CN216133849U - 一种用于半导体材料辐照设备 - Google Patents
一种用于半导体材料辐照设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216133849U CN216133849U CN202122577488.2U CN202122577488U CN216133849U CN 216133849 U CN216133849 U CN 216133849U CN 202122577488 U CN202122577488 U CN 202122577488U CN 216133849 U CN216133849 U CN 216133849U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- irradiation
- box
- semiconductor material
- driving motor
- button switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 25
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于半导体材料辐照设备，包括辐照组件、按钮开关、箱门、驱动电机和电控柜；本实用新型中，通过驱动电机和辐照组件的设置，使用时，通过按钮开关控制驱动电机通电运行，驱动电机带动放置盒转动，实现对放置盒内半导体材料进行翻面，有利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，提高辐照设备的工作效率；通过放置盒和透光网的设置，放置盒采用网格结构，使电子束辐照头透过放置盒辐照在半导体材料的表面，保证辐照设备正常运行，透光网使封盖的中间位置透光，避免封盖对半导体材料造成遮挡，使电子束辐照头对半导体材料进行正常的辐照作业。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体材料辐照技术领域，尤其是一种用于半导体材料辐照设备。
背景技术
高能电子束照射可使一些物质产生物理、化学和生物学效应，并能有效地杀灭病菌、病毒和害虫，这一技术已被广泛应用于工业生产中的材料改性、新材料制作、环境保护、加工生产等，但现有用于半导体材料辐照设备辐照过程中不便于对半导体材料进行翻面，不利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，降低辐照设备的工作效率，因此，急需研制一种用于半导体材料辐照设备，以解决上述问题，且便于市场推广与应用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足之处，提供一种用于半导体材料辐照设备，以解决现有用于半导体材料辐照设备辐照过程中不便于对半导体材料进行翻面，不利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，降低辐照设备的工作效率的问题。
本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：
一种用于半导体材料辐照设备，包括辐照组件、按钮开关、箱门、驱动电机和电控柜，所述的按钮开关安装在辐照组件一侧的上方，所述的箱门铰连接在辐照组件的前侧，所述的驱动电机安装在辐照组件背离按钮开关一侧的下方，所述的电控柜安装在辐照组件的上方；
所述的辐照组件包括辐照箱、放置盒、封盖、辐照设备本体、电子束辐照头和透光网，所述的辐照设备本体安装在辐照箱内部的上方，所述的电子束辐照头设置在辐照设备本体的下方，所述的放置盒的两端通过轴套安装在辐照箱内部的下方，所述的封盖安装在放置盒的上方，所述的透光网设置在封盖的中间位置。
而且，所述的按钮开关通过导线分别与驱动电机和电控柜相连，所述的箱门的尺寸与辐照箱的尺寸匹配，且箱门与辐照箱的连接处设置有密封垫，所述的驱动电机通过导线与电控柜相连，且驱动电机的输出轴通过联轴器与放置盒一侧的主轴相连，所述的电控柜通过电源线与市电相连。
而且，所述的辐照箱的前侧采用敞口式设置，所述的放置盒的上端采用敞口式设置，且放置盒采用网格结构，所述的封盖的尺寸与放置盒的尺寸匹配，且封盖通过螺栓与放置盒采用可拆卸式相连，该封盖的中间位置开设有凹槽。
而且，所述的辐照设备本体通过导线分别与按钮开关和电控柜相连，所述的电子束辐照头与辐照设备本体为一体式结构，所述的透光网的尺寸与封盖的凹槽的尺寸匹配。
本实用新型的优点和积极效果是：
1、本实用新型，通过驱动电机和辐照组件的设置，使用时，通过按钮开关控制驱动电机通电运行，驱动电机带动放置盒转动，实现对放置盒内半导体材料进行翻面，有利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，提高辐照设备的工作效率。
2、本实用新型，通过放置盒和透光网的设置，放置盒采用网格结构，使电子束辐照头透过放置盒辐照在半导体材料的表面，保证辐照设备正常运行，透光网使封盖的中间位置透光，避免封盖对半导体材料造成遮挡，使电子束辐照头对半导体材料进行正常的辐照作业。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的辐照组件的结构示意图；
图3为本实用新型的封盖和透光网的结构示意图。
图中：1、辐照组件；11、辐照箱；12、放置盒；13、封盖；14、辐照设备本体；15、电子束辐照头；16、透光网；2、按钮开关；3、箱门；4、驱动电机；5、电控柜。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
一种用于半导体材料辐照设备，如图1-3所示，包括辐照组件1、按钮开关2、箱门3、驱动电机4和电控柜5，所述的按钮开关安装在辐照组件一侧的上方，所述的箱门铰连接在辐照组件的前侧，所述的驱动电机安装在辐照组件背离按钮开关一侧的下方，所述的电控柜安装在辐照组件的上方；
本实施例中，辐照组件包括辐照箱11、放置盒12、封盖13、辐照设备本体14、电子束辐照头15和透光网16，所述的辐照设备本体安装在辐照箱内部的上方，所述的电子束辐照头设置在辐照设备本体的下方，所述的放置盒的两端通过轴套安装在辐照箱内部的下方，所述的封盖安装在放置盒的上方，所述的透光网设置在封盖的中间位置；辐照箱的前侧采用敞口式设置，所述的放置盒的上端采用敞口式设置，且放置盒采用网格结构，所述的封盖的尺寸与放置盒的尺寸匹配，且封盖通过螺栓与放置盒采用可拆卸式相连，该封盖的中间位置开设有凹槽；辐照设备本体通过导线分别与按钮开关和电控柜相连，所述的电子束辐照头与辐照设备本体为一体式结构，所述的透光网的尺寸与封盖的凹槽的尺寸匹配；使用时，通过按钮开关控制驱动电机通电运行，驱动电机带动放置盒转动，实现对放置盒内半导体材料进行翻面，有利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，提高辐照设备的工作效率。
本实施例中，按钮开关通过导线分别与驱动电机和电控柜相连，所述的箱门的尺寸与辐照箱的尺寸匹配，且箱门与辐照箱的连接处设置有密封垫，所述的驱动电机通过导线与电控柜相连，且驱动电机的输出轴通过联轴器与放置盒一侧的主轴相连，所述的电控柜通过电源线与市电相连；放置盒采用网格结构，使电子束辐照头透过放置盒辐照在半导体材料的表面，保证辐照设备正常运行，透光网使封盖的中间位置透光，避免封盖对半导体材料造成遮挡，使电子束辐照头对半导体材料进行正常的辐照作业。
本实用新型的工作原理：
如图1-3，使用时，电控柜接通市电进行供电，打开箱门和封盖，将半导体材料放置在放置盒内，安装上封盖，关闭箱门，通过按钮开关控制驱动电机通电运行，驱动电机带动放置盒转动，实现对放置盒内半导体材料进行翻面，有利于对半导体材料进行全方位的辐照作业，提高辐照设备的工作效率，放置盒采用网格结构，使电子束辐照头透过放置盒辐照在半导体材料的表面，保证辐照设备正常运行，透光网使封盖的中间位置透光，避免封盖对半导体材料造成遮挡，使电子束辐照头对半导体材料进行正常的辐照作业。
尽管为说明目的公开了本实用新型的实施例和附图，但是本领域的技术人员可以理解：在不脱离本实用新型及所附权利要求的精神和范围内，各种替换、变化和修改都是可能的，因此，本实用新型的范围不局限于实施例和附图所公开的内容。
Claims (4)
1.一种用于半导体材料辐照设备，其特征在于：包括辐照组件、按钮开关、箱门、驱动电机和电控柜，所述的按钮开关安装在辐照组件一侧的上方，所述的箱门铰连接在辐照组件的前侧，所述的驱动电机安装在辐照组件背离按钮开关一侧的下方，所述的电控柜安装在辐照组件的上方；
所述的辐照组件包括辐照箱、放置盒、封盖、辐照设备本体、电子束辐照头和透光网，所述的辐照设备本体安装在辐照箱内部的上方，所述的电子束辐照头设置在辐照设备本体的下方，所述的放置盒的两端通过轴套安装在辐照箱内部的下方，所述的封盖安装在放置盒的上方，所述的透光网设置在封盖的中间位置。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备，其特征在于：所述的按钮开关通过导线分别与驱动电机和电控柜相连，所述的箱门的尺寸与辐照箱的尺寸匹配，且箱门与辐照箱的连接处设置有密封垫，所述的驱动电机通过导线与电控柜相连，且驱动电机的输出轴通过联轴器与放置盒一侧的主轴相连，所述的电控柜通过电源线与市电相连。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备，其特征在于：所述的辐照箱的前侧采用敞口式设置，所述的放置盒的上端采用敞口式设置，且放置盒采用网格结构，所述的封盖的尺寸与放置盒的尺寸匹配，且封盖通过螺栓与放置盒采用可拆卸式相连，该封盖的中间位置开设有凹槽。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备，其特征在于：所述的辐照设备本体通过导线分别与按钮开关和电控柜相连，所述的电子束辐照头与辐照设备本体为一体式结构，所述的透光网的尺寸与封盖的凹槽的尺寸匹配。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122577488.2U CN216133849U (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种用于半导体材料辐照设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122577488.2U CN216133849U (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种用于半导体材料辐照设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216133849U true CN216133849U (zh) | 2022-03-25 |
Family
ID=80773422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122577488.2U Active CN216133849U (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种用于半导体材料辐照设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216133849U (zh) |
-
2021
- 2021-10-26 CN CN202122577488.2U patent/CN216133849U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2021232642A1 (zh) | 一种双刀传动机构以及带有该双刀传动机构的电动剪刀 | |
| CN216133849U (zh) | 一种用于半导体材料辐照设备 | |
| CN208162254U (zh) | 一种移动柔性收尘罩及在线收尘系统 | |
| CN210585182U (zh) | 一种多功能的节能环保生活垃圾处理装置 | |
| CN207788942U (zh) | 一种机器人电机前置手腕结构 | |
| CN207509733U (zh) | 塑料管材封口机 | |
| CN107485568A (zh) | 肿瘤科用碎药装置 | |
| CN201861793U (zh) | 一种电动牙刷 | |
| CN207981674U (zh) | 一种太阳能路灯除尘装置 | |
| CN206471764U (zh) | 一种电线缝合装置 | |
| CN212302727U (zh) | 遥控式便携x射线机控制装置 | |
| CN209101171U (zh) | 一种道路专用电池板多角度旋转的太阳能led灯 | |
| CN101947058B (zh) | 一种即热式电热水壶的停水机构 | |
| CN202324970U (zh) | 具有电控功能的平衡易推门 | |
| CN207026071U (zh) | 安全型清洗机专用箱体 | |
| CN201359178Y (zh) | 快速抢修发电配电车 | |
| CN208644860U (zh) | 一种剪刀型机床护罩 | |
| CN217968634U (zh) | 一种纸箱生产加工用粘箱机构 | |
| CN212572260U (zh) | 一种防水电机 | |
| CN111089262A (zh) | 一种可保护太阳能板的太阳能路灯 | |
| CN205924201U (zh) | 十六分之一带灯机头 | |
| CN204728951U (zh) | 一种开门关门2分钟后自动落锁的防火门 | |
| CN218920382U (zh) | 一种光伏发电的测试结构 | |
| CN216233362U (zh) | 一种食品级无菌包装辐照装置 | |
| CN216547000U (zh) | 一种干燥剂灌装机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |