CN216084817U - 一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 - Google Patents
一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216084817U CN216084817U CN202122629052.3U CN202122629052U CN216084817U CN 216084817 U CN216084817 U CN 216084817U CN 202122629052 U CN202122629052 U CN 202122629052U CN 216084817 U CN216084817 U CN 216084817U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transmitting
- receiving
- distance measuring
- mechanical arm
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂，包括显示装置、连接所述机械手臂的发射端和放置在需校准的工位处的接收端；利用所述发射端上的发射感应装置和所述接收端上的接收感应装置，通过所述显示装置上的数值判断所述发射端和所述接收端是否平行，同时，利用所述发射测距装置和所述接收测距装置确定所述发射端和所述接收端的距离。本实用新型提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂。
背景技术
实验室机台运行过程中，机械手臂长时间运转会有磨损以及轻微程度的变形等因素，会导致抓取晶圆失败导致宕机，易导致晶圆出现刮伤甚至破损，为减少或消除这种因素对生产的影响，需要对机械手臂进行定期校准。传统的校准方法是工程师采用目视的方法进行操作，位置校准的结果和工程师的经验，心情及机台的环境强相关，为减少这种环境和人为的差异性，需要设计一种辅助校准工具，定义统一标准以实现快速精准的校准。
因此，如何提供一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂，以减少现有技术存在的环境和人为的差异性导致的机械手臂校准位置存在偏差的问题。
为了达到上述目的，本实用新型提供了一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，包括显示装置、连接所述机械手臂的发射端和放置在需校准的工位处的接收端；
其中，所述发射端包括至少三个不在同一直线上的发射感应装置和一个发射测距装置，所述发射感应装置和所述发射测距装置位于所述发射端的同一平面；
所述接收端包括至少三个不在同一直线上的接收感应装置和一个接收测距装置，所述接收感应装置和所述接收测距装置位于所述接收端的同一平面；
所述发射感应装置在所述发射端上的数量和位置与所述接收感应装置在所述接收端上的数量和位置一一对应；
所述发射测距装置在所述发射端上的位置与所述接收测距装置在所述接收端上的位置相同；
所述发射端具有所述发射感应装置的一面和所述接收端具有所述接收感应装置的一面相对；
所述显示装置显示所述发射感应装置和对应位置的所述接收感应装置之间的距离，以及所述发射测距装置和所述接收测距装置之间的距离。
可选的，所述发射端与设置有所述发射测距装置的相对的一侧包括一卡扣，所述卡扣连接所述机械手臂。
可选的，所述显示装置上包括一个用于显示所述发射测距装置和所述接收测距装置之间距离的测距显示框，以及用于显示所述发射感应装置和对应位置的所述接收感应装置之间距离的感应显示框。
可选的，所述显示装置连接所述发射端或所述接收端。
可选的，所述发射端和所述接收端的材质包括：抗变形材质。
可选的，所述发射端和所述接收端的形状包括：圆盘状。
可选的，所述发射测距装置和所述接收测距装置包括：红外线测距传感器。
可选的，所述发射感应装置和所述接收感应装置包括：光电传感器。
可选的，所述发射测距装置位于所述发射端的中心位置，所述接收测距装置位于所述接收端的中心位置。
本实用新型还提供一种机械手臂，包括上述任一项所述的位置校准工具。
与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂具有以下有益效果：
本实用新型提供的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，包括显示装置、连接所述机械手臂的发射端和放置在需校准的工位处的接收端；其中，所述发射端包括至少三个不在同一直线上的发射感应装置和一个发射测距装置，所述发射感应装置和所述发射测距装置位于所述发射端的同一平面；所述接收端包括至少三个不在同一直线上的接收感应装置和一个接收测距装置，所述接收感应装置和所述接收测距装置位于所述接收端的同一平面；所述发射感应装置在所述发射端上的数量和位置与所述接收感应装置在所述接收端上的数量和位置一一对应；所述发射测距装置在所述发射端上的位置与所述接收测距装置在所述接收端上的位置相同；所述发射端具有所述发射感应装置的一面和所述接收端具有所述接收感应装置的一面相对；所述显示装置显示所述发射感应装置和对应位置的所述接收感应装置之间的距离，以及所述发射测距装置和所述接收测距装置之间的距离。本实用新型提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具，利用所述发射端上的发射感应装置和所述接收端上的接收感应装置，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置上的数值判断所述发射端和所述接收端是否平行，同时，利用所述发射测距装置和所述接收测距装置确定所述发射端和所述接收端的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
本实用新型提供的一种机械手臂，所述机械手臂包括上述的位置校准工具，利用所述位置校准工具中所述发射端上的发射感应装置和所述接收端上的接收感应装置，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置上的数值判断所述发射端和所述接收端是否平行，同时，利用所述发射测距装置和所述接收测距装置确定所述发射端和所述接收端的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
附图说明
图1为本实用新型一实施例提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具的结构示意图；
图2为本实用新型一实施方式提供的机械手臂位置校准方法的流程图；
其中，100-接收端，101-接收测距装置，102-接收感应装置，200-发射端，201-发射测距装置，202-发射感应装置，300-显示装置，301-测距显示框，302-感应显示框。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本实用新型的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
实施例一
本实施例提供了一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，参见附图1，图1为本实用新型一实施例提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具的结构示意图。从图中可以明显看出，本实施例提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具，包括显示装置300、连接所述机械手臂的发射端200和放置在需校准的工位处的接收端100；其中，所述发射端200包括至少三个不在同一直线上的发射感应装置202和一个发射测距装置201，所述发射感应装置202和所述发射测距装置201位于所述发射端200的同一平面；所述接收端100包括至少三个不在同一直线上的接收感应装置102和一个接收测距装置101，所述接收感应装置102和所述接收测距装置101位于所述接收端100的同一平面；所述发射感应装置202在所述发射端200上的数量和位置与所述接收感应装置102在所述接收端100上的数量和位置一一对应；所述发射测距装置201在所述发射端200上的位置与所述接收测距装置101在所述接收端100上的位置相同；所述发射端200具有所述发射感应装置202的一面和所述接收端100具有所述接收感应装置102的一面相对；所述显示装置显示所述发射感应装置202和对应位置的所述接收感应装置102之间的距离，以及所述发射测距装置201和所述接收测距装置101之间的距离。
如此设置，本实用新型提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具，利用所述发射端200上的发射感应装置202和所述接收端100上的接收感应装置102，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置300上的数值判断所述发射端200和所述接收端100是否平行，同时，利用所述发射测距装置201和所述接收测距装置101确定所述发射端200和所述接收端100的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
优选的，所述发射端200与设置有所述发射测距装置201的相对的一侧包括一卡扣，所述卡扣连接所述机械手臂。由此，所述发射端200才能够与所述机械手臂稳定连接，需要进一步说明的是，所述发射端200与所述机械手臂的连接方式并不仅限于卡扣连接，任何可拆卸的方式都适用于本实用新型，在此就不一一举例说明。
优选的，所述显示装置300上包括一个用于显示所述发射测距装置201和所述接收测距装置101之间距离的测距显示框301，以及用于显示所述发射感应装置202和对应位置的所述接收感应装置102之间距离的感应显示框302。如此设置，操作人员可以通过每个所述感应显示框302的数值是否一致判断所述发射端200和所述接收端100是否平行，同时可以通过所述测距显示框301的数值调整所述机械臂到适当位置。
优选的，所述显示装置300连接所述发射端200或所述接收端100。由此，所述显示装置300可以实时显示所述发射端200和所述接收端100的位置关系。
优选的，所述发射端200和所述接收端100的材质包括：抗变形材质。在其中一种优选实施方式中，所述发射端200和所述接收端100采用不锈钢制作。不锈钢作为制作材料能够耐腐蚀抗变形，可以承受日常活动的磨损。由此增加了所述发射端200和所述接收端100的使用寿命。
优选的，所述发射端200和所述接收端100的形状包括：圆盘状。圆盘状的所述发射端200和所述接收端100形状简单易制作。需要进一步说明的是，所述圆盘状的两侧相对面为平面。
在其中一种优选实施方式中的，所述发射测距装置201和所述接收测距装置101包括：红外线测距传感器。红外线测距传感器可以远距离测量，在无反光板和反射率低的情况下能测量较远的距离；测量范围广，响应时间短；外形设计紧凑，易于安装，便于操作。
优选的，所述发射感应装置202和所述接收感应装置102包括：光电传感器。光电传感器可以采用非接触式检测，且对检测物体没有太多的限制，同时，它的检测距离长，响应频率高，响应时间短，检测的精度高。
优选的，所述发射测距装置201位于所述发射端200的中心位置，所述接收测距装置101位于所述接收端100的中心位置。如此设置，所述发射测距装置201和所述接收测距装置101间的距离代表放置在需校准的工位处上的晶圆与所述机械臂的距离，当所述晶圆具有凸起或翘起时，通过所述发射测距装置201和所述接收测距装置101保证所述机械臂与所述晶圆间的距离足够大，所述机械臂不至于接触所述晶圆，导致所述晶圆损坏。
实施例二
本实施例提供了一种机械手臂，所述机械手臂包括上述的位置校准工具，利用所述位置校准工具中所述发射端200上的发射感应装置202和所述接收端100上的接收感应装置102，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置300上的数值判断所述发射端200和所述接收端100是否平行，同时，利用所述发射测距装置201和所述接收测距装置101确定所述发射端200和所述接收端100的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
参见附图2，图2为机械手臂位置校准方法的流程图；从图中可以明显看出，操作人员在使用所述位置校准工具对所述机械手臂进行位置校准时，校准方法包括：
步骤1：将接收端100安装在需校准的工位处；
步骤2：将发射端200工具安装在机械手臂上；
步骤3：调整所述机械手臂，至所述发射感应装置202和所述接收感应装置102位置一一对应，所述发射测距装置201和所述接收测距装置101一一对应；
步骤4：再次调整机械手臂位置,直至代表每个所述发射感应装置202和所述接收感应装置102之间的距离的数值一致；
步骤5：上下调整机械手臂，使得所述发射端200工具靠近所述接收端100，直至所述显示装置300上代表所述发射测距装置201和所述接收测距装置101之间的距离的数字在指定数值。
上述的位置校准方法，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
另外，在本文各个实施方式中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明说中的各个组件。元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
综上，在本实用新型提供的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具中，包括显示装置300、连接所述机械手臂的发射端200和放置在需校准的工位处的接收端100；其中，所述发射端200包括至少三个不在同一直线上的发射感应装置202和一个发射测距装置201，所述发射感应装置202和所述发射测距装置201位于所述发射端200的同一平面；所述接收端100包括至少三个不在同一直线上的接收感应装置102和一个接收测距装置101，所述接收感应装置102和所述接收测距装置101位于所述接收端100的同一平面；所述发射感应装置202在所述发射端200上的数量和位置与所述接收感应装置102在所述接收端100上的数量和位置一一对应；所述发射测距装置201在所述发射端200上的位置与所述接收测距装置101在所述接收端100上的位置相同；所述发射端200具有所述发射感应装置202的一面和所述接收端100具有所述接收感应装置102的一面相对；所述显示装置显示所述发射感应装置202和对应位置的所述接收感应装置102之间的距离，以及所述发射测距装置201和所述接收测距装置101之间的距离。本实用新型提供的用于辅助机械手臂的位置校准工具，利用所述发射端200上的发射感应装置202和所述接收端100上的接收感应装置102，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置300上的数值判断所述发射端200和所述接收端100是否平行，同时，利用所述发射测距装置201和所述接收测距装置101确定所述发射端200和所述接收端100的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
本实用新型提供的一种机械手臂，所述机械手臂包括上述的位置校准工具，利用所述位置校准工具中所述发射端200上的发射感应装置202和所述接收端100上的接收感应装置102，由于三点确定一个平面，通过所述显示装置300上的数值判断所述发射端200和所述接收端100是否平行，同时，利用所述发射测距装置201和所述接收测距装置101确定所述发射端200和所述接收端100的距离，由此，调整的所述机械手臂的位置精度高，且适用于对于操作人员无法近距离查看的工位校准，同时，校准方便快捷，能够缩短校准时间，提高校准效率。
上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，包括显示装置、连接所述机械手臂的发射端和放置在需校准的工位处的接收端；
其中，所述发射端包括至少三个不在同一直线上的发射感应装置和一个发射测距装置，所述发射感应装置和所述发射测距装置位于所述发射端的同一平面；
所述接收端包括至少三个不在同一直线上的接收感应装置和一个接收测距装置，所述接收感应装置和所述接收测距装置位于所述接收端的同一平面；
所述发射感应装置在所述发射端上的数量和位置与所述接收感应装置在所述接收端上的数量和位置一一对应；
所述发射测距装置在所述发射端上的位置与所述接收测距装置在所述接收端上的位置相同；
所述发射端具有所述发射感应装置的一面和所述接收端具有所述接收感应装置的一面相对；
所述显示装置显示所述发射感应装置和对应位置的所述接收感应装置之间的距离，以及所述发射测距装置和所述接收测距装置之间的距离。
2.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射端与设置有所述发射测距装置的相对的一侧包括一卡扣，所述卡扣连接所述机械手臂。
3.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述显示装置上包括一个用于显示所述发射测距装置和所述接收测距装置之间距离的测距显示框，以及用于显示所述发射感应装置和对应位置的所述接收感应装置之间距离的感应显示框。
4.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述显示装置连接所述发射端或所述接收端。
5.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射端和所述接收端的材质包括：抗变形材质。
6.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射端和所述接收端的形状包括：圆盘状。
7.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射测距装置和所述接收测距装置包括：红外线测距传感器。
8.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射感应装置和所述接收感应装置包括：光电传感器。
9.如权利要求1所述的一种用于辅助机械手臂的位置校准工具，其特征在于，所述发射测距装置位于所述发射端的中心位置，所述接收测距装置位于所述接收端的中心位置。
10.一种机械手臂，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的位置校准工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122629052.3U CN216084817U (zh) | 2021-10-29 | 2021-10-29 | 一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122629052.3U CN216084817U (zh) | 2021-10-29 | 2021-10-29 | 一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216084817U true CN216084817U (zh) | 2022-03-18 |
Family
ID=80642599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122629052.3U Active CN216084817U (zh) | 2021-10-29 | 2021-10-29 | 一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216084817U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114800606A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 国网湖南省电力有限公司 | 一种连续体机械臂直线距离传感器标定系统及标定方法 |
-
2021
- 2021-10-29 CN CN202122629052.3U patent/CN216084817U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114800606A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-29 | 国网湖南省电力有限公司 | 一种连续体机械臂直线距离传感器标定系统及标定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2382394C (en) | Method and apparatus for calibrating a non-contact gauging sensor with respect to an external coordinate system | |
| US5563703A (en) | Lead coplanarity inspection apparatus and method thereof | |
| US6990215B1 (en) | Photogrammetric measurement system and method | |
| CN101551233B (zh) | 工件尺寸检测装置 | |
| CN102549376A (zh) | 应变测量仪和用于对应变测量仪进行空间定位的系统 | |
| CN216084817U (zh) | 一种用于辅助机械手臂的位置校准工具及机械手臂 | |
| CN102980550B (zh) | 一种测量大尺寸机械零件平面度的高精度检测仪及方法 | |
| CN110243452A (zh) | 一种电子天平自动检定装置 | |
| CN108731602A (zh) | 物件厚度测量系统、方法、检测设备及计算机程序产品 | |
| US5740328A (en) | Apparatus for robotic positional referencing and calibration | |
| CN111256592B (zh) | 结构光传感器的外参标定装置及方法 | |
| CN208744824U (zh) | 机械手臂 | |
| CN111256591A (zh) | 一种结构光传感器的外参标定装置及方法 | |
| CN209992064U (zh) | 一种电子天平自动检定装置 | |
| CN108369193A (zh) | 移动传感器坐标检测系统 | |
| KR20110030750A (ko) | 플랜지 면의 평탄도 측정 장치 및 측정 방법 | |
| EP3737217B1 (en) | Electronic component evaluation method, electronic component evaluation device, and electronic component evaluation program | |
| CN116907338A (zh) | 一种评定三维激光扫描仪配准外符合精度的方法和装置 | |
| CN115446873A (zh) | 一种工业机器人的定位精度测量装置 | |
| CN214149185U (zh) | 平整度检测结构和检测系统 | |
| CN208384143U (zh) | 一种设备之间配合误差的辅助标记装置 | |
| CN205317118U (zh) | 一种适用于天窗安装支架的检具 | |
| Ganci et al. | The use of self-identifying targeting for feature based measurement | |
| TW202035945A (zh) | 非接觸式物體輪廓量測系統 | |
| CN113176580B (zh) | 一种汽车生产线随行定位工装在线检测系统及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 510000 No. 28, Fenghuang fifth road, Huangpu District, Guangzhou, Guangdong Patentee after: Yuexin Semiconductor Technology Co.,Ltd. Address before: 510000 No. 28, Fenghuang fifth road, Huangpu District, Guangzhou, Guangdong Patentee before: Guangzhou Yuexin Semiconductor Technology Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |