述第二探针(12)之间。

6.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述第一电压调节模块(300)还包括第一壳体(303)，所述第一壳体(303)具有腔体，所述第一电容(302) 与第一电阻(301)设于所述腔体，所述第一壳体(303)为电绝缘；

所述第一壳体(303)上设置有第一接口(321)、第二接口(322)、第三接口(311)以及第四接口(312)；所述第一接口(321)为所述第一电压调节模块(300)的第一端；所述第二接口(322)为所述第一电压调节模块(300)的第二端；所述第三接口(311)与所述第一接口(321)电连接，所述第一探针(11)的第一端具有第一探针接口，所述第三接口(311)与所述第一探针接口电连接；所述第四接口(312)与所述第二接口(322)电连接，所述第二探针(12)的第一端具有第二探针接口，所述第四接口(312)与所述第二探针接口电连接。

7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述第一电压输出接口(110)与所述第一接口(321)适配，所述第三接口(311)与所述第一探针接口适配；所述第二电压输出接口(120)与所述第二接口(322)适配，所述第四接口(312)与所述第二探针接口适配。

8.一种电压调节装置，其特征在于，应用于探针卡(10)的第一电压输出接口(110)与第二电压输出接口(120)之间，所述电压调节装置(50)包括：第二壳体(510)以及设在所述第二壳体(510)上的第五接口(511)以及第六接口(512)；所述第五接口(511)用于与所述探针卡(10)的所述第一电压输出接口(110)电连接，所述第六接口(512)用于与所述探针卡(10)的所述第二电压输出接口(120)电连接；

所述电压调节装置(50)还包括设在所述第二壳体(510)内部的第二电压调节模块(500)，所述第二电压调节模块(500)的第一端与所述电压调节装置(50)的所述第五接口(511)电连接，所述第二电压调节模块(500)的第二端与所述电压调节装置(50)的所述第六接口(512)电连接；所述第二电压调节模块(500)用于降低所述电压调节装置(50)的所述第五接口(511)与所述第六接口(512)之间的电压差的变化速度。

9.一种探针台，其特征在于，包括：移动平台(140)、多个探针座(130)以及权利要求1-7任一项所述的探针卡(10)；

所述探针座(130)用于固定所述探针卡(10)的第一探针(11)与第二探针(12)，所述第一探针(11)与所述第二探针(12)分别可拆卸固定在一个所述探针座(130)上；

所述移动平台(140)用于将待测器件(40)移动至预设位置，使所述待测器件(40)与所述第一探针(11)以及所述第二探针(12)电连接。

10.一种测试系统，其特征在于，包括测试机(20)与权利要求9所述的探针台(1)；所述测试机(20)与所述探针台(1)的探针卡(10)电连接，所述探针卡(10)的电路板(100)具有第一电压输入接口(101)以及第二电压输入接口(102)，所述测试机(20)通过所述电路板(100)的所述第一电压输入接口(101)向所述电路板(100)的所述第一电压输出接口(110)输出第一电压，所述测试机(20)通过所述电路板(100)的所述第二电压输入接口(102)向所述电路板(100)的所述第二电压输出接口(120)输出第二电压。

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