CN216084849U - 一种半导体加工用夹持装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种半导体加工用夹持装置，包括工作台和外壳，所述工作台的顶端且靠近左端位置处安装有外壳，所述外壳的内部设置有气缸，所述气缸的右端设置有连接杆，所述连接杆的右端设置有缓冲装置，所述缓冲装置的右端设置有固定板，所述缓冲装置包括传感器和缓冲垫，所述缓冲垫设置在固定板的右端，会给固定板一个力的作用，这时候固定板就会把力传递给传感器，这时候传感器就会把力学信号转化成电信号，然后传给给控制中心，然后力到了设置的阈值的时候在通过电信号把气缸及时的停止下来，这样在夹持的时候不仅对于大小不一的半导体都能够做到精准的夹持，还能够不损伤半导体，这样不仅能够增加工作的效率，还能够保证半导体的完整性。
Description
技术领域
本实用新型属于夹持装置相关技术领域，具体涉及一种半导体加工用夹持装置。
背景技术
半导体加工用夹持装置主要是在半导体在加工的时候用来固定的。
现有的半导体加工用夹持装置技术存在以下问题：现有的半导体加工用夹持装置主要是用来固定用的，而整个半导体加工用夹持装置主要是通过气缸带动固定板来实现的，通过气缸带动固定板虽然能起到固定的作用，但是在进行使用的时候也就是夹持的时候，夹持半导体的大小是不一致的，在忽大忽小的时候控制起来比较的麻烦，如果没有控制住的话就会把半导体夹坏，这样就会造成原件损失，这就导致壳经济的损失。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用夹持装置，以解决上述背景技术中提出的通过气缸带动固定板虽然能起到固定的作用，但是在进行使用的时候也就是夹持的时候，夹持半导体的大小是不一致的，在忽大忽小的时候控制起来比较的麻烦，如果没有控制住的话就会把半导体夹坏，这样就会造成原件损失，这就导致壳经济的损失的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用夹持装置，包括工作台和外壳，所述工作台的顶端且靠近左端位置处安装有外壳，所述外壳的内部设置有气缸，所述气缸的右端设置有连接杆，所述连接杆的右端设置有缓冲装置，所述缓冲装置的右端设置有固定板，所述缓冲装置包括传感器和缓冲垫，所述缓冲垫设置在固定板的右端，所述连接杆的右端设置有传感器。
优选的，所述工作台的整体均由金属铁制成，所述工作台的底端内部设置有安装孔。
优选的，所述外壳的外壁涂刷有金属油漆，所述外壳的左右端均设置有安装孔。
优选的，所述固定板的厚度为三毫米，所述固定板的外壁均经过抛光处理。
优选的，所述缓冲垫一共设置有两个，两个所述缓冲垫关于中心对称，所述缓冲垫与固定板通过胶水固定连接。
优选的，所述传感器一共设置有四个，四个所述传感器之间平行设置，四个所述传感器与固定板均通过焊接固定连接。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体加工用夹持装置，具备以下有益效果：
1、本实用新型通过在该用于固定的半导体加工用夹持装置上添加了缓冲装置，而新添加的缓冲装置是由传感器和缓冲垫组成的；
2、本实用新型缓冲装置是设置在连接杆和固定板上的，在使用的时候也就是在夹持固定的时候，这时候首先会被缓冲垫做第一次夹持的缓冲，在这一步的时候由于缓冲垫具有弹性，所以会更好的保护半导体，其次在夹持到之后，会给固定板一个力的作用，这时候固定板就会把力传递给传感器，这时候传感器就会把力学信号转化成电信号，然后传给给控制中心，然后力到了设置的阈值的时候在通过电信号把气缸及时的停止下来，这样在夹持的时候不仅对于大小不一的半导体都能够做到精准的夹持，还能够不损伤半导体，这样不仅能够增加工作的效率，还能够保证半导体的完整性；
3、本实用新型的缓冲装置的具体使用方法如下，把整个半导体加工用夹持装置搬运到需要使用的地方，然后检查整个半导体加工用夹持装置有没有损坏的地方，这样能够防止在使用的时候出现意外，接着把装置通过工作台固定在流水线上，然后把外壳的内部气缸与外部的动能源和控制电脑进行电性连接，接着把传感器也同样与电脑进行电性连接，接着在电脑上设置传感器的阈值，这样能够在夹持不同大小的半导体的时候更好的保护半导体不会损伤，接着就能够使用了，在使用的时候通过气缸带动连接杆向外运动，然后连接杆把力传递给传感器，然后传感器在把力传递给固定板，最后固定板把力传递给缓冲垫，在两个缓冲垫中间快相遇的时候就会把中间的半导体固定住了，在固定的时候缓冲垫的材质比较的具有弹性，能够很好的保护半导体，其次在夹持到半导体的时候会有一个向外的力的作用，这时候力传递到传感器的时候，力会传递到传感器内部，这时候传感器内部的压电材料受到外力作用时表面会形成电荷，电荷通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗以后，就会被转换成为与所受外力成正比关系的电量输出，然后传递给电脑，这时候如果到设置的阈值的时候，传感器就会下达停止的指令，这时候气缸就会停下来了，这样在夹持的时候就能够更加的安全。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
图1为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置正视立体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置俯视剖视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置移动状态结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种半导体加工用夹持装置局部放大结构示意图；
图中：1、工作台；2、外壳；3、连接杆；4、固定板；5、缓冲装置；6、气缸；7、传感器；8、缓冲垫。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一
请参阅图1、图2、图3、图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体加工用夹持装置，包括工作台1和外壳2，工作台1的整体均由金属铁制成，这样在使用的时候比较的固定，工作台1的底端内部设置有安装孔，工作台1的顶端且靠近左端位置处安装有外壳2，外壳2的外壁涂刷有金属油漆，这样在使用的时候能够防止生锈，外壳2的左右端均设置有安装孔，外壳2的内部设置有气缸6，气缸6的右端设置有连接杆3，连接杆3的右端设置有缓冲装置5，固定板4的厚度为三毫米，固定板4的外壁均经过抛光处理，这样在使用的时候不会被外壁的毛刺刮伤，缓冲装置5的右端设置有固定板4。
实施例二
请参阅图1、图2、图3、图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体加工用夹持装置，缓冲装置5包括传感器7和缓冲垫8，缓冲垫8一共设置有两个，两个缓冲垫8关于中心对称，缓冲垫8与固定板4通过胶水固定连接，这样在使用的时候比较的固定，缓冲垫8设置在固定板4的右端，传感器7一共设置有四个，四个传感器7之间平行设置，这样在使用的时候力比较的均匀，四个传感器7与固定板4均通过焊接固定连接，连接杆3的右端设置有传感器7。
本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，在使用用于固定的半导体加工用夹持装置的时候，首先需要把整个半导体加工用夹持装置搬运到需要使用的地方，然后检查整个半导体加工用夹持装置有没有损坏的地方，这样能够防止在使用的时候出现意外，接着把装置通过工作台1固定在流水线上，然后把外壳2的内部气缸6与外部的动能源和控制电脑进行电性连接，接着把传感器7也同样与电脑进行电性连接，接着在电脑上设置传感器7的阈值，这样能够在夹持不同大小的半导体的时候更好的保护半导体不会损伤，接着就能够使用了，在使用的时候通过气缸6带动连接杆3向外运动，然后连接杆3把力传递给传感器7，然后传感器7在把力传递给固定板4，最后固定板4把力传递给缓冲垫8，在两个缓冲垫8中间快相遇的时候就会把中间的半导体固定住了，在固定的时候缓冲垫8的材质比较的具有弹性，能够很好的保护半导体，其次在夹持到半导体的时候会有一个向外的力的作用，这时候力传递到传感器7的时候，力会传递到传感器7内部，这时候传感器7内部的压电材料受到外力作用时表面会形成电荷，电荷通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗以后，就会被转换成为与所受外力成正比关系的电量输出，然后传递给电脑，这时候如果到设置的阈值的时候，传感器7就会下达停止的指令，这时候气缸6就会停下来了，这样在夹持的时候就能够更加的安全。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体加工用夹持装置，包括工作台(1)和外壳(2)，其特征在于：所述工作台(1)的顶端且靠近左端位置处安装有外壳(2)，所述外壳(2)的内部设置有气缸(6)，所述气缸(6)的右端设置有连接杆(3)，所述连接杆(3)的右端设置有缓冲装置(5)，所述缓冲装置(5)的右端设置有固定板(4)，所述缓冲装置(5)包括传感器(7)和缓冲垫(8)，所述缓冲垫(8)设置在固定板(4)的右端，所述连接杆(3)的右端设置有传感器(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述工作台(1)的整体均由金属铁制成，所述工作台(1)的底端内部设置有安装孔。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述外壳(2)的外壁涂刷有金属油漆，所述外壳(2)的左右端均设置有安装孔。
4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述固定板(4)的厚度为三毫米，所述固定板(4)的外壁均经过抛光处理。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述缓冲垫(8)一共设置有两个，两个所述缓冲垫(8)关于中心对称，所述缓冲垫(8)与固定板(4)通过胶水固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述传感器(7)一共设置有四个，四个所述传感器(7)之间平行设置，四个所述传感器(7)与固定板(4)均通过焊接固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202122330226.6U CN216084849U (zh) | 2021-09-26 | 2021-09-26 | 一种半导体加工用夹持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122330226.6U CN216084849U (zh) | 2021-09-26 | 2021-09-26 | 一种半导体加工用夹持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN216084849U true CN216084849U (zh) | 2022-03-18 |
Family
ID=80678792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122330226.6U Active CN216084849U (zh) | 2021-09-26 | 2021-09-26 | 一种半导体加工用夹持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN216084849U (zh) |
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- 2021-09-26 CN CN202122330226.6U patent/CN216084849U/zh active Active
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