CN215953311U - 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 - Google Patents
一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215953311U CN215953311U CN202121456753.5U CN202121456753U CN215953311U CN 215953311 U CN215953311 U CN 215953311U CN 202121456753 U CN202121456753 U CN 202121456753U CN 215953311 U CN215953311 U CN 215953311U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical fiber
- oil
- temperature compensation
- ceramic
- corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 title claims abstract description 58
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 67
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 60
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 4
- 239000002436 steel type Substances 0.000 claims description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 abstract description 2
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 abstract description 2
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 abstract description 2
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 abstract description 2
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 abstract description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 2
- 238000010219 correlation analysis Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明提供了一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，属于结构健康监测技术领域。所述的具有温度补偿的用于监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器包括传感单元和温度补偿单元，传感单元包括陶瓷圆盖、钢材薄筒、弹簧、刚体、反射镜面、光纤陶瓷套圈、陶瓷底盖和法珀光纤；温度补偿单元和传感单元的区别在于未设置弹簧单元。该装置基于法珀光纤干涉原理和钢材薄筒发生腐蚀传感单元的内力与弹簧产生的力等效的原理，通过设置温度补偿单元和弹簧装置，从而实现对油气管道内部腐蚀位置和腐蚀程度的监测，保证油、气的安全运输。本发明人工成本低，操作简单，覆盖范围广，具有广阔的应用前景和推广市场。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于油气管道内部腐蚀监测的光纤传感器，属于结构健康监测技术领域。
背景技术
管道内部腐蚀是导致油气管道失效的主要原因之一。管道泄漏会导致环境污染，造成经济损失，存在安全隐患。因此，对管道内部进行监测预警是十分必要的。石油和天然气管道通常延伸数百公里，传统管道内部监测主要依靠定期监测，不适用长距离监测，不能及时发现管道泄漏，受电磁信号影响的传感器甚至会发生火灾和爆炸事故。考虑到油气管道输送介质多为氯化物和硫化物，要求实现实时监测，光纤传感器和普通传感器相比，具有灵敏度高、耐腐蚀、不受电磁干扰等优点，因此，宜采用光纤传感器对油气管道内部进行安全监测。
目前，对油气管道内部监测的方法根据监测技术特征可分为基于硬件的方法和基于软件的方法。基于硬件的常用方法有二极管激光吸收法、热成像法、超声波法、动压变送器法、GPR法等。基于软件的常用方法有负压波法、PPA法、互相关分析法、系统识别法、神经网络法等。其中，二极管激光吸收法在监测过程中错误报警率较高，热成像法和GPR法的监测结果受周围环境温度影响，超声波法检测方法复杂。动压变送器法、PPA法和互相关分析法对小的泄露不敏感。系统识别法响应速度较慢，神经网络法对泄漏点的定位精度低。
近年来，随着油气管道进入老化阶段，对油气管道监测技术提出了更高的要求。光纤小巧轻便、抗腐蚀、抗电磁干扰、可以实时监测、进行网络化以及数据可靠等优点，在油气管道的腐蚀监测中受到了高度重视。
因此，针对油气管道内部腐蚀监测，提供一种操作方便、人工成本低、抗干扰能力强、分辨率高、定位精准、覆盖范围广、灵敏度高响应迅速和可实现在线的监测方法是十分重要的。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有温度补偿的用于监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其目的是实现对油气管道内部腐蚀的实时监测，准确地判断油气管道内部腐蚀位置和腐蚀程度，保证油、气的安全运输。
本发明的技术方案：
一种具有温度补偿的用于监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器包括传感单元和温度补偿单元，传感单元包括陶瓷圆盖1、钢材薄筒 2、弹簧3、刚体4、反射镜面5、光纤陶瓷套圈6、陶瓷底盖7和法珀光纤8；温度补偿单元包括陶瓷圆盖1、钢材薄筒2、刚体4、反射镜面5、光纤陶瓷套圈6、陶瓷底盖7和法珀光纤8。
所述的弹簧3位于钢材薄筒2内部，一端与陶瓷圆盖1连接，另一端与陶瓷底盖7连接，陶瓷圆盖1随着弹簧的收缩带动刚体4及反射镜面5发生移动；
所述的刚体4固定于陶瓷圆盖1，反射镜面5位于钢材薄筒2内部；
所述的法珀光纤8安装在光纤陶瓷套圈6中，光纤陶瓷套圈6位于空腔中，顶端穿过陶瓷底盖7；
所述的钢材薄筒2、陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7密封形成一个整体结构，保护了非本征型光纤法珀干涉仪；
所述的弹簧3在初始封装时处于拉伸或压缩状态，与钢材薄筒2 形成一个力平衡系统；
所述的刚体4顶端为反射镜面5，顶端面积大于光纤陶瓷套圈6 的面积；
所述的反射镜面5和法珀光纤8的端面平行；
所述的陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7的直径等于钢材薄筒2的外径，确保弹簧3产生的力可以通过陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7传递到钢材薄筒2上，且传感装置密封；
所述的传感器长度可根据油气管道的内径和油气流速进行调整；
所述的弹簧3数量和刚度可根据传感器灵敏度进行调整；
所述的钢材薄筒2采用与油气管道相同的钢材型号和厚度，保证油气管道内部和钢材薄筒2在同一环境下具有相同的腐蚀速率和腐蚀后的厚度；
所述的刚体4端面用金刚石抛光形成反射镜面5和法珀光纤8形成法珀腔，当钢材薄筒2腐蚀变薄在弹簧3压力作用下发生变形，法珀腔的腔长会发生相应的改变，通过光谱仪测量的光谱变化，进而确定油气管道腐蚀位置和腐蚀程度；
所述的温度补偿单元和传感单元相比仅缺少弹簧3装置，其余装置的设置和材料均相同。
本发明的工作原理：
本发明的钢材薄筒和油气管道具有相同的钢材型号和厚度，因此，油气管道内壁发生腐蚀时，钢材薄筒2的厚度也会同时变薄，钢材薄筒的横截面面积变小，在内部弹簧3压(拉)力作用下，反射镜面5 和法珀光纤8形成法珀腔的腔长变大(小)，光谱仪测量光谱变化。通过设置温度补偿单元，同时对管道内部温度变化引起的钢材薄筒2、刚体4、弹簧3的形变进行监测，可以更准确地判断油气管道的腐蚀程度。本发明的核心原理为安装在光纤陶瓷套圈6的光纤与反射镜面 5形成的法布里-珀罗腔在弹簧3的作用下随着钢材薄筒2的腐蚀变薄发生变化。光沿着法珀光纤8传输，入射光遇到光纤与空气的第一反射面和空气与反射镜面5的第二反射面，最终形成反射光返回光纤。第一反射面与第二反射面的反射光发生干涉，干涉信号I可以表示为：
式中，I1和I2分别为两反射面输入反射光的光强；n为中间介质(空气)折射率；δ为法珀干涉腔腔长；λ为波长，
为两束反射光的相位差。干涉光谱可以看作是具有离散极小值的正弦波，自由光谱范围 (FSR)和腔长的关系为：
FSR＝λ2/2δ (2)
传感单元腐蚀前钢材薄筒2的横截面面积A0和发生腐蚀后钢材薄筒2的截面面积A*分别为：
A0＝π(R+t)2-πR2 (3)
A*＝π(R+t*)2-πR2 (4)
式中，R为钢材薄筒2的内径；t为钢材薄筒2腐蚀前的厚度即油气管道的厚度；t*为钢材薄筒2腐蚀后的厚度。腐蚀前后传感单元法珀腔的腔长变化Δδ和温度补偿单元法珀腔的腔长变化δT分别为：
Δδ＝λ2(FSR1-FSR2)/(FSR1·FSR2) (5)
δT＝αL (6)
式中，FSR1和FSR2分别为钢材薄筒腐蚀前后自由光谱范围，α为钢材薄筒的热膨胀系数；L为钢材薄筒长度。传感单元的钢材薄筒发生腐蚀后弹簧所产生的内力与钢材薄筒反力平衡方程为：
式中，E为钢材的弹性模量；ε0为钢材薄筒初始应变；m为弹簧个数；k为单个弹簧刚度。
通过法珀光纤可以测得传感单元法珀腔长变化Δδ和温度补偿单元法珀腔长变化δT，对于封装完好的传感器来说，钢材薄筒弹性模量 E、钢材薄筒长度L、钢材薄筒初始应变ε0、钢材薄筒横截面面积A0、弹簧个数m和弹簧刚度k都是已知的，因此可以求出腐蚀后钢材薄筒的横截面面积A*，进而求出钢材薄筒腐蚀后的壁厚t*，实现油气管道内部腐蚀的监测。
本发明相对于现有技术具有以下有益效果：
(1)本发明通过监测法珀光纤传感器腔长的改变量，进而确定钢材薄筒的腐蚀程度，以实现对油气管道内部腐蚀的实时监测，为油、气的运输提供安全保障。
(2)本发明设置了温度补偿单元，排除了温度对腔长变化的影响，保证了监测结果的准确性。
(3)本发明传感单元具有弹簧装置，可以通过改变弹数量，调整传感装置的灵敏度，实现高效率和高精度的检测装置。
(4)本发明适用于长距离输油管道的腐蚀监测，抗干扰能力强，测量范围大，具有高分辨率。
(6)本发明结构简单，易于操作安装，适用性强，具有广阔的应用前景和推广市场。
附图说明
图1为本发明用于监测油气管道内部腐蚀光纤传感器的传感单元结构示意图；
图2为本发明用于监测油气管道内部腐蚀光纤传感器的温度补偿单元结构示意图；
图3为本发明用于监测油气管道内部腐蚀光纤传感器传感单元的A-A截面剖视图；
图4为本发明用于监测油气管道内部腐蚀光纤传感器传感单元的B-B截面剖视图；
图5为本发明应用于实际油气管道内部腐蚀监测的一种放置示意图。
图中：1陶瓷圆盖；2钢材薄筒；3弹簧；4刚体；5反射镜面； 6光纤陶瓷套圈；7陶瓷底盖；8法珀光纤。
具体实施方式
以下将结合附图，对一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器
具体实施方式进行说明。
如图1～5所示，本发明提供了一种具有温度补偿的用于监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，包括传感单元和温度补偿单元，传感单元包括陶瓷圆盖1、钢材薄筒2、弹簧3、刚体4、反射镜面5、光纤陶瓷套圈6、陶瓷底盖7和法珀光纤8；温度补偿单元包括陶瓷圆盖1、钢材薄筒2、刚体4、反射镜面5、光纤陶瓷套圈6、陶瓷底盖7 和法珀光纤8。
所述的弹簧3位于钢材薄筒2内部，一端与陶瓷圆盖1连接，另一端与陶瓷底盖7连接，陶瓷圆盖1随着弹簧的收缩带动刚体4及反射镜面5发生移动；
所述的刚体4固定于陶瓷圆盖1，反射镜面5位于钢材薄筒2内部；
所述的法珀光纤8安装在光纤陶瓷套圈6中，光纤陶瓷套圈6位于空腔中，顶端穿过陶瓷底盖7；
所述的钢材薄筒2、陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7密封形成一个整体结构，保护了非本征型光纤法珀干涉仪；
所述的弹簧3在初始封装时处于拉伸或压缩状态，与钢材薄筒2 形成一个力平衡系统；
所述的刚体4顶端为反射镜面5，顶端面积大于光纤陶瓷套圈6 的面积；
所述的反射镜面5和法珀光纤8的端面平行；
所述的陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7的直径等于钢材薄筒2的外径，确保弹簧3产生的力可以通过陶瓷圆盖1和陶瓷底盖7传递到钢材薄筒2上，且传感装置密封；
所述的传感器长度可根据油气管道的内径和油气流速进行调整；
所述的弹簧3数量和刚度可根据传感器灵敏度进行调整；
所述的钢材薄筒2采用与油气管道相同的钢材型号和厚度，保证油气管道内部和钢材薄筒2在同一环境下具有相同的腐蚀速率和腐蚀后的厚度；
所述的刚体4端面用金刚石抛光形成反射镜面5和法珀光纤8形成法珀腔，当钢材薄筒2腐蚀变薄在弹簧3压力作用下发生变形，法珀腔的腔长会发生相应的改变，通过光谱仪测量的光谱变化，进而确定油气管道腐蚀位置和腐蚀程度；
所述的温度补偿单元和传感单元相比仅缺少弹簧3装置，其余装置的设置和材料均相同。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的具有温度补偿的用于监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器包括传感单元和温度补偿单元，传感单元包括陶瓷圆盖(1)、钢材薄筒(2)、弹簧(3)、刚体(4)、反射镜面(5)、光纤陶瓷套圈(6)、陶瓷底盖(7)和法珀光纤(8)；温度补偿单元包括陶瓷圆盖(1)、钢材薄筒(2)、刚体(4)、反射镜面(5)、光纤陶瓷套圈(6)、陶瓷底盖(7)和法珀光纤(8)；
所述的弹簧(3)位于钢材薄筒(2)内部，一端与陶瓷圆盖(1)连接，另一端与陶瓷底盖(7)连接，陶瓷圆盖(1)随着弹簧的收缩带动刚体(4)及反射镜面(5)发生移动；
所述的刚体(4)固定于陶瓷圆盖(1)，反射镜面(5)位于钢材薄筒(2)内部；
所述的法珀光纤(8)安装在光纤陶瓷套圈(6)中，光纤陶瓷套圈(6)位于空腔中，顶端穿过陶瓷底盖(7)；
所述的钢材薄筒(2)、陶瓷圆盖(1)和陶瓷底盖(7)密封形成一个整体结构，保护了非本征型光纤法珀干涉仪。
2.根据权利要求1所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的刚体(4)端面用金刚石抛光形成反射镜面(5)和法珀光纤(8)形成法珀腔，当钢材薄筒(2)腐蚀变薄在弹簧(3)拉力或压力作用下发生变形，法珀腔的腔长会发生相应的改变，通过光谱仪测量光谱变化，进而确定腐蚀位置和腐蚀程度。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的弹簧(3)在初始封装时处于拉伸或压缩状态，与钢材薄筒(2)形成一个力平衡系统。
4.根据权利要求1或2所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的刚体(4)顶端为反射镜面(5)，顶端面积大于光纤陶瓷套圈(6)的面积。
5.根据权利要求1或2所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的弹簧(3)数量和刚度可根据传感器灵敏度进行调整。
6.根据权利要求1所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的传感器的长度可根据油气管道的内径和油气流速进行调整。
7.根据权利要求1或2所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的钢材薄筒(2)采用与油气管道相同的钢材型号和厚度，保证油气管道内部和钢材薄筒(2)在同一环境下具有相同的腐蚀速率和腐蚀后的厚度。
8.根据权利要求1或2所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的陶瓷圆盖(1)和陶瓷底盖(7)的直径等于钢材薄筒(2)的外径，确保弹簧(3)产生的力可以通过陶瓷圆盖(1)和陶瓷底盖(7)传递到钢材薄筒(2)上，且传感装置密封。
9.根据权利要求1所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的反射镜面(5)和法珀光纤(8)的端面平行。
10.根据权利要求1所述的一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器，其特征在于，所述的温度补偿单元和传感单元相比仅缺少弹簧(3)装置，其余装置的设置和材料均相同。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121456753.5U CN215953311U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121456753.5U CN215953311U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215953311U true CN215953311U (zh) | 2022-03-04 |
Family
ID=80436283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121456753.5U Expired - Fee Related CN215953311U (zh) | 2021-06-29 | 2021-06-29 | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215953311U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113390778A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-09-14 | 大连理工大学 | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 |
-
2021
- 2021-06-29 CN CN202121456753.5U patent/CN215953311U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113390778A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-09-14 | 大连理工大学 | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Yang et al. | A review of recent developed and applications of plastic fiber optic displacement sensors | |
| KR100332833B1 (ko) | 투과형 외인성 패브리-페롯 광섬유 센서와, 이를 이용한 변형률 및 온도 측정방법 | |
| CN105051512B (zh) | 用于非接触压力测量的光学传感器 | |
| US7129470B2 (en) | Optical sensor using a long period grating suitable for dynamic interrogation | |
| CN201892569U (zh) | 基于mmf-tfbg光纤结构的高灵敏低频振动传感器 | |
| CN101639485A (zh) | 一种光纤加速度传感器 | |
| Berthold III | Industrial applications of fiber optic sensors | |
| CN1743821A (zh) | 高性能光纤压力传感器 | |
| CN215953311U (zh) | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 | |
| CN101545851A (zh) | 基于长周期光纤光栅的反射型光纤生化传感器及制作方法 | |
| CN103557984A (zh) | 一种差压传感器探头的封装方法及结构 | |
| Fang et al. | All-fiber temperature and refractive index sensor based on a cascaded tilted Bragg grating and a Bragg grating | |
| CN205941335U (zh) | 一种高灵敏度的光纤efpi传感器 | |
| CN112147368A (zh) | 一种反射式光纤加速度测量装置 | |
| KR100324117B1 (ko) | 전반사형 외부 패브리-페로 광섬유 센서와 이를 이용한변형률 측정방법 | |
| CN113390778A (zh) | 一种具有温度补偿监测油气管道内部腐蚀的光纤传感器 | |
| CN201828277U (zh) | 一种反射式光纤传感器装置 | |
| CN110887515A (zh) | 一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪 | |
| CN111024211A (zh) | 一种高灵敏度差动式光纤f-p微振动传感器及其解调方法 | |
| CN110763620A (zh) | 一种用于钢材腐蚀监测的光纤法珀传感器 | |
| CN216284924U (zh) | 一种监测粘滞阻尼器阻尼油老化的光纤传感器 | |
| CN204807234U (zh) | 一种基于光纤空气环腔的迈克尔逊干涉仪的温度传感器 | |
| CN103557986B (zh) | 一种差压传感器强度补偿方法及装置 | |
| CN105157875A (zh) | 一种基于光纤空气环腔的迈克尔逊干涉仪的温度传感器 | |
| CN109738373A (zh) | 基于光子晶体光纤的pH值传感器及其制作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20220304 |