CN216192652U

CN216192652U - 一种自动化程度高的真空镀膜机

Info

Publication number: CN216192652U
Application number: CN202122315556.8U
Authority: CN
Inventors: 吴丽
Original assignee: Jiangsu Xurixiang New Material Technology Co ltd
Current assignee: Jiangsu Xurixiang New Material Technology Co ltd
Priority date: 2021-09-24
Filing date: 2021-09-24
Publication date: 2022-04-05
Anticipated expiration: 2031-09-24

Abstract

本实用新型公开了一种自动化程度高的真空镀膜机，包括底板，底板顶部的右侧固定连接有真空镀膜机体，真空镀膜机体的顶部固定连接有顶板，顶板的顶部固定连接有电机，电机的输出端通过轴承延伸至真空镀膜机体的内腔并固定连接有第一齿盘。本实用新型通过底板、真空镀膜机体、顶板、电机、第一齿盘、连接杆、第二齿盘、第一转动杆、第一安装盒、第一安装板、第一挂件、第二转动杆、第二安装盒、第二安装板、第二挂件、螺杆、移动板、限位杆和操作柜的配合使用，具备方便更换放置架的优点，能够有效的解决目前自动化程度高的真空镀膜机，内部放置架多采用焊接的形式进行固定，不方便后续的更换，因此无法满足使用需求的问题。

Description

一种自动化程度高的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种自动化程度高的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等，真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜的技术，目前自动化程度高的真空镀膜机，内部放置架多采用焊接的形式进行固定，不方便后续的更换，因此无法满足使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动化程度高的真空镀膜机，具备方便更换放置架的优点，解决了目前自动化程度高的真空镀膜机，内部放置架多采用焊接的形式进行固定，不方便后续的更换，因此无法满足使用需求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动化程度高的真空镀膜机，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有真空镀膜机体，所述真空镀膜机体的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端通过轴承延伸至真空镀膜机体的内腔并固定连接有第一齿盘，所述真空镀膜机体内腔顶部的两侧均通过轴承活动连接有连接杆，所述连接杆的底部固定连接有第二齿盘，所述第一齿盘与第二齿盘相互啮合，所述第一齿盘的底部固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆的正面固定连接有第一安装盒，所述第一转动杆的两侧均设置有第一安装板，所述第一安装板的底部固定连接有第一挂件，所述第二齿盘的底部固定连接有第二转动杆，所述第二转动杆的正面固定连接有第二安装盒，所述第二转动杆的两侧均设置有第二安装板，所述第二安装板的底部固定连接有第二挂件，所述第一安装盒内腔的正面螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端延伸至第一安装盒的内腔并通过轴承活动连接有移动板，所述移动板背面的两侧均固定连接有限位杆，所述第一安装板的一端延伸至第一转动杆的内腔，所述限位杆远离移动板的一端贯穿第一转动杆并延伸至第一安装板的内腔，所述第二安装盒与第一安装盒的内部结构相同，所述底板顶部的左侧固定连接有操作柜。

优选的，所述操作柜的背面固定连接有散热盒，所述操作柜的背面且位于散热盒的内腔固定连接有导热板，所述导热板的背面固定连接有导热条，所述散热盒内腔的两侧均固定连接有散热扇，所述散热盒内腔的两侧均开设有散热通槽。

优选的，所述顶板顶部的两侧均固定连接有真空泵，真空泵的底部通过管道与真空镀膜机体相连通。

优选的，所述底板底部的两侧均固定连接有垫脚，垫脚的底部固定连接有防滑垫。

优选的，所述导热板和导热条均采用铜材质，所述导热条的数量为三个。

优选的，所述螺杆的正面延伸至第一安装盒的正面并固定连接有手轮，所述手轮的表面开设有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过底板、真空镀膜机体、顶板、电机、第一齿盘、连接杆、第二齿盘、第一转动杆、第一安装盒、第一安装板、第一挂件、第二转动杆、第二安装盒、第二安装板、第二挂件、螺杆、移动板、限位杆和操作柜的配合使用，具备方便更换放置架的优点，能够有效的解决目前自动化程度高的真空镀膜机，内部放置架多采用焊接的形式进行固定，不方便后续的更换，因此无法满足使用需求的问题。

2、本实用新型通过设置导热板、导热条和散热扇，能够提高操作柜的散热效果，使操作柜在使用时更加的安全，通过设置垫脚和防滑垫，能够提高该真空镀膜机在使用时的稳定性，通过设置手轮，能够便于转动螺杆转动，以便于带动移动板移动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1的A的放大图；

图3为本实用新型第一转动杆俯视局部剖视图；

图4为本实用新型操作柜俯视局部剖视图。

图中：1、底板；2、真空镀膜机体；3、顶板；4、电机；5、第一齿盘；6、连接杆；7、第二齿盘；8、第一转动杆；9、第一安装盒；10、第一安装板；11、第一挂件；12、第二转动杆；13、第二安装盒；14、第二安装板；15、第二挂件；16、螺杆；17、移动板；18、限位杆；19、操作柜；20、散热盒；21、导热板；22、导热条；23、散热扇；24、手轮。

具体实施方式

以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本实用新型，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

请参阅图1-4，一种自动化程度高的真空镀膜机，包括底板1，底板1顶部的右侧固定连接有真空镀膜机体2，真空镀膜机体2的顶部固定连接有顶板3，顶板3的顶部固定连接有电机4，电机4的输出端通过轴承延伸至真空镀膜机体2的内腔并固定连接有第一齿盘5，真空镀膜机体2内腔顶部的两侧均通过轴承活动连接有连接杆6，连接杆6的底部固定连接有第二齿盘7，第一齿盘5与第二齿盘7相互啮合，第一齿盘5的底部固定连接有第一转动杆8，第一转动杆8的正面固定连接有第一安装盒9，第一转动杆8的两侧均设置有第一安装板10，第一安装板10的底部固定连接有第一挂件11，第二齿盘7的底部固定连接有第二转动杆12，第二转动杆12的正面固定连接有第二安装盒13，第二转动杆12的两侧均设置有第二安装板14，第二安装板14的底部固定连接有第二挂件15，第一安装盒9内腔的正面螺纹连接有螺杆16，螺杆16的一端延伸至第一安装盒9的内腔并通过轴承活动连接有移动板17，移动板17背面的两侧均固定连接有限位杆18，第一安装板10的一端延伸至第一转动杆8的内腔，限位杆18远离移动板17的一端贯穿第一转动杆8并延伸至第一安装板10的内腔，第二安装盒13与第一安装盒9的内部结构相同，底板1顶部的左侧固定连接有操作柜19，操作柜19的背面固定连接有散热盒20，操作柜19的背面且位于散热盒20的内腔固定连接有导热板21，导热板21的背面固定连接有导热条22，散热盒20内腔的两侧均固定连接有散热扇23，通过设置导热板21、导热条22和散热扇23，能够提高操作柜19的散热效果，使操作柜19在使用时更加的安全，散热盒20内腔的两侧均开设有散热通槽，顶板3顶部的两侧均固定连接有真空泵，真空泵的底部通过管道与真空镀膜机体2相连通，底板1底部的两侧均固定连接有垫脚，垫脚的底部固定连接有防滑垫，通过设置垫脚和防滑垫，能够提高该真空镀膜机在使用时的稳定性，导热板21和导热条22均采用铜材质，导热条22的数量为三个，螺杆16的正面延伸至第一安装盒9的正面并固定连接有手轮24，通过设置手轮24，能够便于转动螺杆16转动，以便于带动移动板17移动，手轮24的表面开设有防滑纹，通过底板1、真空镀膜机体2、顶板3、电机4、第一齿盘5、连接杆6、第二齿盘7、第一转动杆8、第一安装盒9、第一安装板10、第一挂件11、第二转动杆12、第二安装盒13、第二安装板14、第二挂件15、螺杆16、移动板17、限位杆18和操作柜19的配合使用，具备方便更换放置架的优点，能够有效的解决目前自动化程度高的真空镀膜机，内部放置架多采用焊接的形式进行固定，不方便后续的更换，因此无法满足使用需求的问题。

使用时，当需要更换第一挂件11时，转动手轮24，手轮24带动螺杆16转动，螺杆16带动移动板17移动，移动板17带动限位杆18移动，限位杆18解除对第一安装板10的限位，第一安装板10解除限位后即可取下第一挂件11进行更换。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种自动化程度高的真空镀膜机，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的右侧固定连接有真空镀膜机体（2），所述真空镀膜机体（2）的顶部固定连接有顶板（3），所述顶板（3）的顶部固定连接有电机（4），所述电机（4）的输出端通过轴承延伸至真空镀膜机体（2）的内腔并固定连接有第一齿盘（5），所述真空镀膜机体（2）内腔顶部的两侧均通过轴承活动连接有连接杆（6），所述连接杆（6）的底部固定连接有第二齿盘（7），所述第一齿盘（5）与第二齿盘（7）相互啮合，所述第一齿盘（5）的底部固定连接有第一转动杆（8），所述第一转动杆（8）的正面固定连接有第一安装盒（9），所述第一转动杆（8）的两侧均设置有第一安装板（10），所述第一安装板（10）的底部固定连接有第一挂件（11），所述第二齿盘（7）的底部固定连接有第二转动杆（12），所述第二转动杆（12）的正面固定连接有第二安装盒（13），所述第二转动杆（12）的两侧均设置有第二安装板（14），所述第二安装板（14）的底部固定连接有第二挂件（15），所述第一安装盒（9）内腔的正面螺纹连接有螺杆（16），所述螺杆（16）的一端延伸至第一安装盒（9）的内腔并通过轴承活动连接有移动板（17），所述移动板（17）背面的两侧均固定连接有限位杆（18），所述第一安装板（10）的一端延伸至第一转动杆（8）的内腔，所述限位杆（18）远离移动板（17）的一端贯穿第一转动杆（8）并延伸至第一安装板（10）的内腔，所述第二安装盒（13）与第一安装盒（9）的内部结构相同，所述底板（1）顶部的左侧固定连接有操作柜（19）。

2.根据权利要求1所述的一种自动化程度高的真空镀膜机，其特征在于：所述操作柜（19）的背面固定连接有散热盒（20），所述操作柜（19）的背面且位于散热盒（20）的内腔固定连接有导热板（21），所述导热板（21）的背面固定连接有导热条（22），所述散热盒（20）内腔的两侧均固定连接有散热扇（23），所述散热盒（20）内腔的两侧均开设有散热通槽。

3.根据权利要求1所述的一种自动化程度高的真空镀膜机，其特征在于：所述顶板（3）顶部的两侧均固定连接有真空泵，真空泵的底部通过管道与真空镀膜机体（2）相连通。

4.根据权利要求1所述的一种自动化程度高的真空镀膜机，其特征在于：所述底板（1）底部的两侧均固定连接有垫脚，垫脚的底部固定连接有防滑垫。

5.根据权利要求2所述的一种自动化程度高的真空镀膜机，其特征在于：所述导热板（21）和导热条（22）均采用铜材质，所述导热条（22）的数量为三个。

6.根据权利要求1所述的一种自动化程度高的真空镀膜机，其特征在于：所述螺杆（16）的正面延伸至第一安装盒（9）的正面并固定连接有手轮（24），所述手轮（24）的表面开设有防滑纹。