CN216083408U - 一种芯片显影定影装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片显影定影装置，涉及芯片制造设备技术领域，针对背景技术提出的对比文件中一种芯片显影定影装置不便于调整高度，使用起来不方便的问题，现提出以下方案，包括芯片显影定影装置本体和安装板，芯片显影定影装置本体的机架底端两侧均焊接有固定销，芯片显影定影装置本体通过固定机构安装在安装板的顶端，安装板的底端四角处均安装有第一电动伸缩杆，四根第一电动伸缩杆的底端连接有底板，底板的中部开设有通过孔。本实用新型中，便于将芯片显影定影装置本体固定在安装板上，通过控制第一电动伸缩杆的伸缩，可带动安装板升降，即可调整芯片显影定影装置本体的高度，方便使用，且便于移动。

Description

一种芯片显影定影装置

技术领域

本实用新型涉及芯片制造设备技术领域，尤其涉及一种芯片显影定影装置。

背景技术

目前在芯片生产过程中，需要对芯片进行显影、定影操作。

现有技术可参考授权公开号为CN204989752U的中国专利，其公开了一种芯片显影定影装置，包括：机架，所述机架向上伸出一支撑轴；旋转单元，设置于所述支撑轴顶端并以所述支撑轴为圆心进行旋转；N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏；N个容器，设置于所述机架上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液；控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器。

在现有技术中，该定影装置不便于调整高度，使用起来仍有不便之处，现提供一种芯片显影定影装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种芯片显影定影装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种芯片显影定影装置，包括芯片显影定影装置本体和安装板，所述芯片显影定影装置本体的机架底端两侧均焊接有固定销，所述芯片显影定影装置本体通过固定机构安装在安装板的顶端，所述安装板的底端四角处均安装有第一电动伸缩杆，四根第一电动伸缩杆的底端连接有底板，所述底板的中部开设有通过孔，所述底板的顶端安装有升降机构，所述升降机构上安装有行走机构。

优选的，所述固定机构包括开设在安装板顶端的第一滑槽，第一滑槽中通过轴承安装有双向螺纹杆，双向螺纹杆的两端均螺接有第一滑块，两个第一滑块均通过滑动配合的方式与第一滑槽卡接，两个第一滑块的顶端均焊接有夹块，两个夹块均位于安装板的顶端，所述芯片显影定影装置本体位于两个夹块之间，双向螺纹杆的一端贯穿至安装板的外部且安装有把手。

优选的，两个所述夹块上均开设有插孔，所述芯片显影定影装置本体的机架底端两侧的固定销分别插接在两个第一滑块的插孔中。

优选的，所述升降机构包括安装在底板顶端两侧两根第二电动伸缩杆，两根第二电动伸缩杆的分别位于通过孔的两边，两根第二电动伸缩杆的顶端安装有升降板，行走机构安装在升降板的底端。

优选的，所述行走机构包括焊接在升降板底端四角处的四根弹簧，四根弹簧的底端焊接有连接板，连接板的底端四角处均安装有刹车脚轮。

优选的，所述连接板的尺寸小于通过孔的尺寸。

优选的，所述底板的顶端位于升降板的两侧均安装有竖板，两块竖板相对的一侧均开设有第二滑槽，所述升降板的两端均焊接有第二滑块，两个第二滑块分别与两条第二滑槽卡接。

本实用新型的有益效果为：

1、通过转动把手带动双向螺纹杆转动，使得两个第一滑块沿着第一滑槽相向移动，继而带动两个夹块相向移动，并使得固定销插进插孔中，利用两个夹块将芯片显影定影装置本体的机架夹紧，保证了芯片显影定影装置本体与安装板连接的稳定性。

2、通过控制第一电动伸缩杆的伸缩，可带动安装板升降，即可调整芯片显影定影装置本体的高度，方便使用。

3、通过控制第二电动伸缩杆缩短，使得升降板下降，即可使得刹车脚轮与地面接触，使得底板离开地面，即推动对芯片显影定影装置本体进行移动，较为方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种芯片显影定影装置的立体结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种芯片显影定影装置的立体局部结构示意图。

图3为本实用新型提出的一种芯片显影定影装置的主视剖面结构示意图。

图4为本实用新型提出的一种芯片显影定影装置的图3中A处放大结构示意图。

图中：1芯片显影定影装置本体、2安装板、3第一电动伸缩杆、4底板、5通过孔、6竖板、7第一滑槽、8第一滑块、9夹块、10插孔、11把手、12刹车脚轮、13弹簧、14连接板、15升降板、16第二电动伸缩杆、17固定销、18双向螺纹杆、19第二滑槽、20第二滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种芯片显影定影装置，包括芯片显影定影装置本体1、安装板2和固定机构，芯片显影定影装置本体1的机架底端两侧均焊接有固定销17，芯片显影定影装置本体1通过固定机构安装在安装板2的顶端，安装板2的底端四角处均安装有第一电动伸缩杆3，四根第一电动伸缩杆3的底端连接有底板4，底板4的中部开设有通过孔5，底板4的顶端安装有升降机构，升降机构上安装有行走机构。

固定机构包括开设在安装板2顶端的第一滑槽7，第一滑槽7中通过轴承安装有双向螺纹杆18，双向螺纹杆18的两端均螺接有第一滑块8，两个第一滑块8均通过滑动配合的方式与第一滑槽7卡接，两个第一滑块8的顶端均焊接有夹块9，两个夹块9均位于安装板2的顶端，芯片显影定影装置本体1位于两个夹块9之间，双向螺纹杆18的一端贯穿至安装板2的外部且安装有把手11，两个夹块9上均开设有插孔10，芯片显影定影装置本体1的机架底端两侧的固定销17分别插接在两个第一滑块8的插孔10中，转动把手11带动双向螺纹杆18转动，使得两个第一滑块8沿着第一滑槽7相向移动，继而带动两个夹块9相向移动，并使得固定销17插进插孔10中，利用两个夹块9将芯片显影定影装置本体1的机架夹紧；

升降机构包括安装在底板4顶端两侧两根第二电动伸缩杆16，两根第二电动伸缩杆16的分别位于通过孔5的两边，两根第二电动伸缩杆16的顶端安装有升降板15，行走机构安装在升降板15的底端，行走机构包括焊接在升降板15底端四角处的四根弹簧13，四根弹簧13的底端焊接有连接板14，连接板14的底端四角处均安装有刹车脚轮12，通过控制第二电动伸缩杆16缩短，使得升降板15下降，即可使得刹车脚轮12与地面接触，使得底板4离开地面，即可对芯片显影定影装置本体1进行移动，较为方便；

连接板14的尺寸小于通过孔5的尺寸，保证连接板14穿过通过孔5，使得刹车脚轮12与地面接触，保证底板4能离开地面；

底板4的顶端位于升降板15的两侧均安装有竖板6，两块竖板6相对的一侧均开设有第二滑槽19，升降板15的两端均焊接有第二滑块20，两个第二滑块20分别与两条第二滑槽19卡接，升降板15上下移动时，第二滑块20沿着第二滑槽19移动，保证了升降板15的稳定性。

工作原理：将芯片显影定影装置1放置到安装板2的顶端，然后转动把手11带动双向螺纹杆18转动，使得两个第一滑块8沿着第一滑槽7相向移动，继而带动两个夹块9相向移动，并使得固定销17插进插孔10中，利用两个夹块9将芯片显影定影装置本体1的机架夹紧，保证了芯片显影定影装置本体1与安装板2连接的稳定性，通过控制第一电动伸缩杆3的伸缩，可带动安装板2升降，即可调整芯片显影定影装置本体1的高度，方便使用，通过控制第二电动伸缩杆16缩短，使得升降板15下降，即可使得刹车脚轮12与地面接触，使得底板4离开地面，即可对芯片显影定影装置本体1进行移动，较为方便。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、 “右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“ 顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、 “第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种芯片显影定影装置，包括芯片显影定影装置本体（1）和安装板（2），其特征在于，所述芯片显影定影装置本体（1）的机架底端两侧均焊接有固定销（17），所述芯片显影定影装置本体（1）通过固定机构安装在安装板（2）的顶端，所述安装板（2）的底端四角处均安装有第一电动伸缩杆（3），四根第一电动伸缩杆（3）的底端连接有底板（4），所述底板（4）的中部开设有通过孔（5），所述底板（4）的顶端安装有升降机构，所述升降机构上安装有行走机构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述固定机构包括开设在安装板（2）顶端的第一滑槽（7），第一滑槽（7）中通过轴承安装有双向螺纹杆（18），双向螺纹杆（18）的两端均螺接有第一滑块（8），两个第一滑块（8）均通过滑动配合的方式与第一滑槽（7）卡接，两个第一滑块（8）的顶端均焊接有夹块（9），两个夹块（9）均位于安装板（2）的顶端，所述芯片显影定影装置本体（1）位于两个夹块（9）之间，双向螺纹杆（18）的一端贯穿至安装板（2）的外部且安装有把手（11）。

3.根据权利要求2所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，两个所述夹块（9）上均开设有插孔（10），所述芯片显影定影装置本体（1）的机架底端两侧的固定销（17）分别插接在两个第一滑块（8）的插孔（10）中。

4.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述升降机构包括安装在底板（4）顶端两侧两根第二电动伸缩杆（16），两根第二电动伸缩杆（16）的分别位于通过孔（5）的两边，两根第二电动伸缩杆（16）的顶端安装有升降板（15），行走机构安装在升降板（15）的底端。

5.根据权利要求4所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述行走机构包括焊接在升降板（15）底端四角处的四根弹簧（13），四根弹簧（13）的底端焊接有连接板（14），连接板（14）的底端四角处均安装有刹车脚轮（12）。

6.根据权利要求5所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述连接板（14）的尺寸小于通过孔（5）的尺寸。

7.根据权利要求4所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述底板（4）的顶端位于升降板（15）的两侧均安装有竖板（6），两块竖板（6）相对的一侧均开设有第二滑槽（19），所述升降板（15）的两端均焊接有第二滑块（20），两个第二滑块（20）分别与两条第二滑槽（19）卡接。

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