CN216114080U - 一种尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种应用于废气处理技术领域的尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室(1)、喷淋室(2)，燃烧室(1)包括反应腔(3)和冷却腔(4)，反应腔(3)上设置进气口(5)，PCW进口(6)通过管路分别连通冷却腔(4)进口和喷淋室(2)进口，反应腔(3)下端连通喷淋室(2)下部，喷淋室(2)通过排气口(9)连通排风管道(11)，冷却腔(4)出口连通PCW出口(7)，喷淋室(2)出口连通PCW出口(7)，本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。

Description

一种尾气处理装置

技术领域

本实用新型属于废气处理技术领域，更具体地说，是涉及一种尾气处理装置。

背景技术

当前环保要求越来越严格，在集成电路、太阳能、半导体平面显示及新能源等新兴产业领域，对尾气的排放标准要求也越来越高，为达成排放标准，以上领域，在其工厂内，部分特气设备均在现场设置尾气处理装置(local scrubber)，故，对尾气处理装置的高处理效率性、低功耗性、高安全性需求较高。现有技术问题：当前市场尾气处理装置(特别针对plasma+WET、Burn+WET 类型)，问题一：因其燃烧腔室温度较高(＞800℃)，对燃烧室外壁耐温要求较高，且生产安全考虑，外壁温度需求＜45℃。当下设计采用较昂贵的外壁材料，且采用风冷或水冷，采用风能需求CDA用量较大，采用水冷，其进水与出水口均位于底部，冷却效果不佳，且成本较高。问题二：当下尾气处理设备其水洗部分，采用的多为一段洗水或二段水洗，且多数采用新水，其处理效果不佳，且成本较高。问题三：当下尾气处理装置，在排气部分，因气体经过燃烧及水洗后，温度较高且湿度较大，在经过排气口进入酸排后，因温度降低，温差造成冷凝，产生冷凝水，因处理后的气体均为酸性气体，溶于水后形成强酸，造成腐蚀，导致严重的生产及安全事故。当下常规处理水汽方式采用静电除湿装置或过滤器等，价格均较为昂贵。考虑到成本因素，目前多数尾气处理装置均为水汽分离设计，风险较大，无法有效满足要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能的尾气处理装置。

要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：

本实用新型为一种尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室、喷淋室，燃烧室包括反应腔和冷却腔，反应腔上设置进气口，PCW进口通过管路分别连通冷却腔进口和喷淋室进口，反应腔下端连通喷淋室下部，喷淋室通过排气口连通排风管道，冷却腔出口连通PCW出口，喷淋室出口连通PCW出口。

所述的尾气处理装置的进气口与燃烧室的反应腔上部连通，燃烧室的冷却腔进口设置在冷却腔下部位置。

所述的喷淋室内设置多个喷淋头，喷淋室上部设置排气口，排气口外围设置外腔，喷淋室进口设置在外腔下部位置，排气口上端口与排风管道连通。

所述的尾气处理装置的排气口设置为呈波浪形结构。

所述的尾气处理装置还包括水箱，喷淋室下端通过管道与水箱连通，喷淋头与水箱连通。

所述的CTW进口与水箱连通，水箱上还设置排水口。

所述的水箱内设置水泵，喷淋头与水泵连接。

所述的水箱内设置液位传感器，液位传感器包括高位液位传感器、中位液位传感器、低位液位传感器。

所述的排水口的水平高度高于水箱底部。

采用本实用新型的技术方案，能得到以下的有益效果：

本实用新型所述的尾气处理装置，进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。

附图说明

下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：

图1为本实用新型所述的尾气处理装置的结构示意图；

附图中标记分别为：1、燃烧室；2、喷淋室；3、反应腔；4、冷却腔；5、进气口；6、PCW进口；7、PCW出口；8、喷淋头；9、排气口；10、外腔；11、排风管道；12、排水口；13、水泵；14、CTW进口；15、水箱；16、液位传感器。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明：

如附图1所示，本实用新型为一种尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室1、喷淋室2，燃烧室1包括反应腔3和冷却腔4，反应腔3上设置进气口5，PCW进口6通过管路分别连通冷却腔4进口和喷淋室2进口，反应腔3 下端连通喷淋室2下部，喷淋室2通过排气口9连通排风管道11，冷却腔4出口连通PCW出口7，喷淋室2出口连通PCW出口7。上述结构，针对现有技术中的不足提出改进方案。所述的尾气处理装置进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。

所述的尾气处理装置的进气口5与燃烧室1的反应腔3上部连通，燃烧室1 的冷却腔4进口设置在冷却腔4下部位置。

所述的喷淋室2内设置多个喷淋头8，喷淋室2上部设置排气口9，排气口 9外围设置外腔10，喷淋室2进口设置在外腔10下部位置，排气口9上端口与排风管道11连通。

所述的尾气处理装置的排气口9设置为呈波浪形结构。上述结构，排气口设计为波浪形的结构，增大气体在管路中的行程，增大PCW与排放废气的接触面积，提高冷却效果，此种设计，气体因管路方向改变，碰撞管壁，而排气管外为外腔，进行废气的冷却，亦能提高排气的冷凝效果，排气管作为内管路进行废气排放，外腔作为外管路为PCW冷却管路。这样，有效提高废气冷却效果，提高废气处理效率。

所述的尾气处理装置还包括水箱15，喷淋室2下端通过管道与水箱15连通，喷淋头8与水箱15连通。

所述的CTW进口14与水箱15连通，水箱15上还设置排水口12。

所述的水箱15内设置水泵13，喷淋头8与水泵13连接。

所述的水箱15内设置液位传感器，液位传感器包括高位液位传感器、中位液位传感器、低位液位传感器。

所述的排水口12的水平高度高于水箱15底部。

本实用新型所述的尾气处理装置中，进气口：进气口位于燃烧室上方，连通反应腔，便于气体进入，进气口的数量可根据需求设定，兼容1～6口；燃烧室：燃烧室的内腔为反应腔，气体在此部分解离及燃烧，外腔为冷却腔，且进水口位于燃烧室底部，出水口位于燃烧室顶部，可增大冷却水在此腔室的流动性，在确定降温效果的同时，节省PCW用量，燃烧室的PCW与排气口的PCW为同管路，降低成本；喷淋室：具备双喷淋头设计，增大气体与CTW接触面积，提供水溶性气体处理效率，且此部分CTW为循环泵供水，非新水，可确保压力的同时，喷淋后的CTW可通过重力流入水箱中，节约成本；水箱：设置液位传感器，具备高、低、中液位传感器，根据液位高低，控制CTW进水，提供新水进入(液位较低时，进水口开启，进水)，具备排水口，排水口设计高于底部，避免粉尘堵塞排水管路(液位较高时，进行排水或定期进行排水，避免CTW废气饱和度较高)，具备水泵(循环泵)，为喷淋口及喷淋头提供CTW及供压；排气口：排气口设计为波浪形，增大气体在管路中的行程，增大PCW接触面积，提高冷却效果，此种设计，气体因管路方向改变，碰撞管壁，亦能提高排气得冷凝效果，内管路进行废气排放，外管路为PCW冷却管路，PCW进水口在排气口下方，PCW出水口在PCW排气口上方，增大PCW在此管路中的流动性，在确定降温效果的同时，降低成本；因废气经过高温燃烧及喷淋后，温度较高(＞50℃)，且湿度较大，外管PCW温度＜20℃，具备较大的温度差，废气在排气口冷凝，冷凝水随着重力回落至喷淋室内，避免冷凝水进入排风管路(酸排风)中，避免造成生产及安全事故。

本实用新型所述的尾气处理装置，进行废气处理时，废气由进气口进入，在燃烧室的反应腔内裂解燃烧，燃烧完成后，废气进入喷淋室内，废气中的粉尘凝结，回落至水箱中，水溶性气体部分溶于水，因重力回落至水箱中，其余气体被气压继续在喷淋室内运动，经过双层喷淋后，剩余水溶性气体完全溶于水内，其他可排放气体通过排气口进入排风管路，排向废气处理设备等进行收集或处理。本实用新型所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性的描述，显然本实用新型具体的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置包括燃烧室(1)、喷淋室(2)，燃烧室(1)包括反应腔(3)和冷却腔(4)，反应腔(3)上设置进气口(5)，PCW进口(6)通过管路分别连通冷却腔(4)进口和喷淋室(2)进口，反应腔(3)下端连通喷淋室(2)下部，喷淋室(2)通过排气口(9)连通排风管道(11)，冷却腔(4)出口连通PCW出口(7)，喷淋室(2)出口连通PCW出口(7)。

2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置的进气口(5)与燃烧室(1)的反应腔(3)上部连通，燃烧室(1)的冷却腔(4)进口设置在冷却腔(4)下部位置。

3.根据权利要求1或2所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的喷淋室(2)内设置多个喷淋头(8)，喷淋室(2)上部设置排气口(9)，排气口(9)外围设置外腔(10)，喷淋室(2)进口设置在外腔(10)下部位置，排气口(9)上端口与排风管道(11)连通。

4.根据权利要求1或2所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置的排气口(9)设置为呈波浪形结构。

5.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置还包括水箱(15)，喷淋室(2)下端通过管道与水箱(15)连通，喷淋头(8)与水箱(15)连通。

6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于：CTW进口(14)与水箱(15)连通，水箱(15)上还设置排水口(12)。

7.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的水箱(15)内设置水泵(13)，喷淋头(8)与水泵(13)连接。

8.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的水箱(15)内设置液位传感器(16)，液位传感器包括高位液位传感器、中位液位传感器、低位液位传感器。

9.根据权利要求6所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的排水口(12)的水平高度高于水箱(15)底部。

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