CN215997859U - 一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，包括集尘组件、喷气组件和吸尘组件，所述集尘组件包括集尘罩，所述集尘罩下部敞口边缘设置有密封环；所述喷气组件包括高压气源和喷管，所述喷管一端连接高压气源，一端管贯穿所述集尘组件；所述集尘罩的顶部还设有吸尘管连接口，用于连接吸尘组件；进一步地，所述密封环为风琴式密封环。本实用新型通过设置高压喷管和风琴式密封环，在清洁过程中，往复拖动集尘罩改变喷管口与电极孔底的距离，从而改变喷管内喷出的高压气体对电极孔底的硅粉的冲力，彻底清理硅粉，在风琴式密封环的作用下，集尘组件始终与电极底座保持密封状态，避免被吹起的硅粉四处飞扬。

Description

一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产装置技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置。

背景技术

目前，多晶硅行业晶棒生产完成进行装拆炉后，在进行下一步的生产过程中，需要对炉体底座及电极进行清理。由于生产工艺原因，炉体底座电极孔中的硅粉结垢严重，使用人工清理或者常规的真空泵不能完全除去电极孔中硅粉，并且会造成大厅粉尘污染，如果电极孔内的硅粉清理不干净，在硅棒生长过程中，电极孔内的硅粉会降低电极的绝缘性能，导致还原炉跳停，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型为解决上述现有技术中的不足，提供一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，可以避免粉尘飞扬、有效清理还原炉桶电极孔中的硅粉。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，包括集尘组件、喷气组件和吸尘组件，所述集尘组件包括集尘罩，所述集尘罩下部敞口边缘设置有密封环；所述喷气组件包括高压气源和喷管，所述喷管一端连接高压气源，一端管贯穿所述集尘组件；所述集尘罩的顶部还设有吸尘管连接口，用于连接吸尘组件。

进一步地，所述密封环为风琴式密封环。

进一步地，所述集尘罩的顶部中心设置有喷管连接部，所述喷管连接部为圆筒形，所述喷管贯穿所述喷管连接部并与喷管连接部密封固定连接。

优选的，所述喷管为可伸缩喷管。

进一步地，所述喷管连接部外壁设置有一对手柄。

优选的，所述集尘罩采用透明材料制成。

优选的，所述吸尘组件为工业吸尘器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果有：

本实用新型的的清洁装置，通过设置高压喷管和风琴式密封环，在清洁过程中，可往复拖动集尘罩改变喷管口与电极孔底的距离，从而改变对电极孔底的硅粉的冲力，彻底清理硅粉，在风琴式密封环的作用下，可确保集尘组件始终与电极底座保持密封状态，避免被吹起的硅粉四处飞扬；所述集尘罩采用透明材料制成，可以观察集尘罩内喷管的位置、电极孔内硅粉的清洁程度等。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是图1所示的实施例中密封环处于压缩状态的剖视图；

图3是图1所示的实施例中密封环处于拉伸状态的剖视图；

附图标记：21-集尘罩，22-密封环，23-喷管连接部，24-喷管，25-手柄， 26-吸尘管连接口。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，包括集尘组件、喷气组件和吸尘组件，所述集尘组件包括集尘罩21，所述集尘罩21下部敞口边缘设置有密封环 22，所述密封环22为风琴式密封环，风琴式密封环具有易拉伸收缩、行程长等特点；所述喷气组件包括高压气源和喷管24，所述喷管24一端连接高压气源，一端管贯穿所述集尘组件置于电极孔内，用于将电极孔内的硅粉吹起，优选的，所述喷管24为可伸缩喷管；所述集尘罩21的顶部还设有吸尘管连接口26，用于连接吸尘组件，优选的，所述吸尘组件为工业吸尘器；所述吸尘组件用于吸取存储喷气组件吹起的硅粉。进一步地，所述集尘罩21的顶部中心设置有喷管连接部23，所述喷管连接部23为圆筒形，所述喷管24贯穿所述喷管连接部23并与喷管连接部密封固定连接，所述喷管连接部外壁设置有一对手柄25，便于操作时抓握。更进一步地，所述集尘罩采用透明材料制成，例如玻璃或者透明塑料，便于观察集尘罩内喷管的位置、电极孔内硅粉的清洁程度等。

使用本实用新型的清洁装置清理电极孔时，先将喷管对准还原炉桶底座的电极孔，调节电极孔一侧的喷管长度，使风琴式密封环处于最大压缩状态，集尘组件完全罩住电极孔，风琴式密封环与还原炉桶底座密封连接，依次启动喷气组件、吸尘组件；手握手柄，往复拖动集尘罩，调节喷管口与电极孔的距离，从而改变喷管内喷出的高压气体对电极孔底的硅粉的冲力，将电极孔内的硅粉吹起，所述风琴式密封环在往复拖动集尘罩过程中被拉伸压缩，可确保集尘组件始终与电极底座保持密封状态，可以避免被吹起的硅粉四处飞扬，吸尘组件吸取被吹起的硅粉，从而有效清理电极孔内的硅粉。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：包括集尘组件、喷气组件和吸尘组件，所述集尘组件包括集尘罩(21)，所述集尘罩(21)下部敞口边缘设置有密封环(22)；所述喷气组件包括高压气源和喷管(24)，所述喷管(24)一端连接高压气源，一端管贯穿所述集尘组件；所述集尘罩(21)的顶部还设有吸尘管连接口(26)，用于连接吸尘组件。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述密封环(22)为风琴式密封环。

3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述集尘罩(21)的顶部中心设置有喷管连接部(23)，所述喷管连接部(23)为圆筒形，所述喷管(24)贯穿所述喷管连接部(23)并与喷管连接部密封固定连接。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述喷管(24)为可伸缩喷管。

5.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述喷管连接部外壁设置有一对手柄(25)。

6.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述集尘罩(21)采用透明材料制成。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉桶电极孔自动清洁装置，其特征在于：所述吸尘组件为工业吸尘器。

Images