CN216006003U - 电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机，该电控装置包括：与上位机连接的至少一个控制模块，设于电控柜内的电柜和模块转接板；其中，电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，模块转接板分别连接至少一个电控制器件；每个控制模块与至少一个模块转接板连接；其中，控制模块通过连接线与模块转接板可拆卸连接；控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过模块转接板至电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制；该技术方案，实现了电控柜内部的模块化设计，简化了各种线路连接，当控制模块出现故障时，能够进行快速更换，在进行生产制造时，能够分开生产，提升了设备的生产制造效率。

Description

电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机

技术领域

本申请涉及真空镀膜机技术领域，特别是一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机需要使用多种机械部件，包括真空泵设备、离子源、中和器、晶控设备、烘烤设备等等；这些机械部件都需要通过上位机来进行控制；真空镀膜机的电控装置设计对于整个镀膜机来说，是非常重要的组成部分。

目前上位机对真空镀膜机的控制，主要是采用了PLC(Programmable LogicController，可编程逻辑控制器)来实现，参考图1所示，图1是一种真空镀膜机的电控柜结构示意图，电控柜包括电柜和PLC，电柜内部安装有多个电控制器件，这些电控制器件包括控制真空镀膜机的各个机械部件的继电器、参数调节设备等等，各个机械部件接线统一接入到电柜的电控制器件，电控制器件再通过接线接入到PLC上，PLC再连接至上位机，电控柜内的各种控制反馈线也是接入到PLC，从而导致各种线路繁杂且凌乱，容易产生安全问题，而且必须同时生产，也不利于电控柜的生产和安装过程。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机，以便于设备更换和提高设备制造效率。

一种电控装置，包括：与上位机连接的至少一个控制模块，设于电控柜内的电柜和模块转接板；其中，所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件；

每个所述控制模块与至少一个所述模块转接板连接；其中，所述控制模块通过连接线与所述模块转接板可拆卸连接；

所述控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。

在一个实施例中，所述控制模块包括：法官模块、运控模块、温控模块、晶控模块、离子源电控模块中的至少一项。

在一个实施例中，所述法官模块用于控制真空设备和安全保护设备；

所述运控模块用于检测或控制真空电机与挡板的工作参数；

所述温控模块用于控制烘烤设备和制冷设备的温度参数；

所述晶控模块用于检测离子速率和控制镀膜厚度；

所述离子源电控模块用于设置离子源和中和器的工作参数。

在一个实施例中，所述控制模块包括控制电路板和接口模块；其中，所述接口模块上设置有至少一个接口；

所述控制电路板用于将控制指令转换为控制信号输出，所述接口模块用于通过连接线连接至所述模块转接板。

在一个实施例中，所述模块转接板包括：PCB板，设于PCB板上的接线端子以及连接线接口；所述连接线接口的针脚通过印制线连接各个接线端子。

在一个实施例中，所述连接线为DB37连接线；所述连接线接口为DB37 接口；所述控制电路板通过双绞线连接所述上位机。

一种电控柜，包括：电柜和多个模块转接板；其中，所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件；

所述模块转接板还连接外部的控制模块，所述控制模块与上位机连接；其中，每个所述控制模块通过连接线与至少一个所述模块转接板可拆卸连接。

在一个实施例中，所述控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。

一种电气控制系统，包括：上位机，以及上述的电控装置。

一种真空镀膜机，包括上述的电气控制系统。

本申请的技术方案具有如下有益效果：

通过设计与上位机连接的至少一个控制模块以及多个模块转接板，控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，每个控制模块与至少一个模块转接板连接，控制模块与模块转接板之间通过可拆卸的连接线进行连接；该技术方案，通过模块转接板实现了电控柜内部的模块化设计，采用可拆卸的连接线进行连接，简化了各种线路连接，将控制模块与模块转接板分开设计，当控制模块出现故障时，能够进行快速更换，在进行生产制造时，能够分开生产，提升了设备的生产制造效率。

附图说明

图1是一种真空镀膜机的电控柜结构示意图；

图2是一个实施例的电控装置结构示意图；

图3是控制模块的示意图；

图4是控制模块和模块转接板结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

参考图2所示，图2是一个实施例的电控装置结构示意图；该电控装置包括：与上位机连接的至少一个控制模块，设于电控柜内的电柜和模块转接板；电柜中内置有用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，电控制器件1，电控制器件2，电控制器件3，……；模块转接板分别连接至少一个电控制器件。

如图示，上位机连接控制模块1-n，n≥2；每个控制模块与至少一个模块转接板连接，如图中模块转接板1-m，m≥2；控制模块通过连接线与模块转接板可拆卸连接；据此，各个控制模块与电柜之间实现了分离式设计，从而可以便于拆卸和安装。

具体工作中，控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过模块转接板至电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。

上述实施例的技术方案，通过模块转接板实现了电控柜内部的模块化设计，采用可拆卸的连接线进行连接，简化了各种线路连接，将控制模块与模块转接板分开设计，当控制模块出现故障时，能够进行快速更换，在进行生产制造时，能够分开生产，提升了设备的生产制造效率。

下面阐述本申请的电控柜的实施例。

继续参考图2，本申请的电控柜包括电柜和多个模块转接板，如图中模块转接板1-m，m≥2；电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，如图中，电控制器件1，电控制器件2，电控制器件3，……；模块转接板分别连接至少一个电控制器件；模块转接板还连接外部的控制模块，多个控制模块与上位机连接，如图中，控制模块1-n，n≥2；每个控制模块通过连接线与至少一个模块转接板可拆卸连接。

在具体工作中，控制模块可以接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过模块转接板至所述电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制；对于电控制器件，主要是指用于控制真空镀膜机的各个机械部件的器件，包括继电器、参数调节设备等等；控制模块可以接收上位机下发的开关继电器的指令，设置参数调节设备参数的指令等，转换成相应控制信号输出。

相对于传统的电控柜，本申请的电控柜通过模块转接板实现了电控柜内部的模块化设计，采用可拆卸的连接线进行连接，简化了各种线路连接，将控制模块与模块转接板分开设计，当控制模块出现故障时，能够进行快速更换，在进行生产制造时，电控柜与控制模块部分就能够分开生产，可以由不同的厂商进行制造，再安装时通过连接线进行连接即可，提升了设备的生产制造效率。

下面将结合更多附图和实施例，对本申请中电控装置和电控柜的详细技术方案进行阐述。

在一个实施例中，如图3所示，图3是控制模块的示意图，控制模块可以根据真空镀膜机的各个机械部件功能来进行分类设计，结合真空镀膜机应用，本实施例的控制模块可以包括：法官模块、运控模块、温控模块、晶控模块、离子源电控模块等等。

对于法官模块，可以用于控制真空设备和安全保护设备；具体的，该模块主要是控制真空设备和安全保护设备的状态判断等，如真空腔体、管道阀门检测等等。

对于运控模块，可以用于检测或控制真空电机与挡板的工作参数；具体的，该模块主要是对抽真空的电机和控制真空度的挡板的工作参数设置和控制等等。

对于温控模块，可以用于控制烘烤设备和制冷设备的温度参数；具体的，该模块主要是控制与温度相关的部件的工作参数等等。

对于晶控模块，可以用于检测离子速率和控制镀膜厚度；具体的，该模块主要是实现对离子源的离子速率和镀膜过程的监控等等。

对于离子源电控模块，可以用于设置离子源和中和器的工作参数；具体地，该模块主要是控制离子源和中和器的相关参数。

需要说明的是，上述控制模块设计中，可以根据真空镀膜机设备的实际情况来设计，可以布局更多控制模块，也可以布局其中组合的部分控制模块。

上述实施例的方案，通过模块化设计方案，便于扩展，而且各个功能模块能够根据功能来分类控制，提升了控制效率。

在一个实施例中，参考图4，图4是控制模块和模块转接板结构示意图，控制模块可以包括控制电路板和接口模块；其中，接口模块上可以设置有至少一个接口；接口模块用于通过标准连接线连接至模块转接板，每个接口通过一根连接线连接一个模块转接板。对于控制电路板，主要是用于将控制指令转换为控制信号输出，其结构可以采用单片机或者处理器等。对于模块转接板，其主要包括PCB板和连接线接口，PCB板上设置接线端子，连接线接口的针脚通过印制线连接各个接线端子，如图中圆圈代表接线端子排，可以设置成两排端子；接线端子连接至电控制器件。优选的，本实施例中的连接线接口为DB37接口，对应的，连接线采用DB37连接线；控制电路板通过双绞线连接所述上位机。

上述实施例中，通过采用标准连接线来进行连接，线路简单，极大减轻了电柜内部线路布线压力，从而降低了出现线路问题的风险。

下面阐述本申请的电气控制系统的实施例。

本申请提供的电气控制系统，如图2所示，主要包括上位机以及上述任一实施例提供的电控装置；本实施例的技术方案，通过新设计的电控装置，简化了各种线路连接，将控制模块与模块转接板分开设计，便于故障更换，在进行生产制造时，能够分开生产，提升了设备的生产制造效率。

下面阐述本申请的真空镀膜机的实施例。

本申请的真空镀膜机，包括上述任一实施例提供的电气控制系统、真空腔体以及各种机械部件，如真空泵设备、离子源、中和器、晶控设备、烘烤设备等等。本实施例的真空镀膜机，基于新设计的电气控制系统，简化了电控部分的各种线路连接，将控制模块与模块转接板分开设计，便于故障更换，在进行生产制造时，能够分开生产，提升了设备的生产制造效率。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种电控装置，其特征在于，包括：与上位机连接的至少一个控制模块，设于电控柜内的电柜和模块转接板；其中，所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件；

每个所述控制模块与至少一个所述模块转接板连接；其中，所述控制模块通过连接线与所述模块转接板可拆卸连接；

所述控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。

2.根据权利要求1所述的电控装置，其特征在于，所述控制模块包括：法官模块、运控模块、温控模块、晶控模块、离子源电控模块中的至少一项。

3.根据权利要求2所述的电控装置，其特征在于，所述法官模块用于控制真空设备和安全保护设备；

所述运控模块用于检测或控制真空电机与挡板的工作参数；

所述温控模块用于控制烘烤设备和制冷设备的温度参数；

所述晶控模块用于检测离子速率和控制镀膜厚度；

所述离子源电控模块用于设置离子源和中和器的工作参数。

4.根据权利要求1所述的电控装置，其特征在于，所述控制模块包括控制电路板和接口模块；其中，所述接口模块上设置有至少一个接口；

所述控制电路板用于将控制指令转换为控制信号输出，所述接口模块用于通过连接线连接至所述模块转接板。

5.根据权利要求4所述的电控装置，其特征在于，所述模块转接板包括：PCB板，设于PCB板上的接线端子以及连接线接口；所述连接线接口的针脚通过印制线连接各个接线端子。

6.根据权利要求5所述的电控装置，其特征在于，所述连接线为DB37连接线；所述连接线接口为DB37接口；所述控制电路板通过双绞线连接所述上位机。

7.一种电控柜，其特征在于，包括：电柜和多个模块转接板；其中，所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件，所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件；

所述模块转接板还连接外部的控制模块，所述控制模块与上位机连接；其中，每个所述控制模块通过连接线与至少一个所述模块转接板可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的电控柜，其特征在于，所述控制模块接收上位机下发的控制指令，输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件，对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。

9.一种电气控制系统，其特征在于，包括：上位机，以及权利要求1-6任一项所述的电控装置。

10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括权利要求9所述的电气控制系统。

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