CN216081311U - 尺寸检测装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请适用于产品检测技术领域，提供一种尺寸检测装置及检测设备，所述尺寸检测装置包括：视觉组件；光源组件；安装转接部件；旋转调整部件，与所述安装转接部件可转动地连接且具有支撑部和支撑主体；承载部件，具有吊挂部，所述吊挂部能将所述承载部件挂载于所述支撑部；第一固定部件，将所述承载部件与所述支撑主体固定；所述视觉组件和所述光源组件中的至少一者固定于所述承载部件。本申请的实施例能使安装操作简单。

Description

尺寸检测装置及检测设备

技术领域

本申请属于产品检测技术领域，更具体地说，是涉及一种尺寸检测装置及检测设备。

背景技术

随着集成电路应用的多元化发展，智能手机、物联网、汽车电子、高性能计算、5G(5th Generation Mobile Communication Technology)通信、以及人工智能等新兴领域对芯片的需求量呈指数级增长，对芯片的质量和可靠性也提出更高的要求。

在许多产品应用中，对芯片的缺陷和故障是零容忍的。因此，在芯片的后道封装过程中，需要对芯片的线宽线距、球高球径等重要尺寸进行检测，具体是采用尺寸检测装置对芯片进行尺寸检测。尺寸检测装置包括视觉组件和光源组件，这两个组件中的至少一者需要固定于旋转机构且是在竖直方向上固定的。在将前述组件固定于旋转机构的指定位置时，一旦前述组件触碰到旋转机构使得旋转机构受到转动力矩，旋转机构就会旋转；那么，就需要安装人员用一只手托住前述组件，承受前述组件的重量，另一只手操作工具将前述组件与旋转机构锁紧，造成安装操作困难。

实用新型内容

本申请的实施例提供一种尺寸检测装置及检测设备，能使安装操作简单。

第一方面，本申请的实施例提供一种尺寸检测装置，所述尺寸检测装置包括：

视觉组件；

光源组件；

安装转接部件；

旋转调整部件，与所述安装转接部件可转动地连接且具有支撑部和支撑主体；

承载部件，具有吊挂部，所述吊挂部能将所述承载部件挂载于所述支撑部；

第一固定部件，将所述承载部件与所述支撑主体固定；

所述视觉组件和所述光源组件中的至少一者固定于所述承载部件。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述安装转接部件具有旋转安装位或者所述旋转调整部件具有旋转安装位；

相应的，所述尺寸检测装置还包括：

旋转机构，设置于所述旋转安装位且将所述旋转调整部件与所述安装转接部件可转动地连接。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述旋转安装位包括：

主安装位；

第一缝隙，与所述主安装位相通，且作为所述安装转接部件或所述旋转调整部件的缺口，使得所述安装转接部件或所述旋转调整部件具有第一部和第二部，所述第一缝隙位于所述第一部与所述第二部之间；

相应的，所述尺寸检测装置还包括：

第一拉紧部件，能连接所述第一部与所述第二部。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述旋转机构包括：

旋转部，设置于所述旋转安装位；

限位部，与所述旋转部连接，且能与所述安装转接部件的一面贴合；

所述旋转调整部件与所述旋转部连接，使得所述安装转接部件位于所述旋转调整部件与所述限位部之间。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述旋转调整部件还具有第一角度固定部，所述安装转接部件具有第二角度固定部；

所述尺寸检测装置还包括：

角度锁紧部件，能连接所述第一角度固定部和所述第二角度固定部。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述承载部件还具有让位部，所述让位部设置为能使所述锁紧部件相对所述承载部件露出。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述光源组件包括：

光源发射器；

第一镜头；

反射镜，设置于所述光源发射器和所述第一镜头之间；

第一连接件，将所述反射镜与所述第一镜头连接；

第二连接件，将所述光源发射器与所述反射镜连接。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述光源组件为L形的结构；所述反射镜设置于L形的所述光源组件的转角处；L形的所述光源组件的两条直边均固定于所述承载部件且均贴近所述承载部件的表面。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述视觉组件和所述光源组件分别固定于所述承载部件的不同侧；所述视觉组件具有光接收端，所述光源组件具有光出射端；所述光接收端的中心轴线与所述光出射端的中心轴线垂直。

第二方面，本申请的实施例提供一种检测设备，所述检测设备包括上述第一方面任一项所述尺寸检测装置。

本申请的实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

视觉组件和光源组件中的至少一者固定于承载部件，将承载部件及其上的部件(比如视觉组件和光源组件中的至少一者)安装于旋转调整部件时，承载部件及其上的部件通过吊挂部挂载于旋转调整部件的支撑部，承载部件及其上的部件承载于旋转调整部件的支撑部；此时，承载部件及其上的部件由支撑部托住，安装人员只需扶住承载部件或其上的部件，然后操作第一固定部件将承载部件与旋转调整部件的支撑主体固定连接，即可将承载部件及其上的部件固定于旋转调整部件；相比于安装人员的手承受承载部件及其上的部件的重量，安装人员的手扶住承载部件或其上的部件显然更容易，这样能使得安装操作简单。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的主视图；

图2为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的立体图；

图3为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的立体图；

图4为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的一个分解图；

图5为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的另一个分解图；

图6为本申请一实施例提供的旋转调整部件的一部分结构的立体图；

图7为本申请一实施例提供的视觉组件的结构示意图；

图8为本申请一实施例提供的光源组件的结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至8及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本申请的实施例提供一种尺寸检测装置，具体可以是一种检测半导体晶圆3D(3-dimension，三维)尺寸的装置，可安装于半导体检测设备以检测半导体晶圆的3D尺寸，例如半导体封装后的线宽线距、以及球高球径等尺寸。

图1为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的主视图。图2为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的立体图。参考图1和图2，在一些实施例中，尺寸检测装置包括安装转接部件1、旋转调整部件2、承载部件3、视觉组件4、光源组件5和第一固定部件6。

安装转接部件1用于将整个尺寸检测装置安装于指定位置，具体可以是将尺寸检测装置安装于半导体检测设备的主体。

旋转调整部件2用于调节尺寸检测装置的拍摄角度。旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接，如此，旋转调整部件2能相对安装转接部件1转动至指定角度。在一些实施例中，旋转调整部件2可以是与安装转接部件1铰接，从而实现转动连接。

图3为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的立体图。参考图3，旋转调整部件2包括支撑主体20和支撑部21。支撑部21设置于支撑主体20。

参考图1和图2，承载部件3具有吊挂部31。吊挂部31能将承载部件3挂载于旋转调整部件2的支撑部21，具体可以是吊挂部31的表面与支撑部21的表面接触。

视觉组件4用于对待测产品100(比如半导体晶圆)进行拍摄。

光源组件5用于发出光对待测产品100进行打光处理。

参考图1和图2，视觉组件4和光源组件5中的至少一者固定于承载部件3。

在一些实施例中，视觉组件4固定于承载部件3，光源组件5则固定于移动平台(图未示出)。应当理解，前述移动平台可以作为尺寸检测装置的一部分，也可以是独立于尺寸检测装置。由于承载部件3固定于旋转调整部件2，承载部件3就能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，那么，视觉组件4也能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，实现调节拍摄角度；前述移动平台将光源组件5移动至指定位置对待测产品100进行照射，为视觉组件4拍摄待测产品100提供光照条件。

在其他一些实施例中，光源组件5固定于承载部件3，视觉组件4则固定于移动平台(图未示出)。由于承载部件3固定于旋转调整部件2，承载部件3就能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，那么，光源组件5也能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，实现调节光源组件5的照射角度；前述移动平台将视觉组件4移动至指定位置对待测产品100进行拍摄，实现调节拍摄位置。

在其他一些实施例中，视觉组件4和光源组件5可以均固定于承载部件3。由于承载部件3固定于旋转调整部件2，承载部件3就能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，那么，视觉组件4和光源组件5也能随旋转调整部件2相对安装转接部件1转动，实现调节拍摄角度。视觉组件4和光源组件5均固定于承载部件3，视觉组件4与光源组件5的位置是固定的，光源组件5发出的光束能很好地由视觉组件4接收，能保证拍摄的稳定性。

参考图1，第一固定部件6将承载部件3与旋转调整部件2的支撑主体20固定。在一些实施例中，第一固定部件6可以是夹具，该夹具将承载部件3与旋转调整部件2夹紧，使得承载部件3与旋转调整部件2固定。

参考图1和图2，在一些实施例中，整个尺寸检测装置可以是在竖直方向上安装于半导体检测设备的主体。具体而言，安装转接部件1具有第一面101，第一面101为平面且为安装转接部件1的正面，安装转接部件1贴近半导体检测设备的主体安装，使得第一面101能与竖直方向Z(或称为重力方向)平行；旋转调整部件2贴近安装转接部件1安装，承载部件3及其上的部件(比如视觉组件4和光源组件5中的至少一者)则贴近旋转调整部件2安装，使得旋转调整部件2位于承载部件3与安装转接部件1之间，从而能使得尺寸检测装置成为具有三层的结构，也实现将尺寸检测装置在竖直方向上安装于半导体检测设备的主体。

参考图1和图2，如前所述，视觉组件4和光源组件5中的至少一者固定于承载部件3，将承载部件3及其上的部件(比如视觉组件4和光源组件5中的至少一者)安装于旋转调整部件2时，承载部件3及其上的部件通过吊挂部31挂载于旋转调整部件2的支撑部21，承载部件3及其上的部件承载于旋转调整部件2的支撑部21；此时，承载部件3及其上的部件由支撑部21托住，安装人员只需扶住承载部件3或其上的部件，然后操作第一固定部件6将承载部件3与旋转调整部件2的支撑主体20固定连接，即可将承载部件3及其上的部件固定于旋转调整部件2；相比于安装人员的手承受承载部件3及其上的部件的重量，安装人员的手扶住承载部件3或其上的部件显然更容易，这样能使得安装操作简单，便于安装。

在将承载部件3及其上的部件从旋转调整部件2拆卸下来时，由于承载部件3及其上的部件由支撑部21托住，安装人员也只需扶住承载部件3或其上的部件，然后操作第一固定部件6将承载部件3与旋转调整部件2的支撑主体20分开，再从旋转调整部件2取下承载部件3及其上的部件；可见，前述拆卸的操作也简单，也便于拆卸。

对本实施例的尺寸检测装置的工作原理进行说明。将本实施例的尺寸检测装置安装于半导体检测设备的主体，具体可以通过安装转接部件1将整个尺寸检测装置安装于半导体检测设备的主体，使得整个尺寸检测装置处于半导体检测设备的合适位置，以开展后续的检测。参考图1，在进行检测时，把待测产品100放置在平面200，平面200位于尺寸检测装置的下方，使得待测产品100位于视觉组件4的拍摄视野范围内且位于光源组件5的照射范围内。调节旋转调整部件2，使得旋转调整部件2相对安装转接部件1旋转，从而使得视觉组件4和光源组件5也相对安装转接部件1旋转，实现根据不同尺寸的产品调节视觉组件4的拍摄角度。在调节好拍摄角度之后，启动光源组件5，使得光源组件5发出光束对待测产品100进行照射；视觉组件4启动之后接收待测产品100反射的光，对待测产品100进行拍摄，采集到待测产品的图像信息；根据采集到的图像信息，通过AI(Artificial Intelligence，人工智能)检测算法，可以获取到待测产品100的尺寸，比如计算出半导体晶圆封装后的线宽线距、球高球径等尺寸，进而完成尺寸检测。

参考图1和图2，在一些实施例中，安装转接部件1设有多个高度调节部11，不同的高度调节部11对应不同的安装高度位置；高度调节部11具体可以是通孔；可以通过紧固件比如螺丝穿过高度调节部11，将安装转接部件1沿竖直方向固定于半导体检测设备的指定高度位置；改变紧固件穿过的高度调节部11，即可实现调节整个尺寸检测装置的安装高度，配合调节视觉组件4的拍摄角度，能实现对更多尺寸的产品进行检测。

参考图1，在一些实施例中，安装转接部件1可以是安装转接板，采用AL6061(AL6061为一种铝合金)材料制作而成；该安装转接板的表面通过阳极氧化成黑色，能使得安装转接板坚硬且耐磨。

参考图1，在一些实施例中，旋转调整部件2可以是旋转调整板，也可以采用AL6061材料制作而成；该旋转调整板的表面通过阳极氧化成黑色，能使得旋转调整板坚硬且耐磨。旋转调整部件2可以是狭长形(长度大于宽度的形状)的，比如近似于椭圆形，能节省材料。

参考图1和图3，在一些实施例中，支撑部21可以为设置于支撑主体20的一个突出部，可以具有侧面211；具体而言，支撑部21可以为突出于支撑主体20的圆柱体；相应的，侧面211则为该圆柱体的圆柱面。相应的，吊挂部31可以是挂载于支撑部21的侧面211。

在一些实施例中，承载部件3具体可以是腹腔固定板，采用AL6061材料制作而成；该腹腔固定板的表面通过阳极氧化成黑色腹腔固定板，能使得腹腔固定板坚硬且耐磨。参考图1和图2，承载部件3可以具有一个或多个凹槽30(也可称为腹腔)，这样既能满足安装所需的强度，也能减轻重量。

参考图1和图2，在一些实施例中，承载部件3的吊挂部31可以是凹部，该凹部是承载部件3的缺口；相比于支撑部21与孔配合，支撑部21与前述缺口配合更快捷。此外，将凹部作为吊挂部31，也能节省承载部件3所使用的材料和占用的空间。

在其他一些实施例中，支撑部21可以是设置于支撑主体20的凹陷部；相应的，吊挂部31则是挂载于前述凹陷部。

在其他一些实施例中，整个尺寸检测装置是与竖直方向成大于零度的夹角安装于半导体检测设备的主体，或者说整个尺寸检测装置是在竖直方向倾斜安装于半导体检测设备的主体；此时，承载部件3及其上的部件的一部分重量由支撑部21承受，另一部分重量则由旋转调整部件2的支撑主体20承受。

在其他一些实施例中，第一固定部件6还可以是紧固件，通过螺纹连接实现将承载部件3与旋转调整部件2的支撑主体20固定。

图4为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的一个分解图。图5为本申请一实施例提供的尺寸检测装置的一部分结构的另一个分解图。参考图4和图5，在一些实施例中，安装转接部件1具有旋转安装位12。

参考图4和图5，相应的，在一些实施例中，尺寸检测装置还包括旋转机构7。

参考图4和图5，相应的，在一些实施例中，旋转调整部件2还包括旋转连接部件22，旋转连接部件22可以是设置于支撑主体20，旋转连接部件22将旋转调整部件2与旋转机构7固定连接。

旋转机构7可以是圆环。

旋转连接部件22可以为杆状的。

参考图4，支撑主体20可以设有与旋转连接部件22配合的安装槽23。

参考图4，杆状的旋转连接部件22设置于安装槽23中，实现旋转连接部件22与支撑主体20的固定连接。

参考图4，杆状的旋转连接部件22穿过安装槽23，且旋转连接部件22的两端露出于安装槽23。参考图4，杆状的旋转连接部件22的两端可以通过紧固件221(比如螺栓)与旋转机构7固定连接，具体可以是紧固件221与旋转机构7的螺纹孔701螺纹连接。

参考图4和图5，旋转机构7设置于旋转安装位12且将旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接。具体而言，旋转机构7(比如前述圆环)设置于旋转安装位12且与旋转安装位12间隙配合，那么旋转机构7就可以在旋转安装位12中旋转，从而带动旋转调整部件2相对安装转接部件1旋转，进而实现旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接，这样的转动方式能使得旋转机构7的结构较为简单，比如可以为圆环。

在其他一些实施例中，旋转安装位12还可以是设置于旋转调整部件2，同样也能实现旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接。

在其他一些实施例中，旋转机构7还可以是包含有轴承的结构。前述轴承具有内圈和外圈，外圈固定于安装转接部件1的旋转安装位12，内圈与旋转连接部件22固定连接，内圈能相对外圈旋转，而旋转连接部件22与支撑主体20固定连接，那么，旋转调整部件2就能相对外圈旋转，从而实现旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接。

在其他一些实施例中，旋转机构7还可以是与旋转调整部件2一体成型的转轴。相应的，旋转安装位12可以为通孔。前述转轴位于安装转接部件1的旋转安装位12中且与旋转安装位12间隙配合，那么该转轴就可以在旋转安装位12中旋转，从而带动旋转调整部件2相对安装转接部件1旋转，实现旋转调整部件2与安装转接部件1可转动地连接。

参考图4和图5，在一些实施例中，旋转安装位12包括主安装位120和第一缝隙121。

主安装位120用于放置旋转机构7。

参考图4和图5，第一缝隙121与主安装位120相通且作为安装转接部件1的缺口，使得安装转接部件1具有第一部13和第二部14。第一缝隙121位于第一部13与第二部14之间。

参考图4和图5，相应的，在一些实施例中，尺寸检测装置还包括第一拉紧部件8，第一拉紧部件8连接第一部13与第二部14；第一拉紧部件8可以包括螺栓81和螺母82。

参考图4和图5，相应的，在一些实施例中，第一部13设有第一拉紧孔131，第二部14设有第二拉紧孔141；第一拉紧孔131和第二拉紧孔141可以均是通孔。

螺栓81穿过第一拉紧孔131和第二拉紧孔141，且螺栓81的螺杆部分露出。螺母82与螺栓81露出的螺杆部分螺纹连接。

由于第一部13与第二部14之间存在第一缝隙121且安装转接部件1能发生形变，那么第一部13就能靠近或远离第二部14；拧紧螺母82，则第一拉紧部件8处于锁紧状态，向第一部13和第二部14施加拉力，使得第一部13靠近第二部14，进而使得第一缝隙121变小；拧松螺母82，则第一拉紧部件8处于松开状态，第一部13远离第二部14，第一缝隙121会变大；第一缝隙121与主安装位120是相通的，第一缝隙121变小时，主安装位120也相应变小，旋转机构7就会被主安装位120的壁面夹紧，实现将旋转机构7夹紧于主安装位120；第一缝隙121变大时，主安装位120也相应变大，旋转机构7就会被主安装位120的壁面松开，就可以从主安装位120取出旋转机构7。这样，只需锁紧第一拉紧部件8就能将旋转机构7夹紧于主安装位120，松开第一拉紧部件8就能从主安装位120取出旋转机构7，便于旋转机构7的安装和拆卸，能提高生产效率。

在其他一些实施例中，第一拉紧部件8还可以是夹具，该夹具能夹住第一部13与第二部14，使得第一部13靠近第二部14，主安装位120相应变小，就能将旋转机构7夹紧于主安装位120；松开该夹具，则第一部13远离第二部14，主安装位120相应变大，就能从主安装位120取出旋转机构7。

在其他一些实施例中，第一拉紧孔131可以为通孔，第二拉紧孔141则为螺纹孔。相应的，螺栓81露出的螺杆部分就与前述螺纹孔(也即第二拉紧孔141)螺纹连接。拧紧螺栓81，就能将旋转机构7夹紧于主安装位120；拧松螺栓81，就能从主安装位120取出旋转机构7。

参考图4和图5，在一些实施例中，旋转机构7包括旋转部71和限位部72，旋转部71的一面与旋转调整部件2连接，旋转部71的另一面与限位部72连接。旋转部71的外轮廓尺寸小于或等于安装位120的内轮廓尺寸(比如内径)，使得旋转部71能放置于安装位120。限位部72的外轮廓尺寸大于主安装位120的内轮廓尺寸，使得限位部72位于主安装位120之外，此时，限位部72的表面与安装转接部件1的背面102贴合。

参考图4和图5，相应的，在一些实施例中，旋转调整部件2的一面(比如背面202)贴合安装转接部件1的一面(比如正面101)安装，使得安装转接部件1位于旋转调整部件2与限位部72之间。那么，旋转调整部件2和限位部72就将旋转部71限位于安装转接部件1的正面101和背面102之间，使得旋转部71在旋转轴线P上的移动位置受到限制，能防止旋转部71脱离主安装位120。

参考图4和图5，在一些实施例中，旋转部71的高度(沿旋转轴线P的高度)可以等于安装位120的深度(沿旋转轴线P的深度)，如此，旋转部71的正面710刚好与安装转接部件1的正面101平齐，而旋转调整部件2的背面202贴合安装转接部件1的正面101安装，就可以使得旋转部71在旋转轴线P上的位置是固定的。

参考图4，相应的，旋转连接部件22的两端与旋转部71固定连接，且旋转连接部件22的两端与安装转接部件1的正面101贴合，实现旋转调整部件2贴合安装转接部件1的正面101安装。

图6为本申请一实施例提供的旋转调整部件2的一部分结构的立体图。参考图6，在一些实施例中，安装槽23包括主槽位230和第二缝隙231。

主槽位230用于放置旋转连接部件22。

第二缝隙231与主槽位230相通且作为旋转调整部件2的缺口，使得旋转调整部件2具有第三部203和第四部204。第二缝隙231位于第三部203与第四部204之间。

参考图5，相应的，在一些实施例中，尺寸检测装置还包括第二拉紧部件9，第二拉紧部件9连接第三部203与第四部204；第二拉紧部件9可以为螺栓。

参考图6，相应的，在一些实施例中，第三部203设有第三拉紧孔213，第四部204设有第四拉紧孔214；第三拉紧孔213可以为通孔，第四拉紧孔214则可以为螺纹孔。

参考图5和图6，第二拉紧部件9穿过第三拉紧孔213，第二拉紧部件9的螺杆部分露出与前述螺纹孔(也即第四拉紧孔214)螺纹连接。

参考图5和图6，由于第三部203与第四部204之间存在第二缝隙231且旋转调整部件2能发生形变，那么第三部203就能靠近或远离第四部204；拧紧第二拉紧部件9，则第二拉紧部件9处于锁紧状态，向第三部203和第四部204施加拉力，使得第三部203靠近第四部204，进而使得第二缝隙231变小；拧松第二拉紧部件9，则第二拉紧部件9处于松开状态，第三部203远离第四部204，第二缝隙231会变大；第二缝隙231与主槽位230是相通的，第二缝隙231变小时，主槽位230也相应变小，旋转连接部件22就会被主槽位230的壁面夹紧，实现将旋转连接部件22夹紧于主槽位230；第二缝隙231变大时，主槽位230也相应变大，旋转连接部件22就会被主槽位230的壁面松开，就可以从主槽位230取出旋转连接部件22。这样，只需锁紧第二拉紧部件9就能将旋转连接部件22夹紧于主槽位230，松开第二拉紧部件9就能从主槽位230取出旋转连接部件22，便于旋转连接部件22的安装和拆卸，能提高生产效率。

参考图4和图5，在一些实施例中，旋转调整部件2的背面202与安装转接部件1的正面101正对，第三部203与第四部204设置于旋转调整部件2的背面202，且第三部203与第四部204的至少一部分位于旋转机构7的内部，具体可以是位于旋转安装位12中，这样能实现将旋转调整部件2的一部分放置于安装转接部件1中，能减小装置在厚度方向占用的空间。

参考图5，在一些实施例中，旋转连接部件22的两端可以是半圆柱状的，该半圆柱的平面与安装转接部件1的正面101贴合；旋转连接部件22的中间段则为圆柱状的，主槽位230就可以是圆柱状的；那么，旋转连接部件22可以通过在圆柱的两端去除一部分得到，而中间部分则保留为完整的圆柱，可以减小需要加工的部分，能节省加工时间，且圆柱状的主槽位230可通过钻孔实现，便于加工。

参考图6，在一些实施例中，安装槽23的数量可以为多个，能实现旋转连接部件22的稳定安装。

参考图4，在一些实施例中，旋转调整部件2具有第一角度固定部24；第一角度固定部24可以是通孔，具体可以是弧形通孔。

参考图4，相应的，在一些实施例中，安装转接部件1具有第二角度固定部15；第二角度固定部15可以是螺纹孔。

参考图1，相应的，在一些实施例中，尺寸检测装置还包括角度锁紧部件10；角度锁紧部件10可以是紧固件，具体可以是螺栓。

参考图1和图4，角度锁紧部件10连接第一角度固定部24和第二角度固定部15。具体而言，角度锁紧部件10(前述螺栓)的螺杆穿过第一角度固定部24(前述弧形通孔)与第二角度固定部15(前述螺纹孔)螺纹连接；在旋转调整部件2相对安装转接部件1旋转至指定位置后，拧紧角度锁紧部件10(前述螺栓)将旋转调整部件2与安装转接部件1锁紧，使得旋转调整部件2相对安装转接部件1的位置固定，从而固定视觉组件4的拍摄角度，以开展后续检测工作。

在其他一些实施例中，角度锁紧部件10还可以是螺栓螺母组件；相应的，第二角度固定部15还可以是通孔；螺栓螺母组件的螺栓穿过第一角度固定部24和第二角度固定部15，前述螺栓的一端与螺母螺纹连接，将旋转调整部件2与安装转接部件1锁紧。

参考图1和图2，在一些实施例中，承载部件3还具有让位部32，让位部32设置为能使角度锁紧部件10相对承载部件3露出，如此能避免承载部件3遮挡角度锁紧部件10，便于操作角度锁紧部件10。

在一些实施例中，让位部32也可以为凹部，该凹部是承载部件3的缺口；将凹部作为让位部32，能节省承载部件3所使用的材料和占用的空间。

图7为本申请一实施例提供的视觉组件的结构示意图。参考图7，在一些实施例中，视觉组件4包括相机42、第二镜头43和第三连接件44。

相机42用于对待测产品进行拍摄，从而获得待测产品的图像信息以供检测。相机42具体可以是CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)相机。

第二镜头43用于将来自待测产品的光传输至相机42。

第三连接件44具体可以是镜头连接器，将相机42与第二镜头43连接；如此，相机42通过第三连接件44与第二镜头43连接，形成视觉拍摄组件。第三连接件44为能允许光通过的结构，比如中空的结构。

图8为本申请一实施例提供的光源组件的结构示意图。参考图8，在一些实施例中，光源组件5包括光源发射器52、第一镜头53、反射镜54、第一连接件55和第二连接件56。

光源发射器52用于发出光束。

第一镜头53用于将光照射至待测产品100。

反射镜54设置于光源发射器52和第一镜头53之间。反射镜54用于对光源发射器52发出的光进行反射，将光源发射器52发出的光发射至第一镜头53。光透过第一镜头53之后，照射至待测产品100。

第一连接件55具体可以是镜头连接器。第一连接件55可以为能允许光通过的结构，比如中空的结构。第一连接件55将反射镜54与第一镜头53连接，第一连接件55位于反射镜54与第一镜头53之间，形成供光通过的通道。

第二连接件56具体可以也是镜头连接器。第二连接件56也可以为能允许光通过的结构，比如中空的结构。第二连接件56将光源发射器52与反射镜54连接，第二连接件56位于光源发射器52与反射镜54之间，形成供光通过的通道。

在其他一些实施例中，反射镜54、第一连接件55和第二连接件56是可选的，光源发射器52发出的光束直接照射至第一镜头53，然后照射至待测产品。

在一些实施例中，参考图1和图8，光源组件5为L形的结构；相应的，反射镜54为转角反射镜；反射镜54设置于该L形光源组件5的转角处。

光源发射器52发出光束通过转角反射镜(也即反射镜54)，由该转角反射镜将光束反射至第一镜头53，光束通过第一镜头53照射在待测产品的表面。

光源发射器52发出的光束由转角反射镜反射至第一镜头53，这样，光源组件5就可以为L形的，能减少光源组件5在长度方向占用的空间；L形光源组件5的两条直边均固定于承载部件3且均贴近承载部件3的表面，可以是分别固定于承载部件3的不同侧；如此，能减小整个装置在长度方向所占用的空间。

在一些实施例中，视觉组件4和光源组件5分别固定于承载部件3的不同侧。示例的，参考图1，承载部件3具有四侧，视觉组件4和光源组件5分别固定于承载部件3的第一侧和第二侧，其中，第一侧和第二侧为相邻的两侧。这样能使得整个装置在长度或者宽度方向延伸，能减小整个装置的厚度。

参考图1，在一些实施例中，视觉组件4具有光接收端41，光接收端41能接收待测产品100反射的光；相应的，光源组件5具有光出射端51，光出射端51是光出射的一端，光源组件5发出的光从光出射端51出射，然后照射至待测产品100。

参考图1，光接收端41可为对称的几何体，比如圆柱体、立方体或者长方体，光接收端41具有中心轴线L1；中心轴线L1为经过光接收端41的端面的中心且垂直于该端面的线。

参考图1，光出射端51也可为对称的几何体，比如圆柱体、立方体或者长方体，光出射端51具有中心轴线L2；中心轴线L2为经过光出射端51的端面的中心且垂直于该端面的线。

参考图1，视觉组件4的光接收端41和光源组件5的光出射端51可以均是倾斜向下设置，这两个倾斜方向可以是对称的(比如关于竖直方向Z对称)，使得中心轴线L1与中心轴线L2能相交于一点。那么，将待测产品100放置于尺寸检测装置的下方，光源组件5即可照射待测产品100，相应的，视觉组件4能接收到待测产品100反射的光，从而拍摄待测产品100。

参考图1，光接收端41的中心轴线L1与光出射端51的中心轴线L2成预设角度α。其中，前述预设角度α大于0°且小于180°。预设角度α可以为90°，此时，光接收端41的中心轴线L1与竖直方向的夹角为45°，光出射端51的中心轴线L2与竖直方向的夹角也为45°(或者说中心轴线L1与中心轴线L2垂直)；加上视觉组件4和光源组件5分别固定于承载部件3的不同侧，那么，承载部件3就可以为矩形或者近似于矩形的，制造矩形或者近似于矩形的部件相对容易，也就便于制造承载部件3。

本申请的实施例还提供一种检测设备，该检测设备可以是半导体检测设备，该检测设备包括上述实施例的尺寸检测装置。

本申请的实施例提供的尺寸检测装置为一种视觉检测装置，具备视觉组件及打光组件对待测产品进行最佳拍摄以获取待测产品的图像信息，能实现准确检测待测产品的尺寸，能准确测量芯片的线宽线距、球高球径等尺寸，能保证组装的产品的良品率，能够兼容很多不同尺寸的产品。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种尺寸检测装置，其特征在于，所述尺寸检测装置包括：

视觉组件；

光源组件；

安装转接部件；

旋转调整部件，与所述安装转接部件可转动地连接且具有支撑部和支撑主体；

承载部件，具有吊挂部，所述吊挂部能将所述承载部件挂载于所述支撑部；

第一固定部件，将所述承载部件与所述支撑主体固定；

所述视觉组件和所述光源组件中的至少一者固定于所述承载部件。

2.如权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述安装转接部件具有旋转安装位或者所述旋转调整部件具有旋转安装位；

相应的，所述尺寸检测装置还包括：

旋转机构，设置于所述旋转安装位且将所述旋转调整部件与所述安装转接部件可转动地连接。

3.如权利要求2所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述旋转安装位包括：

主安装位；

第一缝隙，与所述主安装位相通，且作为所述安装转接部件或所述旋转调整部件的缺口，使得所述安装转接部件或所述旋转调整部件具有第一部和第二部，所述第一缝隙位于所述第一部与所述第二部之间；

相应的，所述尺寸检测装置还包括：

第一拉紧部件，能连接所述第一部与所述第二部。

4.如权利要求2所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述旋转机构包括：

旋转部，设置于所述旋转安装位；

限位部，与所述旋转部连接，且能与所述安装转接部件的一面贴合；

所述旋转调整部件与所述旋转部连接，使得所述安装转接部件位于所述旋转调整部件与所述限位部之间。

5.如权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述旋转调整部件还具有第一角度固定部，所述安装转接部件具有第二角度固定部；

所述尺寸检测装置还包括：

角度锁紧部件，能连接所述第一角度固定部和所述第二角度固定部。

6.如权利要求5所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述承载部件还具有让位部，所述让位部设置为能使所述锁紧部件相对所述承载部件露出。

7.如权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述光源组件包括：

光源发射器；

第一镜头；

反射镜，设置于所述光源发射器和所述第一镜头之间；

第一连接件，将所述反射镜与所述第一镜头连接；

第二连接件，将所述光源发射器与所述反射镜连接。

8.如权利要求7所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述光源组件为L形的结构；所述反射镜设置于L形的所述光源组件的转角处；L形的所述光源组件的两条直边均固定于所述承载部件且均贴近所述承载部件的表面。

9.如权利要求1至8任一项所述的尺寸检测装置，其特征在于，所述视觉组件和所述光源组件分别固定于所述承载部件的不同侧；所述视觉组件具有光接收端，所述光源组件具有光出射端；所述光接收端的中心轴线与所述光出射端的中心轴线垂直。

10.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括如权利要求1至9任一项所述尺寸检测装置。

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