CN216118478U - 升华仪控制电路 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种升华仪控制电路，包括：在PLC控制器输入端连接输入控制装置；在PLC控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；人机交互界面与PLC控制器通讯连接；在人机交互界面设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数；本实用新型同现有技术相比，在本实施例的升华仪中采用了人机交互界面+PLC控制器的控制电路的控制方式，具有电路结构简单的特点，同时还能够方便的对用升华仪中的加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计等设备参数进行修改，改变现有的升华仪的控制电路中存在控制参数设置修改较为困难的技术问题。

Description

升华仪控制电路

技术领域

本实用新型的实施例涉及一种控制电路，特别涉及一种升华仪控制电路。

背景技术

在现有的升华仪的控制电路主要都采用集成式电路板+控制面板的控制样式进行控制，主要存在着对于加热设备、机械泵、分子泵、流量计等控制参数设置修改较为困难，同时控制电路复杂。

实用新型内容

本实用新型的实施方式的目的在于提供一种用于参数修改较为方便的升华仪控制电路。

为了实现上述目的，本实用新型的实施方式设计了一种升华仪控制电路，其特征在于，包括：

PLC控制器，在所述的PLC控制器输入端连接输入控制装置；在所述的PLC 控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；

人机交互界面，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器通讯连接；在所述的人机交互界面设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数。

进一步，所述的输入控制装置，还包括：

操作面板，所述的操作面板与所述的PLC控制器输入端电性连接，所述的操作面板上设置输入按钮通过机械点位连接至所述PLC控制器输入端；

真空传感器，所述的真空传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第一模拟量输入端电性连接；所述的真空传感器数字输出端与所述PLC控制器数字输入端电性连接；

气体流量传感器，所述的气体流量传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第二模拟量输入端电性连接；

温度传感器，若干个所述的温度传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上的温度输入模块电性连接。

进一步，在所述的PLC控制器输出端上的若干个点位上连接若干个加热接触器，所述加热接触器将电源与加热元件电性连接；用于多段加热温场的温度控制；

在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至控制所述机械泵的接触器；用于启停所述机械泵；

同样，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至所述分子泵的接触器；用于控制启停所述分子泵；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述流量计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述流量计的流量；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述真空计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述真空计的真空度。

进一步，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器，通过以太网或者 PROFI BUS总线电性连接。

进一步，在所述的人机交互界面内设置若干个控制屏幕控制按钮、若干个屏幕切换按钮以及屏幕显示条。

进一步，在所述的PLC控制器输出端控制所述机械泵的接触器；与所述的 PLC控制器输出端上控制所述分子泵的接触器进行互锁。

进一步，在所述的真空传感器上的真空值达到预设值后，所述的真空传感器的输出端输出数字量至所述PLC控制器输入端上的数字输入端，所述的PLC控制器输出端输出一个点位至所述分子泵的接触器，控制所述的分子泵开启。

进一步，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接惰性气体充气电磁阀。

进一步，在所述的PLC控制器输出端上以PI D输出方式控制所述的加热接触器的吸合，控制所述加热线圈进行加热；用于多段加热温场的加热。

进一步，在所述的PLC控制器依照升温曲线，对所述的多段加热温场的加热进行控制；所述的升温曲线设置在人机交互界面内。

本实用新型同现有技术相比，在本实施例的升华仪中采用了人机交互界面 +PLC控制器的控制电路的控制方式，具有电路结构简单的特点，同时还能够方便的对用升华仪中的加热设备、机械泵、分子泵、流量计等设备参数进行修改，改变现有的升华仪的控制电路中存在控制参数设置修改较为困难的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的PLC控制器的控制电路示意图；

图3为本实用新型的人机交互界面界面示意图；

图4为升温曲线示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请各权利要求所要求保护的技术方案。

本实用新型的第一实施方式涉及一种升华仪控制电路，如图1、图2和图3 所示，包括：

在PLC控制器1输入端连接输入控制装置10；在PLC控制器1输出端分别输出控制加热设备2、机械泵3、分子泵4、真空计41、流量计5；PLC控制器1 作为本实施例中的控制电路的控制。

人机交互界面6，人机交互界面6与PLC控制器1通讯连接；在人机交互界面6设置开关按钮7、显示窗口8和参数设置窗口9，用于手动控制、输入参数和显示参数。

在本实施例中采用了人机交互界面6与PLC控制器1通过通讯网络连接在一起，同时连接加热设备2、机械泵3、分子泵4、真空计41、流量计5的控制电路的控制方式，具有电路结构简单的特点，应用了人机交互界面6还能够方便的对用升华仪中的加热设备2、机械泵3、分子泵4、真空计41、流量计5等设备参数进行修改，改变现有的升华仪的控制电路中存在控制参数设置修改较为困难的技术问题。

为了进一步实现上述的技术效果，如图1、图2和图3所示，输入控制装置 10，还包括：

操作面板11与PLC控制器1输入端电性连接，操作面板11上设置输入按钮通过机械点位连接至PLC控制器11输入端；操作面板11主要用于电源接入以及升华仪的电源启动和电源停止，主要是给电的操作。

真空传感器12的输出模拟量与PLC控制器1输入端上第一模拟量输入端电性连接；所述的真空传感器数字输出端与所述PLC控制器数字输入端电性连接；真空传感器12主要输出由升华仪内的真空值转化成的模拟信号输入到PLC控制器1输入端上第一模拟量输入端。

气体流量传感器13输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第二模拟量输入端电性连接；气体流量传感器13主要输出惰性气体的流量值转化成模拟信号输入到PLC控制器1输入端上第二模拟量输入端。

若干个温度传感器14输出模拟量与PLC控制器1输入端上的温度输入模块电性连接，温度传感器14主要输出温度连接至PLC控制器1输入端上多个模拟量输入端。

上述的操作面板11以数字量的形式输入到PLC控制器1输入端，真空传感器12和气体流量传感器13以及若干个温度传感器14以输出模拟信号的形式与至PLC控制器1输入端上多个模拟量输入端电性连接。

为了进一步实现上述的技术效果，如图1、图2和图3所示，在PLC控制器 1输出端上的若干个点位上连接若干个加热接触器15，加热接触器15将电源与加热元件电性连接；用于多段加热温场的温度控制；

在PLC控制器1输出端上输出至少一个点位电性连接至控制机械泵的接触器 16；用于启停所述机械泵；

同样，在PLC控制器1输出端上输出至少一个点位电性连接至分子泵的接触器17；用于控制启停所述分子泵；

在PLC控制器1输出端上输出模拟量输出与真空计41、流量计5以模拟量输出量电性连接，用于控制流量计5的流量和真空计41的真空度。

为了进一步实现上述的技术效果，如图1、图2和图3所示，人机交互界面 6与PLC控制器1，通过以太网或者PROFI BUS总线电性连接。

为了进一步实现上述的技术效果，如图1、图2和图3所示，在人机交互界面1内设置若干个屏幕控制按钮19、若干个屏幕切换按钮20以及屏幕显示条21；在本实施例中的屏幕控制按钮19用于回到首页和进入参数设置页的功能，屏幕切换按钮20主要功能是进行翻页；屏幕显示条21用于显示系统名称以及企业信息等。

本实施例中的升华仪控制电路中为了满足分子泵4必须在升华仪的腔体内真空度达到一定程度后才能启动，否则会发生设备损坏；在PLC控制器1输出端控制机械泵的接触器16与PLC控制器1输出端上控制分子泵的接触器17进行互锁，主要是利用机械泵的接触器16与分子泵的接触器17上的触点进行互锁，达到上分子泵4必须在升华仪的腔体内真空度达到一定程度后才能启动的条件。

在真空传感器12上的真空值达到预设值后，真空传感器的输出端输出数字量至PLC控制器1输入端上的数字输入端，PLC控制器1输出端输出至分子泵的接触器17，控制分子泵4开启。

同时，升温必须在真空度达到或者进行充分的惰性气体置换后，才能启动，同样是利用在真空传感器12上的真空值达到预设值后，以及充分置换惰性气体后，惰性气体的压力值达到预设值后，PLC控制器1输出端输出至加热接触器15 进行加热。

为了实现给升华仪的腔体充惰性气体功能，在PLC控制器1输出端上输出至少一个点位电性连接惰性气体充气电磁阀22。

为了实现给升华仪腔体加热，在PLC控制器1输出端上以PI D输出方式控制加热接触器22的吸合，控制加热线圈进行加热；用于多段加热温场的加热。

为了实现给升华仪腔体加热的时候得到精确控制，在PLC控制器1依照如附图4的升温曲线，对所述的多段加热温场的加热进行控制；升温曲线设置在人机交互界面内。

上述的升华仪的电路控制电路，主要涉及了多段加热温场的加热，升华仪腔体的真空度检测实时显示，机械泵、分子泵、流量计等设备参数进行修改等等功能，解决了现有的升华仪的控制电路中存在控制参数设置修改较为困难的技术问题，同时，电路结构较为简单。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。

Claims (10)

1.一种升华仪控制电路，其特征在于，包括：

PLC控制器，在所述的PLC控制器输入端连接输入控制装置；在所述的PLC控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；

人机交互界面，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器通讯连接；在所述的人机交互界面设置设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数。

2.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，所述的输入控制装置，还包括：

操作面板，所述的操作面板与所述的PLC控制器输入端电性连接，所述的操作面板上设置输入按钮通过机械点位连接至所述PLC控制器输入端；

真空传感器，所述的真空传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第一模拟量输入端电性连接；所述的真空传感器数字输出端与所述PLC控制器数字输入端电性连接；

气体流量传感器，所述的气体流量传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第二模拟量输入端电性连接；

温度传感器，若干个所述的温度传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上的温度输入模块电性连接。

3.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上的若干个点位上连接若干个加热接触器，所述加热接触器将电源与加热元件电性连接；用于多段加热温场的温度控制；

在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至控制所述机械泵的接触器；用于启停所述机械泵；

同样，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至所述分子泵的接触器；用于控制启停所述分子泵；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述流量计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述流量计的流量；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述真空计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述真空计的真空度。

4.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器，通过以太网或者PROFIBUS总线电性连接。

5.根据权利要求4所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的人机交互界面内设置若干个控制屏幕控制按钮、若干个屏幕切换按钮以及屏幕显示条。

6.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端控制所述机械泵的接触器；与所述的PLC控制器输出端上控制所述分子泵的接触器进行互锁。

7.根据权利要求2所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的真空传感器上的真空值达到预设值后，所述的真空传感器的输出端输出数字量至所述PLC控制器输入端上的数字输入端，所述的PLC控制器输出端输出一个点位至分子泵的接触器，控制所述的分子泵开启。

8.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接惰性气体充气电磁阀。

9.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上以PID输出方式控制所述的加热接触器的吸合，控制加热线圈进行加热；用于多段加热温场的加热。

10.根据权利要求9所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器依照升温曲线，对所述的多段加热温场的加热进行控制；所述的升温曲线设置在人机交互界面内。

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